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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>半導體陶瓷型薄膜氣敏傳感器的研究進展

半導體陶瓷型薄膜氣敏傳感器的研究進展

2010-01-27 | rar | 555 | 次下載 | 5積分

資料介紹

半導體陶瓷型薄膜氣敏傳感器,具有靈敏度高、與氣體反應快、制備成本較低等優點,已經成為近年傳感器研究和開發的重點,是未來氣敏傳感器的發展方向之一。本文介紹了陶瓷型半導體薄膜氣敏傳感器常見的器件結構、薄膜材料的主要制備方法,部分主要的半導體金屬氧化物薄膜氣敏材料,以及近期相關的研究進展,并扼要分析了今后的發展方向。
關鍵詞:  薄膜;氣敏傳感器;半導體金屬氧化物;陶瓷
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