中圖儀器CEM3000一鍵快速成像掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶(hù)日常工作的桌面上，在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。
此外，該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車(chē)廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。
產(chǎn)品功能
1）臺(tái)式電鏡緊湊的外型，能夠不受場(chǎng)地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶(hù)甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶(hù)需求，輕松移機(jī)，一臺(tái)機(jī)器多處開(kāi)花；
2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀(guān)測(cè)分析，滿(mǎn)足用戶(hù)的觀(guān)測(cè)需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)，該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶(hù)抽放氣的等待時(shí)間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶(hù)使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，無(wú)需過(guò)多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；
5）大樣品倉(cāng)，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí)，具有比肩立式電鏡的大倉(cāng)室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術(shù)，基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶(hù)能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉(cāng)內(nèi)真空度，進(jìn)而對(duì)不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測(cè)；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶(hù)選擇，滿(mǎn)足專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的調(diào)節(jié)需求；
9）搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級(jí)別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000一鍵快速成像掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強(qiáng)，整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì)，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí)，該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌?lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測(cè)，具有高空間分辨率。
用戶(hù)可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時(shí)接收多種信號(hào)，對(duì)樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例：
CEM3000一鍵快速成像掃描電鏡共涵蓋CEM3000A（大樣品倉(cāng)型）和CEM3000B（抗振型）兩款強(qiáng)化機(jī)型，CEM3000A在不改變整機(jī)外觀(guān)尺寸的情況下，拓展了樣品倉(cāng)尺寸，從而可對(duì)大尺寸樣品或多個(gè)常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。同時(shí)，用戶(hù)也可選擇加裝有減振倉(cāng)的CEM3000B，確保在縮短抽放氣時(shí)間的同時(shí)，消除環(huán)境振動(dòng)對(duì)電鏡的影響，保證了高倍數(shù)成像時(shí)的圖像質(zhì)量。
此外，該系列電鏡也可通過(guò)加裝各類(lèi)探頭和附件，滿(mǎn)足用戶(hù)的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
部分技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | NS200 |
| 樣品觀(guān)察 | 500萬(wàn)像素彩色攝像機(jī) 正視視野：2.2×1.7mm |
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 |
| 平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y | 電動(dòng)X/Y(150mm*150mm)(可手動(dòng)校平) |
| 單次掃描長(zhǎng)度 | 55mm |
| 樣品厚度 | 50mm |
| 載物臺(tái)晶圓尺寸 | 200mm（8吋） |
| 臺(tái)階高度重復(fù)性 | 5 ?, 量程為330μm時(shí)/ 10 ?, 量程為1mm時(shí)（測(cè)量1μm臺(tái)階高度，1δ） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 630×610×500 |
| 重量 | 40kg |
| 儀器電源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
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