--- 產品參數 ---
- 穩頻精度 0.005nm
--- 產品詳情 ---
激光干涉儀的主要的應用之一就是機床精度檢測。激光干涉儀可以通過與不同的光學組件結合,對機床進行動態性能檢測,如可以測量機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm,可以滿足現在所有類型數控機床精度檢測,它可以棄普通車間進行應用,具有更強的環境適應能力,同時可進行動態高速測量,配以相應元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。
SJ6000激光干涉儀測量分辨率0.01″,系統測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。
系統組件
1、激光主機
精準——激光頻率穩定度高,可溯源至國家標準。
SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電,輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口,可與計算機高速通信,兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口,可提供外部觸發信號輸入和正交信號輸出,以及其它擴展應用。
2、EC20環境補償單元
可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環境補償。
激光干涉儀是以激光波長為載體,測量過程中環境條件(空氣溫度、濕度、氣壓)的變化會影響激光波長。
EC20環境補償單元可實時檢測環境條件的變化,同事進行激光波長補償。
EC20環境補償單元可連接三個材料溫度探頭,監測被測對象其材料的溫度變化,同事進行材料的熱膨脹補償。
EC20環境補償單元采用低功耗設計,無需額外的供電電源,其工作電源集成于USB接口。
為了方便現場使用,EC20環境補償單元配備磁性掛板,溫度探頭的標準線長5m,亦可定制線長。
3、三腳架及便攜箱
激光干涉儀檢測機床精度原理:邁克爾遜干涉原理
1、從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)通過分光鏡后,將分成兩束激光(線偏振光);
2、兩束激光分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡后進行疊加,由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定,即滿足干涉條件;
3、角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離,將會產生一次完整的明暗干涉現象。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。
產品參數
產品型號: SJ6800
產品名稱: 激光干涉儀
穩頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩頻
穩頻精度: 0.04ppm
測量距離:≤(0-80)m(無需遠距離線性附件)
測量分辨力:1nm
測量至大速度:4m/s
線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
主要特點:絕對測量、恒測力、無阿貝誤差
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