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SuperViewW13d干涉光學輪廓儀其3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統,以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統,保證了測量精度和測量重復性。測量數據自動統計,可視化窗口,結合自定義分析模板的自動化測量功能,實現了快速批量測量的功能,自動完成多區域的測量與分析過程。
SuperViewW13d干涉光學輪廓儀測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測,具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數涵蓋面廣的優點。它特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。而其雙重防撞保護措施能更好的保護儀器,確保精度的準確。
(1)軟件防撞保護ZSTOP
即在Z軸上設置停止位,設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當鏡頭運動到該位置時,就立刻停止不再向下運動,起到保護樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發感應器,鏡頭與樣品表面變為軟接觸,并觸發緊急停止開關,不再響應向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護。
SuperViewW13d干涉光學輪廓儀基于白光干涉原理,不僅用于零件的檢測,還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備,能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
應用
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