規格參數：
解調器
頻率范圍 | 0 到 500 kHz； |
解調器數目 | 1 個雙相 (X、Y、R、Θ)；4 個雙相，要求 MF-MD 選件 |
解調器輸入 | 信號輸入 (V/I)，輔助輸入，輔助輸出，觸發輸入 |
濾波器時間常數 | 336 毫微秒 - 83 秒 |
濾波器帶寬 (-3 dB) | 276 μHz - 206 kHz（四階濾波器） |
諧波 | 1 - 1023 |
濾波器斜率 | 6、12、18、24、30、36、42、48 dB/oct |
其他過濾 | Sinc 濾波器 |
相位分辨率 | 10 μdeg |
頻率分辨率 | 1 μHz |
輔助輸出的輸出取樣率 | 612 kSa/秒（對于每個輔助輸出），18 位， ±10 V |
1 GbE 以上的大傳輸速率 | 200 kSa/秒（所有解調器），48 位全范圍 |
在本地 USB 驅動器上的大存儲速率 | 50 kSa/秒（所有解調器），48 位全范圍 |
數據傳輸的觸發模式 | 持續，邊緣，選通 |
參考模式
外部參考頻率范圍 | 1 Hz 到 500 kHz； |
外部參考輸入 | 輔助輸入，觸發輸入，輔助輸出，電流信號輸入，電壓信號輸入 |
外部參考的鎖定時間 | 通常少于zui大值（100 圈，1.2 毫秒） |
外部參考數目 | 1；2 要求 MF-MD 選件 |
內部參考頻率范圍 | 直流到 500 kHz；直流到 5 MHz， |
電壓信號輸入
連接器 | 前面板上的 2 個同軸電纜接插頭，單端和差分 |
屏蔽連接 | 浮充或接地 |
zui大浮充電壓與接地 | ±1V |
輸入阻抗 | 50 Ω 和 10 MΩ；范圍 >=300 mV 內 27 pF；范圍 <= 100 mV 內 35 pF |
輸入頻率范圍 | 直流到 500 kHz； |
輸入模擬/數字轉換 | 16 位，0-50 MSa/秒 |
輸入噪聲振幅 | 3.3 mV 輸入范圍內，1 kHz 以上 2.5 nV/√Hz，輸入短路電容；10 Hz 時 7 nV/√Hz，1 Hz 時 40 nV/√Hz |
輸入噪聲轉角頻率 | 范圍 <= 10 mV 內通常為 100 Hz |
輸入偏置電流 | 通常為 ±10 pA，zui大 ±200 pA |
輸入全范圍敏感性（10 V 鎖定放大器輸出） | 1 nV 至 3 V |
輸入交流范圍 | ±1 mV, ±3 mV, ±10 mV, ±30 mV, ±100 mV, ±300 mV, ±1 V, ±3 V |
交流耦合截止頻率 | 1.6 Hz |
交流耦合的zui大直流偏移 | ±10 V |
輸入直流范圍 | ±1 mV, ±3 mV, ±10 mV, ±30 mV, ±100 mV, ±300 mV, ±1 V, ±3 V |
輸入增益不準確度 | < 1百分之 (< 2 MHz)；對于受模擬輸入濾波器限制的更高頻率 |
模擬輸入濾波器（反走樣） | 5 MHz 時 1 dB 抑制，12 MHz 時 3 dB 抑制；三階衰減 |
輸入振幅穩定性 | 0.1百分之/°C |
輸入偏移振幅 | < zui大值（0.5 mV，1百分之 的范圍） |
動態儲備 | 最高 120 dB |
諧波失真 | 頻率 <= 100 kHz 內 80 dBc；頻率 <= 5 MHz 內 65 dBc；載波振幅 1 dBFS |
相干拾音器 | 待定 |
電流信號輸入
連接器 | 前面板同軸電纜接插頭，浮充/接地 |
屏蔽連接 | 浮充或接地 |
zui大浮充電壓與接地 | ±1 V |
輸入阻抗 | 參見表 5.9 |
輸入頻率范圍 | 直流到 500 kHz；直流到 5 MHz，需要 MF-F5M 選件 |
輸入模擬/數字轉換 | 16 位，60 MSa/秒 |
輸入噪聲振幅 | 10 nA 輸入范圍內，100 Hz 以上時 20 fA/√Hz；1 μA 輸入范圍內，10 kHz 以上時 200 fA/√Hz；100 μA 輸入范圍內，1 MHz 以上時 3.5 pA/√Hz；10 mA 輸入范圍內，1 MHz 以上時 300 pA/√Hz； |
輸入泄漏電流 | ±10 pA |
輸入全范圍敏感性（10 V 鎖定放大器輸出） | 10 fA 至 10 mA |
輸入增益不準確度 | < 1百分之（對于在輸入帶寬 10百分之以下的頻率） |
輸入偏移振幅 | 1百分之 的范圍 |
動態儲備 | 最高 120 dB |
相干拾音器 | 待定 |
電流信號輸入：輸入范圍，跨阻抗增益，帶寬，輸入阻抗
電流輸入范圍 | 跨阻抗增益 | 帶寬 (-3 dB) | 直流輸入阻抗 |
10 mA | 100 V/A | 5 MHz | 50 Ω |
100 μA | 10 kV/A | 5 MHz | 50 Ω |
1 μA | 1 MV/A | 150 kHz | 500 Ω |
10 nA | 100 M/A | 2 kHz | 10 kΩ |
差分信號輸出
連接器 | 前面板上的 2 個同軸電纜接插頭，單端和差分 |
輸出阻抗 | 50 Ω |
輸出頻率范圍 | 直流到 500 kHz； |
輸出頻率分辨率 | 1 μHz |
輸出相位范圍 | ±180° |
輸出相位分辨率 | 10 μdeg |
差分輸出 | 正弦波移動 180° |
輸出數字/模擬轉換 | 16 位，0-60 MSa/秒 |
輸出振幅范圍 | ±10 mV、±100 mV、±1 V、±10 V （高阻抗單端） |
輸出功率 | 24 dBm (±10 V，250 mW)，每個同軸電纜接插頭 |
輸出增益不準確度 | 所有輸出范圍內，100 kHz 時小于 1百分之 |
zui大輸出驅動電流 | 100 mA |
輸出偏移振幅 | ±1 mV 或 1百分之的范圍（以zui大者為準） |
諧波失真 | 頻率 < 100 kHz 內 85 dBc，頻率 < 500Hz 內 60 dBc；輸出范圍 <= 1 V；頻率 < 100 kHz 內 80 dBc，頻率 < 5 00KHz 內 50 dBc；輸出范圍 10V；載波振幅 1 dBFS |
模擬加法器 | 輔助輸入 1 可以被添加到信號輸出中，+/- 10 V，直流 10 MHz |
輔助輸入
連接器 | 前面板上 2 個同軸電纜接插頭 |
模擬/數字轉換器 | 16 位，15 MSa/秒 |
模擬/數字模擬帶寬 | 5 MHz |
輸入阻抗 | 1 MΩ |
振幅 | ±10 V |
分辨率 | 0.335 mV |
輔助輸出
連接器 | 前面板上的 4 個同軸電纜接插頭 |
數字/模擬轉換器 | 18 位，612 kSa/秒 |
數字/模擬模擬帶寬 | 200 kHz |
輸出阻抗 | 50 Ω |
振幅 | ±10 V |
分辨率 | < 85 μV |
驅動電流 | 20 mA |
觸發輸入
連接器 | 后面板上的 2 個同軸電纜接插頭 |
觸發輸入阻抗 | 1 kΩ |
頻率范圍外部參考 | 1 Hz 到 500 kHz；1 Hz 到 5 MHz，要求 MF-F5M 選件 |
觸發振幅范圍 | ±5 V |
最小脈寬 | 35 毫微秒 |
觸發電平 | 5 V，3.66 mV 分辨率 |
觸發滯回 | < 20 mV |
觸發輸出
連接器 | 后面板上的 2 個同軸電纜接插頭 |
觸發輸出阻抗 | 50 Ω |
頻率范圍外部參考 | 1 μHz 到 500 kHz；1 μHz 到 5 MHz，要求 MF-F5M 選件 |
觸發振幅 | 5 V |
內部頻率參考
類型 | TCXO |
初始精確度 | < ±1.5 ppm |
長期精確度/老化 | 第一年 < ±1 ppm |
短期穩定性（0.1 秒） | < 2·10-10 |
溫度系數 | 0.05 ppm/°C (@23°C) |
相位噪聲（1 kHz 時） | -140 dBc/Hz |
相位噪聲（10 kHz 時） | -150 dBc/Hz |
連接性和其他
主連接 | LAN，1 GbE；USB 2.0，480 Mbit/秒 |
USB 主機 | 背面板上 2 個連接器，用于大容量存儲或 WLAN 模塊 |
DIO，數字輸入/輸出 | 4 x 8 位，通用數字輸入/輸出端口，3.3 V TTL VHDCI 68 針母連接器 |
內置存儲器 | 4.7 GB 測量數據內存, 250 MB 設置文件存檔, 250 MB 日志文件存檔
|
拓展功能：
MF5M 頻率拓展功能選件： 頻率范圍從DC-500KHz 拓展到DC-5MHz;
MF-MD 多頻解調功能選件：額外增加3個振蕩器，3個解調器器，可同時解調 4個任意頻率信號；
MF-PID四通道PID / PLL控制器：4個具有PLL功能的獨立PID控制器；
MF-DIG數字化器功能選件：具有16位，60 MSa / s，FFT的雙跡示波器；
MF-MOD AM / FM調制功能選件：可以進行 AM / FM調制信號輸出；
MF-IA 阻抗測試功能選件：阻抗測試范圍1mΩ至1TΩ，0.05百分之的精度；
應用領域：
材料科學：載流子遷移率，載流子密度，霍爾效應
傳輸測量：電導測量，2和4端電阻器
吸收光譜
傳感和驅動（MEMS）：陀螺儀，諧振器，加速度計
量子測試和輸運：量子點，量子位
磁感應：SQUID，NV中心，原子磁力計，VSM
掃描顯微鏡：AFM，STM
噪聲表征：噪聲密度，互相關測量
