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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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白光干涉儀 解決形狀測量及表面粗糙度測量

型號: SuperViewW1
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

SuperViewW1白光干涉儀的3D重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合測量精度可達亞納米級別,讓3D測量變得簡單。采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點的擴展型相移算法EPSI,單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型。

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產品功能

1)SuperViewW1白光干涉儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

 

應用范例1



 

一體化操作的測量分析軟件

1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;
2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;
3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能;
6)可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

 

結構特點

1、精密操縱手柄
SuperViewW1白光干涉儀集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
2、雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,保護儀器,降低人為操作風險。
3、雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

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