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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>HE-NE激光器功率調諧位移傳感激光器

HE-NE激光器功率調諧位移傳感激光器

2010-12-29 | rar | 987 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:闡述了一種新型的HE-NE激光位移傳感器,具有自校準功能以及沒有原理上的誤差。利用頻率分裂技術,將一個縱模間隔分為4個寬度相等的區間,在這4個區間內激光器具有不同的光功率輸出。當一個頻率移動過這樣的一個區間,相當于激光器的一個腔鏡移動了X/8可移動的反射鏡與被測工件相連。這樣,一支HE-NE激光器變成了一個不用干涉現象的位移傳感器,其測量范圍可達10MM,測量精度可達0.079UM并具有判向的功能。

關鍵詞:頻率分裂? 位移測量與傳感? HE-NE激光? 縱模間隔

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