三維光學檢測儀表面輪廓形貌測量儀

光學儀器三維輪廓

型號： Superview W1

--- 產品參數 ---

注釋更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

--- 產品詳情 ---

中圖儀器三維光學檢測儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的表面輪廓形貌測量儀。它以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。

主要測量功能

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

部分參數

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性：0.1nm

表面形貌重復性：0.1nm

臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%

中圖儀器三維光學檢測儀結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，并通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。測量結果依據ISO/ASME/EUR/GBT四大標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

為你推薦

產品文章方案資料

國產三坐標2025-01-20 17:34

產品型號：Mars系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
觸針接觸式粗糙度輪廓儀2025-01-20 17:32

產品型號：SJ5800系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
高穩定性激光干涉儀2025-01-20 17:23

產品型號：SJ6000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
臺階薄膜測厚儀2025-01-20 17:21

產品型號：NS系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
AI智能測量影像儀2025-01-17 15:03

產品型號：Novator系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
機床激光干涉測量校準系統2025-01-17 15:00

產品型號：SJ6000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
一鍵精密加工件尺寸測量儀2025-01-17 14:58

產品型號：VX8000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡2025-01-17 14:57

產品型號：CEM3000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
轉盤共聚焦光學成像系統2025-01-16 14:56

產品型號：VT6000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
國內精密高精度測長機2025-01-16 14:54

產品型號：SJ5100系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

CEM3000系列臺式掃描電鏡在金屬材料分析中的應用2025-01-20 11:36

隨著科技的飛速發展，材料科學不斷突破傳統邊界，尤其是金屬材料的研究領域，已成為新興技術創新的關鍵。而高性能掃描電鏡（SEM）作為金屬材料分析的重要工具，正發揮著越來越重要的作用。在眾多掃描電鏡品牌中，CEM3000系列臺式掃描電鏡憑借其卓越的性能和廣泛的應用范圍，成為許多科研機構和企業的選擇。CEM3000系列臺式掃描電鏡在金屬材料的多種復雜分析中提供了精準

SEM 掃描電鏡金屬材料
94瀏覽量
關于機床測頭常見的提問及回答2025-01-17 14:55

機床測頭可測尺寸、刀具，找正工件，適用于復雜形狀。精度受測頭等級、機床運動精度、環境及軟件影響。正確安裝、校準、設置程序并優化環境可提高精度。選擇需考慮機床類型、測量任務、功能特性、兼容性、成本及售后。

探測頭機床機床系統測量
203瀏覽量
關于臺階儀常見的提問及回答2025-01-17 14:54

臺階儀基于觸針式原理測表面形貌，精度達埃至微米級，用于半導體、材料科學、光學器件制造。樣品需適尺寸、清潔、相對平整。校準周期依使用頻率和環境定，建議1-3個月校準一次。

測量表面輪廓儀
181瀏覽量
聚全力，贏增長，沖未來|中圖儀器2025年年會盛典圓滿舉辦2025-01-16 11:06

2025年1月14日，中圖儀器在深圳隆重舉辦了主題為“聚全力，贏增長，沖未來”的年會盛典。此次年會不僅是對過去一年工作的總結與表彰，更是展望未來、制定戰略的重要時刻。來自全國各地的員工及家屬齊聚一堂，共同見證了這場盛典。慶典·董事長致辭深圳市中圖儀器股份有限公司董事長馬俊杰在年會致辭中表示：“過去的2024年，公司在技術創新、市場拓展和客戶滿意度等方面均取得

儀器
153瀏覽量
關于激光干涉儀的常見提問及回答2025-01-15 17:05

一、基本原理相關問題1.激光干涉儀的工作原理是什么？-激光干涉儀主要是基于光的干涉原理。它通常使用氦-氖（He-Ne）激光器等作為光源，發出單一頻率的相干光。這束光被分光鏡分為兩束，一束作為參考光，另一束作為測量光。當測量光遇到被測物體發生位移等變化時，其光程會改變。然后兩束光（參考光和變化后的測量光）重新會合，由于光程差的存在，會產生干涉條紋。通過對干涉條

光學測量測量激光器激光干涉儀
181瀏覽量
關于粗糙度輪廓儀一體機的常見提問及回答2025-01-09 16:06

原理與操作類-工作原理是什么：觸針式接觸測量原理，將很尖的觸針垂直安置在被測表面上作橫向移動，觸針隨被測表面輪廓起伏，其微小位移通過電路轉換、放大和運算處理，得到表面粗糙度和輪廓參數值。-如何進行測量操作：先將被測工件穩固放置在工作臺上，然后選擇合適的測針并安裝好，調整觸針與被測表面垂直接觸，設置好測量參數，如測量范圍、取樣長度等，再啟動測量程序，驅動裝置拖

一體機測量表面輪廓儀
196瀏覽量
關于白光干涉儀的常見提問及回答2025-01-09 16:02

原理相關1、白光干涉儀的基本原理是什么：白光干涉儀的基本原理是利用光學干涉原理。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋，干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測

CCD相機測量白光干涉儀
213瀏覽量
關于激光跟蹤儀的常見提問及回答2025-01-09 16:01

1、工作原理方面-激光跟蹤儀主要是通過發射激光束來跟蹤目標。它有一個高精度的角度編碼器，能夠精確測量儀器的水平角和垂直角。同時，激光干涉測量系統可以測量從儀器到目標反射鏡的距離。當目標反射鏡移動時，激光跟蹤儀通過不斷地測量角度和距離的變化，從而確定目標在三維空間中的位置。例如，在工業制造中，當一個機械零件需要精確測量其外形尺寸時，激光跟蹤儀就可以實時追蹤零件

儀器測量激光跟蹤儀
277瀏覽量
關于三坐標測量機的常見問題及回答2025-01-02 13:41

一、三坐標測量機的基本原理相關問題1.三坐標測量機是如何進行測量的？-三坐標測量機通過探測系統（如接觸式測頭或非接觸式測頭）獲取工件表面上點的坐標位置。它基于笛卡爾坐標系，有X、Y、Z三個互相垂直的坐標軸。當測頭接觸到工件表面的測量點時，測量機的控制系統會記錄下此時測頭在三個坐標軸方向上的位置信息，這些坐標值就代表了測量點在三維空間中的位置。例如，在測量一個

三坐標機三坐標測量機測量測量機
250瀏覽量
關于影像儀的常見問題及回答2024-12-30 14:21

影像儀是一種用于測量和檢測物體尺寸、形狀等多種特性的精密儀器。以下是關于影像儀的常見問題及回答：一、影像儀的工作原理是什么？影像儀主要是利用光學成像系統將物體的輪廓、表面特征等形成光學影像，然后通過CCD（電荷耦合器件）相機或者CMOS（互補金屬氧化物半導體）相機進行圖像采集。這些圖像被傳輸到計算機軟件系統中，軟件會根據預先設定的測量算法和參照標準來分析處理

影像測量儀檢測儀器測量
239瀏覽量

方案上新|軸承行業測量解決方案免費下載2024-11-28 16:42

軸承是工業基礎件，也是核心零部件，在汽車、機床、機器人、家用電器、電機、鐵路、航空航天、船舶、工程機械、農用機械、礦山機械等各行業均有廣泛應用。它的主要功能是支撐轉軸旋轉，降低轉動過程中的摩擦系數，并保證軸回轉精度，軸承的性能狀態直接影響機械設備的性能和運行壽命。中圖儀器軸承行業測量解決方案覆蓋軸承滾動體、內外圈套、保持架以及軸承關聯部件（滾珠絲杠、直線導軌、螺紋、連接軸、輪轂軸、曲軸、萬向節等）

檢測儀測量儀器計量儀器軸承
116瀏覽量
大尺寸部件安裝精度測量：GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52

在現代工業制造與大型工程建設領域，大尺寸部件的安裝精度是至關重要的環節。從航空航天飛行器的組裝，到大型橋梁的鋼梁架設，再到高精度機床的零部件安裝，一絲一毫的誤差都可能導致嚴重的后果。而激光跟蹤儀，作為一種先進的測量設備，為解決大尺寸部件安裝精度測量問題提供了理想的途徑，深受客戶關注。高精度測量需求的驅動對于客戶而言，大尺寸部件安裝精度的測量是確保項目質量和性能的關鍵。在航空航天領域，飛機機翼與機身

GTS 檢測儀激光跟蹤儀
162瀏覽量
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現高精度二維長度測量2024-01-25 15:37

高精度二維長度測量技術在精密制造業中至關重要，測長機作為高精度長度測量工具，可實現對工件尺寸和形態的精確測量，提高產品質量和生產效率。測長機具有高精度、重復性好等特點，可應用于多種精密制造領域。未來，測長機技術將不斷更新和完善，為精密制造領域的發展提供有力支持。

制造工業測量
451瀏覽量
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34

顯微測量是利用顯微鏡對微小尺寸和形狀進行高精度測量的技術，在先進制造業中具有重要意義。它為制造業提供了準確、可靠的測量手段，幫助企業實現更高水平的制造和更高質量的產品。隨著科技的不斷進步，顯微測量技術有望在未來取得更大的突破和應用。

測量測量儀
464瀏覽量
VX9000系列光學掃描成像測量機，滿足PCB行業多樣化尺寸測量需求2023-12-01 09:29

VX9700光學掃描成像測量機紅、藍、綠三色光源滿足不同顏色PCB測量需求。高遠心度雙側遠心鏡頭提升數倍精度，一鍵測量新能源車PCB輪廓度、位置度、外形尺寸。

pcb PCB 三維成像光學掃描測量機
745瀏覽量
激光干涉儀檢測機床的方法（以線性檢測為例）2023-10-27 15:21

激光干涉儀檢測機床的方法（以線性檢測為例）1.進行線性測量的一般步驟（1）安裝設置激光干涉儀（2）將激光束與被測量的軸校準（3）啟動測量軟件，并輸入相關參數（如材料膨脹系數）。（4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數據。（5）用測量軟件分析測量數據，生產補償文件。線性測量應用2.光束快速準直步驟（1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。（2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動，垂

機床檢測激光激光干涉儀
754瀏覽量
白光干涉儀(光學輪廓儀)：揭秘測量坑的形貌的利器！2023-10-26 10:47

SuperViewW1白光干涉儀結合數字圖像處理技術和三維重建算法來提高測量的精度和效率，揭秘并測量坑的形貌，為科學研究和工程實踐提供更有力的支持。

光學器件測量白光干涉儀表面輪廓儀
677瀏覽量
納米級測量儀器：窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49

納米級測量儀器在納米科技研究領域中扮演著重要的角色。通過共聚焦顯微鏡、光學輪廓儀等的運用，科研人員們能夠更加深入地了解納米世界的奧秘。

3D 儀器顯微鏡測量
827瀏覽量
微納共聚焦顯微鏡：檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13

針對磨損區域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡更加匹配，其遠勝于光學3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測，從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數據。

3D 顯微鏡檢測
1.2k瀏覽量
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26

BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半導體行業中，Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進封裝的四要素，其中Bump起著界面互聯和應力緩沖的作用。Bump是一種金屬凸點，從倒裝焊FlipChip出現就開始普遍應用，Bump的形狀有多種，常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。Bump起著界面之間的電氣互聯和應力緩沖的作用，從Bondwire

封裝測量儀器
2.3k瀏覽量