白光干涉儀在半導體的應用

白光干涉儀

型號： SuperView W1

--- 產品參數 ---

光學ZOOM 0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡 10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
Z軸行程 100mm，電動
Z向掃描范圍 10mm

--- 產品詳情 ---

SuperViewW1白光干涉儀可測2D/3D輪廓、粗糙度等，共300余種特征參數，在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用，能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

白光干涉儀在半導體的應用

硅晶圓的粗糙度檢測在半導體產業中，硅晶圓的制備質量直接關系著晶圓IC芯片的制造質量，而硅晶圓的制備，要經過十數道工序，才能將一根硅棒制成一片片光滑如鏡面的拋光硅晶圓。

制備好的拋光硅晶圓表面輪廓起伏已在數納米以內，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亞納米量級，而在此量級上，接觸式輪廓儀和一般的非接觸式儀器均無法滿足檢測要求，只有結合了光學干涉原理和精密掃描模塊的白光干涉儀才適用。

從硅晶圓的制備到晶圓IC的制造，每一步都對工藝流程的質量有著嚴格的管控要求，由各式各樣的檢測儀器共同組成了產品質量監控的守門員，而在這之中，作為產品表面質量檢測儀器的SuperViewW1白光干涉儀，以其高檢測精度和高重復性，發揮著重要的作用。

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細產品信息，請聯系我們獲取

為你推薦

產品文章方案資料

工業三坐標測量儀2025-01-09 17:06

產品型號：Mars系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
多功能2.5次元影像測量儀2025-01-09 16:30

產品型號：Novator系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
白光共聚焦測量顯微鏡2025-01-09 16:14

產品型號：VT6000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
全自動對焦一鍵閃測儀2025-01-09 16:11

產品型號：VX8000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
超清掃描顯微鏡2025-01-09 16:09

產品型號：CEM3000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
半導體晶圓幾何表面形貌檢測設備2025-01-06 14:34

產品型號：WD4000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
高精度激光干涉儀測量系統2025-01-06 14:32

產品型號：SJ6000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
產品素線形狀輪廓掃描測量儀2025-01-06 14:30

產品型號：SJ5800系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
一鍵式全自動尺寸測量儀2025-01-06 14:27

產品型號：VX8000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
國產一鍵成像臺式掃描電鏡2025-01-06 14:09

產品型號：CEM3000系列注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

關于粗糙度輪廓儀一體機的常見提問及回答2025-01-09 16:06

原理與操作類-工作原理是什么：觸針式接觸測量原理，將很尖的觸針垂直安置在被測表面上作橫向移動，觸針隨被測表面輪廓起伏，其微小位移通過電路轉換、放大和運算處理，得到表面粗糙度和輪廓參數值。-如何進行測量操作：先將被測工件穩固放置在工作臺上，然后選擇合適的測針并安裝好，調整觸針與被測表面垂直接觸，設置好測量參數，如測量范圍、取樣長度等，再啟動測量程序，驅動裝置拖

一體機測量表面輪廓儀
113瀏覽量
關于白光干涉儀的常見提問及回答2025-01-09 16:02

原理相關1、白光干涉儀的基本原理是什么：白光干涉儀的基本原理是利用光學干涉原理。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋，干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測

CCD相機測量白光干涉儀
117瀏覽量
關于激光跟蹤儀的常見提問及回答2025-01-09 16:01

1、工作原理方面-激光跟蹤儀主要是通過發射激光束來跟蹤目標。它有一個高精度的角度編碼器，能夠精確測量儀器的水平角和垂直角。同時，激光干涉測量系統可以測量從儀器到目標反射鏡的距離。當目標反射鏡移動時，激光跟蹤儀通過不斷地測量角度和距離的變化，從而確定目標在三維空間中的位置。例如，在工業制造中，當一個機械零件需要精確測量其外形尺寸時，激光跟蹤儀就可以實時追蹤零件

儀器測量激光跟蹤儀
137瀏覽量
關于三坐標測量機的常見問題及回答2025-01-02 13:41

一、三坐標測量機的基本原理相關問題1.三坐標測量機是如何進行測量的？-三坐標測量機通過探測系統（如接觸式測頭或非接觸式測頭）獲取工件表面上點的坐標位置。它基于笛卡爾坐標系，有X、Y、Z三個互相垂直的坐標軸。當測頭接觸到工件表面的測量點時，測量機的控制系統會記錄下此時測頭在三個坐標軸方向上的位置信息，這些坐標值就代表了測量點在三維空間中的位置。例如，在測量一個

三坐標機三坐標測量機測量測量機
179瀏覽量
關于影像儀的常見問題及回答2024-12-30 14:21

影像儀是一種用于測量和檢測物體尺寸、形狀等多種特性的精密儀器。以下是關于影像儀的常見問題及回答：一、影像儀的工作原理是什么？影像儀主要是利用光學成像系統將物體的輪廓、表面特征等形成光學影像，然后通過CCD（電荷耦合器件）相機或者CMOS（互補金屬氧化物半導體）相機進行圖像采集。這些圖像被傳輸到計算機軟件系統中，軟件會根據預先設定的測量算法和參照標準來分析處理

影像測量儀檢測儀器測量
176瀏覽量
關于閃測儀常見的問題及回答2024-12-30 14:19

閃測儀是一種高精度的光學測量儀器，以下是一些關于閃測儀常見的問題及回答：一、閃測儀的工作原理是什么？閃測儀主要基于光學成像原理。它通過高分辨率的相機和特殊的光學系統對目標物體進行拍照。當光線照射到被測物體表面時，相機捕捉物體的輪廓和細節特征，然后利用圖像分析軟件，根據拍攝到的圖像信息，通過算法來精確測量物體的尺寸、形狀、位置等幾何參數。例如，在測量一個小型精

影像測量儀機械測量儀器
174瀏覽量
如何選擇掃描電鏡的分辨率？2024-12-25 14:29

選擇掃描電鏡的分辨率需要綜合考慮多個因素。首先是研究目的。如果只是需要對樣品的大致形貌進行觀察，例如查看較大顆粒的分布或者材料表面的宏觀缺陷，較低分辨率（如3-10nm）可能就足夠了。但如果要觀察樣品的精細微觀結構，像納米級別的晶體結構、細胞的超微結構等，就需要更高的分辨率，通常要達到1-3nm甚至更高。其次是樣品自身特性。對于一些結構簡單、特征尺寸較大的樣

儀器分辨率掃描電鏡
203瀏覽量
如何操作才能使樣品在掃描電鏡中清晰成像？2024-12-25 14:27

要使樣品在掃描電鏡中清晰成像，需要注意以下操作要點：1、樣品制備-清潔處理：確保樣品表面沒有灰塵、油污和其他雜質。比如對于金屬樣品，可以使用有機溶劑（如乙醇、丙酮）進行清洗，然后用干燥的氮氣吹干。-尺寸要求：樣品大小要適合電鏡樣品臺，一般不能太大，避免在掃描過程中與電鏡內部結構發生碰撞干擾成像。-固定樣品：將樣品穩固地固定在樣品臺上。如果樣品是粉末狀，可以用

掃描電鏡電子束
299瀏覽量
如何使用掃描電鏡？2024-12-25 14:25

以下是使用掃描電鏡的一般步驟：1、前期準備-樣品準備：確保樣品表面干凈、平整，無油脂、灰塵等雜質。根據樣品性質選擇合適的探頭，如金屬樣品可使用金屬探頭，非金屬材料可使用碳納米管探頭等，并將樣品固定在樣品臺上，防止掃描過程中發生移動.-環境調節：保持室內溫度在20℃-30℃，濕度在70%以下，注意電源電壓穩定、避免電磁干擾等，為掃描電鏡創造穩定的運行環境.-儀

儀器掃描電鏡
279瀏覽量
冶金工業案例：GTS激光跟蹤儀在連鑄機安裝中的應用2024-12-20 15:03

連鑄機是一種用于將高溫鋼水連續澆鑄成具有一定斷面形狀和尺寸規格鑄坯的生產工藝設備。?它的工作原理是將液態金屬注入結晶器，通過水冷使金屬凝固成坯料，然后通過拉坯機將其拉出并切割成定尺的鑄坯。連鑄機在鋼鐵生產中具有顯著的優勢，包括提高金屬收得率、降低能源消耗、減少勞動強度以及易于實現自動化。與傳統的模鑄法相比，連鑄技術大幅提高了生產效率和鑄坯質量。在連鑄機安裝中

GTS 激光激光跟蹤儀
144瀏覽量

方案上新|軸承行業測量解決方案免費下載2024-11-28 16:42

軸承是工業基礎件，也是核心零部件，在汽車、機床、機器人、家用電器、電機、鐵路、航空航天、船舶、工程機械、農用機械、礦山機械等各行業均有廣泛應用。它的主要功能是支撐轉軸旋轉，降低轉動過程中的摩擦系數，并保證軸回轉精度，軸承的性能狀態直接影響機械設備的性能和運行壽命。中圖儀器軸承行業測量解決方案覆蓋軸承滾動體、內外圈套、保持架以及軸承關聯部件（滾珠絲杠、直線導軌、螺紋、連接軸、輪轂軸、曲軸、萬向節等）

檢測儀測量儀器計量儀器軸承
106瀏覽量
大尺寸部件安裝精度測量：GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52

在現代工業制造與大型工程建設領域，大尺寸部件的安裝精度是至關重要的環節。從航空航天飛行器的組裝，到大型橋梁的鋼梁架設，再到高精度機床的零部件安裝，一絲一毫的誤差都可能導致嚴重的后果。而激光跟蹤儀，作為一種先進的測量設備，為解決大尺寸部件安裝精度測量問題提供了理想的途徑，深受客戶關注。高精度測量需求的驅動對于客戶而言，大尺寸部件安裝精度的測量是確保項目質量和性能的關鍵。在航空航天領域，飛機機翼與機身

GTS 檢測儀激光跟蹤儀
153瀏覽量
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現高精度二維長度測量2024-01-25 15:37

高精度二維長度測量技術在精密制造業中至關重要，測長機作為高精度長度測量工具，可實現對工件尺寸和形態的精確測量，提高產品質量和生產效率。測長機具有高精度、重復性好等特點，可應用于多種精密制造領域。未來，測長機技術將不斷更新和完善，為精密制造領域的發展提供有力支持。

制造工業測量
443瀏覽量
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34

顯微測量是利用顯微鏡對微小尺寸和形狀進行高精度測量的技術，在先進制造業中具有重要意義。它為制造業提供了準確、可靠的測量手段，幫助企業實現更高水平的制造和更高質量的產品。隨著科技的不斷進步，顯微測量技術有望在未來取得更大的突破和應用。

測量測量儀
455瀏覽量
VX9000系列光學掃描成像測量機，滿足PCB行業多樣化尺寸測量需求2023-12-01 09:29

VX9700光學掃描成像測量機紅、藍、綠三色光源滿足不同顏色PCB測量需求。高遠心度雙側遠心鏡頭提升數倍精度，一鍵測量新能源車PCB輪廓度、位置度、外形尺寸。

pcb PCB 三維成像光學掃描測量機
736瀏覽量
激光干涉儀檢測機床的方法（以線性檢測為例）2023-10-27 15:21

激光干涉儀檢測機床的方法（以線性檢測為例）1.進行線性測量的一般步驟（1）安裝設置激光干涉儀（2）將激光束與被測量的軸校準（3）啟動測量軟件，并輸入相關參數（如材料膨脹系數）。（4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數據。（5）用測量軟件分析測量數據，生產補償文件。線性測量應用2.光束快速準直步驟（1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。（2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動，垂

機床檢測激光激光干涉儀
746瀏覽量
白光干涉儀(光學輪廓儀)：揭秘測量坑的形貌的利器！2023-10-26 10:47

SuperViewW1白光干涉儀結合數字圖像處理技術和三維重建算法來提高測量的精度和效率，揭秘并測量坑的形貌，為科學研究和工程實踐提供更有力的支持。

光學器件測量白光干涉儀表面輪廓儀
661瀏覽量
納米級測量儀器：窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49

納米級測量儀器在納米科技研究領域中扮演著重要的角色。通過共聚焦顯微鏡、光學輪廓儀等的運用，科研人員們能夠更加深入地了解納米世界的奧秘。

3D 儀器顯微鏡測量
814瀏覽量
微納共聚焦顯微鏡：檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13

針對磨損區域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領域，采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡更加匹配，其遠勝于光學3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能，能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測，從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數據。

3D 顯微鏡檢測
1.2k瀏覽量
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26

BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半導體行業中，Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進封裝的四要素，其中Bump起著界面互聯和應力緩沖的作用。Bump是一種金屬凸點，從倒裝焊FlipChip出現就開始普遍應用，Bump的形狀有多種，常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。Bump起著界面之間的電氣互聯和應力緩沖的作用，從Bondwire

封裝測量儀器
2.2k瀏覽量