中圖儀器研發(fā)生產的SuperView W1 3d光學輪廓儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
3d光學輪廓儀工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設備性能以滿足各大電子廠對質量和產品能得雙重要求。3d光學輪廓儀工作原理是基于白光干涉原理而研發(fā)生產的，能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面，檢測結果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，能直觀地展示了表面紋理特征。
如表面粗糙度的測量。表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣，是表面微觀幾何特征，它們共同構成了物體的表面原始形貌特征。表面二維形貌特征的分析與評定通常是對粗糙度參數(shù)進行的評定，通常把小于lmm波距的形貌特征歸結為表面粗糙度，而波距在1 ~10mm之間的定義為表面波紋度，大于10mm的則屬于目測可知的宏觀幾何形狀特征。
SuperView W1 3d光學輪廓儀測量表面粗糙度步驟很簡單。
1、將樣品放置在載物臺鏡頭下方；
2、檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；
3、使用操縱桿調節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋；
4、完成掃描設置和命名等操作，點擊開始測量；
5、進入數(shù)據(jù)處理模塊，點擊校平，平面樣品采用默認校平，點擊右下角應用保存操作；
6、進入分析工具模塊，點擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點擊右側參數(shù)標準可更換參數(shù)標準、增刪參數(shù)類型；
7、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
8、進入數(shù)據(jù)處理界面，點擊提取剖面圖標，選擇斜線，沿垂直于紋理方向提取剖面線；
9、進入分析工具界面，點擊參數(shù)分析圖標，點擊右側參數(shù)標準，勾選所需線粗糙度相關參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
在生產中，微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響，為了能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質量，表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。而在3D測量領域，3d光學輪廓儀是精度最高的測量儀器之一，測量精度可以達到納米級。
