動(dòng)態(tài)

• 發(fā)布了文章 2025-01-06 16:48

  集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配設(shè)備安裝與連接環(huán)節(jié)有哪些注意事項(xiàng)？

  

  設(shè)備安裝與連接是集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配施工流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，以下是該環(huán)節(jié)的一些注意事項(xiàng)：

  半導(dǎo)體 集成電路

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• 發(fā)布了文章 2025-01-06 16:45

  什么是集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配？

  

  集成電路新建項(xiàng)目機(jī)電二次配是在集成電路工廠建設(shè)過程中的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，主要涉及到在一次機(jī)電安裝完成后，針對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的具體需求進(jìn)行的二次機(jī)電系統(tǒng)配置與調(diào)整。以下是其詳細(xì)介紹：

  半導(dǎo)體 集成電路

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• 發(fā)布了文章 2025-01-03 16:32

  防震基座安裝施工過程中如何保證基座的水平度?

  

  在防震基座安裝施工過程中，保證基座水平度至關(guān)重要，可從施工前準(zhǔn)備、安裝過程控制到施工后檢查等多方面采取措施，具體如下：

  基座 測(cè)量?jī)x器

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• 發(fā)布了文章 2025-01-03 16:28

  泊蘇防震基座成功解決無塵車間設(shè)備振動(dòng)問題的方案

  

  某半導(dǎo)體制造企業(yè)的無塵車間內(nèi)，光刻設(shè)備在運(yùn)行過程中受到不明原因的振動(dòng)干擾，導(dǎo)致光刻精度下降，產(chǎn)品良率從原本的 90% 降低至 70%，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)效益和產(chǎn)品質(zhì)量。

  半導(dǎo)體設(shè)備 基座 振動(dòng)

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• 發(fā)布了文章 2025-01-02 15:29

  無塵車間半導(dǎo)體制造設(shè)備的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)

  

  半導(dǎo)體制造設(shè)備對(duì)振動(dòng)極為敏感，不同的設(shè)備及工藝對(duì)振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)要求也有所不同。一般來說，無塵車間半導(dǎo)體制造設(shè)備的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)主要從振動(dòng)頻率、振幅等方面進(jìn)行考量： 1，光刻設(shè)備 （1）振動(dòng)頻率：通常要求在 1-100Hz 范圍內(nèi)，振動(dòng)加速度均方根值需低于 10-50μm/s2。對(duì)于極紫外光刻（EUV）等先進(jìn)光刻技術(shù)，要求可能更嚴(yán)格，在某些關(guān)鍵頻段甚至要低于 10μ

  半導(dǎo)體制造 半導(dǎo)體設(shè)備 振動(dòng)

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• 發(fā)布了文章 2025-01-02 15:23

  如何降低半導(dǎo)體制造無塵車間設(shè)備振動(dòng)問題的影響？

  

  要降低無塵車間設(shè)備振動(dòng)問題的影響，需要從設(shè)備選型與安裝、振動(dòng)監(jiān)測(cè)與控制、車間環(huán)境管理等方面綜合采取措施，以下是具體方法：

  半導(dǎo)體制造 半導(dǎo)體設(shè)備 振動(dòng)

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• 發(fā)布了文章 2024-12-31 16:11

  如何有效解決無塵車間半導(dǎo)體制造設(shè)備周邊環(huán)境的振動(dòng)源

  

  要有效解決無塵車間半導(dǎo)體制造設(shè)備周邊環(huán)境的振動(dòng)源，需要從振動(dòng)源的識(shí)別與評(píng)估、主動(dòng)控制、被動(dòng)隔振、日常監(jiān)測(cè)與維護(hù)等方面入手，以下是具體措施：

  制造設(shè)備 半導(dǎo)體制造

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• 發(fā)布了文章 2024-12-31 16:07

  如何提升國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體防震基座制造企業(yè)的技術(shù)水平？

  

  企業(yè)自身要提高研發(fā)資金在總預(yù)算中的占比，例如從目前的 10% 提升至 15% 甚至更高。同時(shí)，積極爭(zhēng)取政府的研發(fā)補(bǔ)貼、專項(xiàng)基金等，利用政府資源來減輕研發(fā)資金壓力。

  制造 半導(dǎo)體 基座

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• 發(fā)布了文章 2024-12-30 15:32

  半導(dǎo)體設(shè)備防震基座為啥要定制？

  

  半導(dǎo)體設(shè)備的種類繁多，包括光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備等，每種設(shè)備的尺寸、重量、重心位置以及振動(dòng)敏感程度都有所不同。例如，光刻機(jī)通常對(duì)精度要求極高，其工作時(shí)的微小振動(dòng)都可能影響光刻的精度，因此需要專門設(shè)計(jì)的防震基座來滿足其高精度的要求。而刻蝕機(jī)可能由于其內(nèi)部結(jié)構(gòu)和工作原理的差異，對(duì)防震基座的承載能力和阻尼特性有特殊的要求。

  半導(dǎo)體設(shè)備 基座 集成電路

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• 發(fā)布了文章 2024-12-30 15:28

  安裝定制化防震基座時(shí)需要哪些工具和設(shè)備

  

  安裝定制化防震基座所需的工具和設(shè)備

  基座 測(cè)量工具 設(shè)備

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