基于MEMS技術的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能，并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種MEMS超聲波飛行時間（ToF）傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員存在檢測以及消費電子、機器人、無人機等領域的避障應用。

Chirp Microsystems（TDK集團成員單位）首席執(zhí)行官江夢雄（Meng-Hsiung Kiang）表示：超聲波ToF傳感器通常被認為是適用于汽車、工業(yè)以及無人機和機器人應用的最佳測距傳感器。相比于光學傳感器或紅外傳感器，它具有諸多優(yōu)勢。它可提供最精確的距離測量，不受目標物體的尺寸或顏色的影響，也不受環(huán)境噪音的干擾，并且可以在陽光直射的環(huán)境下使用。這些優(yōu)點以及堅固耐用、精確和可靠的特點讓超聲波傳感器廣泛應用于工業(yè)及汽車應用。 然而，直至今天，超聲波ToF傳感器仍需要復雜的信號處理，由于尺寸巨大而無法適用于消費電子產(chǎn)品。

Chirp Microsystems首席執(zhí)行官江夢雄

正如TDK在并購Chirp Microsystems時，TDK高級副總裁兼Sensor Systems Business公司首席執(zhí)行官Noboru Saito所說：“TDK致力于推動汽車、智能手機、健康醫(yī)療和工業(yè)產(chǎn)業(yè)的系統(tǒng)應用增長。我們的愿景是成為物聯(lián)網(wǎng)應用的運動、聲學、環(huán)境（氣壓、溫度和濕度）以及超聲波傳感器的領先解決方案供應商，Chirp Microsystems獨一無二的高附加值3D傳感技術將完美補充我們的傳感器解決方案產(chǎn)品線，幫助TDK成為超聲波MEMS技術領域的領導者。我們的目標是繼續(xù)成為客戶最可靠的合作伙伴，為他們所面臨的挑戰(zhàn)提供解決方案。

千分之一的尺寸，百分之一的功耗

現(xiàn)在，TDK 公司推出了一個基于 MEMS 的微型超聲波傳感器產(chǎn)品，相比于傳統(tǒng)的超聲波傳感 器，它可以提供相同的性能和可靠性，但其尺寸只有傳統(tǒng)產(chǎn)品的千分之一，功耗低至傳統(tǒng)產(chǎn)品 的百分之一。這種微型傳感器尺寸微小，可以集成到緊湊的消費品中使其具備超聲波檢測能力， 例如，用于智能手機和可穿戴設備中。測量距離時，這種傳感器首先發(fā)射超聲波脈沖，然后監(jiān) 聽傳感器視場范圍內(nèi)目標物的反射回聲。每個回聲均以聲速傳播，通過測量回聲的飛行時間可 精確地測量傳感器至目標物的距離。

左側(cè)圖為MEMS超聲波ToF傳感器產(chǎn)品，右側(cè)方框圖為顯示了與壓電式MEMS超聲換能器（PMUT）相連的SoC

PMUT由于采用了MEMS技術，收發(fā)恢復速度都非常快，因此可實現(xiàn)單孔收發(fā)。

目前，有兩種產(chǎn)品可向客戶提供工程樣品，即最大傳感范圍為100cm的CH-101型和最大傳感范圍為500cm的CH-201長距離型傳感器。這些微型裝置采用了緊湊的3.5mm x 3.5mm LGA封裝，將PMUT與定制的SoC芯片集成在一起，完成了所有超聲波ToF傳感器信號處理過程。CH-101和CH-201均采用1.8 V電源供電，并具有方便的I2C接口，可方便地集成到消費電子產(chǎn)品中。

如上圖所示的超聲波傳感器參數(shù)，在功耗方面，Chirp Microsystems的技術是傳統(tǒng)紅外ToF傳感器的1/500，非常適合消費類和便攜式產(chǎn)品。

高精度距離測量性能和寬視場

盡管尺寸小巧，這種全新的MEMS超聲波傳感器仍具有卓越的性能。例如，CH-201在120cm處的距離測量信號噪音僅為0.35mm（1σ），是競品紅外ToF傳感器噪音的百分之一。此外，CH-101和CH-201可提供視場（FoV）最高可達到180°，因此只需一個部件就能夠?qū)崿F(xiàn)對整個空間范圍的檢測。還有多種外殼參考設計可供選擇，使得客戶能通過改變傳感器聲學端 口周圍區(qū)域的形狀以聚焦和引導超聲波束，從而實現(xiàn)所需的水平和垂直視場。

120cm處的距離噪音目標距離，帶有窄視場外殼時的視場。CH-201型超聲波ToF傳感器的距離噪音僅為傳統(tǒng)紅外ToF傳感器的百分之一（左圖）。窄視場外殼是可用的參考設計之一，可將該傳感器超聲波束整形以實現(xiàn)預期的視場（右圖）。

超低功耗的片上系統(tǒng)（SoC）控制整個ToF處理過程：發(fā)送超聲波脈沖，將接收的超聲回波數(shù)字化，檢測ToF到最近目標并通過I2C返回16位ToF信號。SoC使喚醒檢測應用能夠始終處于工作狀態(tài)；在每秒1次采樣測量的狀況下，總電流消耗低至8μA。由于驅(qū)動程序采用C語言編寫，開發(fā)者可以在嵌入式系統(tǒng)中輕松使用CH-101和CH-201。此外，單個微控制器即可控制多個CH-101和CH-201傳感器，有助于實現(xiàn)復雜的多傳感器測量功能。

極其廣泛的潛在應用

全新的MEMS超聲波傳感器是無人機及機器人等應用注定要選擇的產(chǎn)品，在這類應用中，其它類型的距離傳感器無法提供所需的性能。它們也是智能音箱等智慧家庭產(chǎn)品的理想選擇，在這類應用中，被動紅外（PIR）和光學接近傳感器都沒有超聲波傳感器有效。這種微型超聲波傳感器還可以精確地追蹤目標物，例如，在虛擬現(xiàn)實和增強現(xiàn)實（VR/AR）系統(tǒng)中，追蹤手持式游戲控制器。智能手機是另一個重要的應用領域：由于CH-101具有寬視場，即使安裝在手機的頂部或底部仍能夠?qū)崿F(xiàn)精確的距離測量，因此設計師可以省略手機前面的光學接近傳感器，從而實現(xiàn)手機全面屏設計。

根據(jù)Chirp Microsystems提供的Demo演示，產(chǎn)品可以安裝到到智能手表側(cè)面或者筆記本中，實現(xiàn)用戶檢測或者手勢識別等工作。

據(jù)介紹，目前HTC已選擇Chirp放置在其VIVE Focus all-in-one VR系統(tǒng)中的頭盔和手柄中，利用多顆6軸超聲波ToF傳感器實現(xiàn)最精確的控制。

在距離測量和物體探測應用中，以前被迫在大尺寸超聲波傳感器與基于激光的紅外ToF傳感器之間選擇的設計師們現(xiàn)在可以受益于新型超聲波傳感器的能力：

- 提供精確、低延時的距離測量結(jié)果，測量速度高達每秒采樣100次，位置噪音小于1mm。

- 在人員接近、移動和活動檢測等應用中可實現(xiàn)傳感器始終保持工作狀態(tài)，功耗低至15μW。

- 探測物體的視場高達180°，因此一個傳感器就能夠檢測整個房間場景。

- 在所有照明條件下均能完美工作，即使在陽光直射的環(huán)境下。

- 可探測任何顏色的物體，包括透明物體，提高了目標物探測能力。

- 通過避免使用基于激光的紅外傳感器來保護眼睛。

江夢雄特別強調(diào)，對于TDK的定位來說，最重要的是為客戶提供完整的解決方案，這和Chirp Microsystems的理念相一致，都是為了盡可能的減少設計開發(fā)難度。所以公司與高通進行合作，共同為基于驍龍移動XR平臺的移動VR/AR頭顯開發(fā)內(nèi)向外六自由度控制器追蹤。未來，Chirp Microsystems還將和Invensense的MEMS傳感器、指紋識別傳感器以及EPCOS的壓電陶瓷傳感器等結(jié)合，提供全傳感器融合的解決方案。