采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測、機床誤差修正是目前公認的高效、高精度的檢測方法。如何利用激光干涉儀進行機床定位精度檢測和補償進行機床修正？
中圖儀器研發生產出的超精密SJ6000激光干涉儀，具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有高精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。
產品參數
技術指標
位置精度測量分為反向間隙測量、重復定位精度測量和定位精度測量，又稱之為線性測量。SJ6000激光干涉儀標配的線性鏡組，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償，一次測量即可得出上述三種誤差。
依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺
SJ6000激光干涉儀全套系統
線性測量中目標位置的數據采集有【基于位置的目標采集】和【基于時間的目標采集】兩種方式，普遍使用基于位置的目標采集方式：被測運動軸需設置若干個等距的定位點，當測長機的測頭移動到設置的定位點時，需設置停留時間，以供SJ6000激光干涉儀進行當前點的數據采集。測量結果將會自動生成分析曲線，即可得到導軌的運行軌跡。
機床誤差修正激光干涉儀維護
數控機床精度校準
測量機床回轉軸精度
測量機床偏擺角度
測量機床直線度
測量機床定位精度
中圖儀器是一家高新技術企業，經過十多年在幾何量測量領域的潛心研究，現有員工200余人，集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊，在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了設計、制造優勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力！
