圖 晶閘管旁路滅弧原理圖

較大功率（100kW以上）的離子滲氮設備通常采用晶閘管旁路滅弧，其電路如圖所示。電路的陰陽極間并聯了一個晶閘管V，在輝光放電過渡到弧光放電前，電源對電容器C1經電阻R1充電到電源電壓，當弧光放電時，陰陽極間電壓突然下降，電容C1放電，脈沖變壓器TM原、副邊中產生脈沖電流，使V觸發導通，陰陽極間短路，因此弧光熄滅。此時LC構成振蕩回路，當流過V的放電電流為零時（電壓已反向），V即自動關斷。電源經限流電阻R、濾波電感L0重新對電容器C1充電至輝光放電所需的電壓，而重新起輝。由于V的導通時間只需十幾個μs，故弧光放電只經很短時間即被旁路，弧光放電強度大為減弱。
這種電路也有其缺點：在大功率情況下，很小的限流電阻會產生很大的功率損耗。晶閘管旁路滅弧是以陰陽極間的電壓突然下降作為觸發信號的，起輝時，如起輝電壓較高，起輝后電壓會突然下降，造成晶閘管的誤觸發，為此，必須加一點燃陰極，以降低起輝電壓，點燃陰極自陰極引出，距陽極2mm～3mm。