--- 產品參數 ---
- 影像系統 1024×1024
- 光學ZOOM 0.5×,(0.75×,1×可選)
- 干涉物鏡 10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
- XY平臺 尺寸320×200mm,行程140×110mm
- Z軸行程 100mm,電動
- Z向掃描范圍 10mm
- Z向分辨率 0.nm
- 可測樣品反射率 0.05%-100%
- 粗糙度RMS重復性 0.005nm
- 臺階高測量 準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
--- 產品詳情 ---
如果采用接觸式輪廓儀來測量表面質量等級非常高的玻璃和各種光學鏡片等超精密加工產物,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學測量方法沒有辦法克服“高透明度特性”。為滿足客戶需求,深圳市中圖儀器股份有限公司以白光干涉技術為基礎,研發生產出達到納米級檢測精度的SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀,主要用于樣品表面微觀形貌的檢測,能快速獲得被測工件表面三維形貌圖像和數據,為玻璃和光學鏡片的表面質量提供了標準解決方案。
產品參數
光學3D表面輪廓儀的應用
- 玻璃屏檢測
生活中智能手表、平板電腦、智能手機等產品中常見的玻璃屏,需要檢測其表面粗糙度和輪廓。以手機玻璃屏為例:
2. 玻璃表面臺階檢測
透明玻璃表面鍍有一層金屬膜,膜層厚度的精度都是在納米級別的,而且因為其非透明特性,薄膜測厚儀測不了膜層厚度。不管是非接觸式光學儀器還是接觸式臺階儀,都會存在測量誤差,而SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,測量精度達到亞納米級,能對膜層厚度進行一鍵測量。
3. 光學透鏡檢測
球面透鏡在可見光領域是一種基礎光學器件,其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響,中圖儀器SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀可以對這兩項參數同時進行檢測。
SuperView W1系列光學3D表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡,因而可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。
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