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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

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高端激光干涉測量儀檢測光刻機

型號: SJ6000
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產品參數 ---

  • 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

中圖儀器SJ6000高端激光干涉測量儀可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,結合軟件系統,可以用于速度,加速度,振動分析以及穩定度等分析。儀器以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。

 

國產激光干涉儀品牌,機床激光干涉儀.jpg
SJ6000高端激光干涉測量儀

產品功能

1.可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

2.可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

3.可實現龍門機床雙軸同步測量;

4.可實現對機床回轉軸的測量與校準;

5.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

6.具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

7.支持手動或自動進行環境補償。

 

國產激光干涉儀品牌,機床激光干涉儀.jpg

檢定測長機

 

國產激光干涉儀品牌,機床激光干涉儀.jpg

對機床精度再校準
 

SJ6000高端激光干涉測量儀測量機床直角如機器軸垂直度誤差測量(數控機床、坐標測量機等),是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度,即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較,得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸,在兩次測量過程中既不移動、也不調整,光學直角尺測量中,允許調整激光束與直線度的準直,而不動直線度反射鏡。

 

量程精度(部分)

穩頻精度:0.05ppm

線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)

角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m

 

SJ6000高端激光干涉測量儀檢測光刻機

 

 

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