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MEMS 振蕩器已得到了非常廣泛的使用，并在很多應用中穩步取代晶體振蕩器。MEMS 振蕩器與晶體振蕩器相比具有諸多顯著的優勢，例如提高了可靠性和對機械應力的抗力，以及在寬溫度范圍內保持平穩的性能。MEMS 振蕩器還具備一定的靈活性，可通過編程和配置生成多個輸出時鐘。
在過去的數十年，每當有應用需要穩定的低抖動時鐘源時，我們都會使用晶體振蕩器。
近年來出現了一種使用MEMS來構建諧振器的新技術。 MEMS 振蕩器與晶體振蕩器相比具有一些顯著的優勢。首先，它們能夠抵御機械沖擊、振動、撓曲和墜落，因而非常堅固和可靠，這要歸功于其封裝結構對諧振器形成了一種自然保護。第二，MEMS 諧振器具有偽線性溫度系數，因而易于補償；這可確保諧振器整個溫度范圍（最高可超過 +125°C）內保持穩定的時鐘頻率 （意味著低 ppm）。
顯而易見，這兩種特性讓MEMS振蕩器非常適合一些環境惡劣的工業和汽車應用。
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