白光干涉儀應用實例

白光干涉儀

型號： SuperView W1

--- 產品參數 ---

影像系統 1024×1024
光學ZOOM 0.5×，（0.75×，1×可選）
XY平臺尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同
Z軸行程 100mm，電動
Z向掃描范圍 10mm

--- 產品詳情 ---

自動拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結構，當必須測量超出適配鏡頭下的單視場區域時，都可以采用自動拼接，而中圖儀器SuperView W1白光干涉儀可根據不同表面特點進行重建算法的切換，無論何種形貌，都可生成“天衣無縫"的3D全景。

白光干涉儀應用實例

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現有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點，而單一的光學非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。白光干涉儀實現了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

SuperView W1白光干涉儀參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

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