激光干涉儀可以將線性測量結果生成的誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀標準裝置主要由SJ6000主機、EC20環境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應的測量光路。

直線度測量參數

系統主要組件

1、激光主機

準確——激光頻率穩定度高，可溯源至國家標準。

主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。

2、EC20環境補償單元

可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環境補償。

激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。

EC20環境補償單元可實時檢測環境條件的變化，同事進行激光波長補償。

EC20環境補償單元可連接三個材料溫度探頭，監測被測對象其材料的溫度變化，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環境補償單元采用低功耗設計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現場使用，EC20環境補償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長。

3、三腳架及便攜箱