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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

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導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀

型號: SJ6000系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)
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--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

--- 產(chǎn)品詳情 ---

中圖儀器SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀

 

產(chǎn)品配置

SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

 

線性測量配置及使用方法

線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成定誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改定運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。

 

應(yīng)用案例

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀

 

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

動態(tài)采集頻率:50 kHz

預(yù)熱時(shí)間:≤ 6分鐘

工作溫度范圍:(0~40)℃

存儲溫度范圍:(-20~70)℃

環(huán)境濕度:(0~95)%RH
 

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃

材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa
 

線性測量距離:(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍:±10°

平面度測量范圍:±1.5mm

直線度測量范圍:±3mm

垂直度測量范圍:±3/M mm/m
 

便攜箱尺寸:613*460*230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量:18kg

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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