近日,鄭州合晶年產(chǎn)240萬片200毫米單晶硅拋光片生產(chǎn)項目在鄭州航空港實驗區(qū)投產(chǎn),這標(biāo)志著我省首個半導(dǎo)體級單晶硅拋光片項目正式投入運營。
據(jù)了解,芯片產(chǎn)業(yè)是制造業(yè)的上游,被稱為“工業(yè)糧食”,是制造業(yè)必不可少的核心技術(shù)。目前,我國芯片產(chǎn)業(yè)對于200毫米、300毫米的硅襯底材料供需缺口極大,并長期依賴進口,河南目前還沒有半導(dǎo)體級單晶硅拋光片的生產(chǎn)項目。資料顯示,目前,國內(nèi)200毫米硅晶圓及外延片的合計月產(chǎn)能為23.3萬片,而2017年國內(nèi)對200毫米硅片月需求量就達80萬片,國內(nèi)300毫米硅片還一直依賴進口。
鄭州合晶年產(chǎn)240萬片200毫米單晶硅拋光片項目的全面投產(chǎn),將有效填補鄭州乃至河南省半導(dǎo)體集成電路基礎(chǔ)材料行業(yè)的空白,有利于改善我國芯片產(chǎn)業(yè)對于200毫米硅襯底材料不足的缺口以及長期依賴進口的局面,將會顯著提升我國半導(dǎo)體晶圓硅片國產(chǎn)化率,這對推進航空港實驗區(qū)打造世界級電子信息先進制造業(yè)集群和鄭州構(gòu)建先進制造業(yè)強市具有重要戰(zhàn)略意義,對優(yōu)化我省產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),加快構(gòu)建產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級、供給側(cè)改革具有引領(lǐng)示范作用。
據(jù)悉,合晶集團位列全球第六大硅片供貨商,也是全球前三大低阻重?fù)焦杵┴浬蹋罡杵a(chǎn)業(yè)超過20年,公司主要產(chǎn)品為半導(dǎo)體級硅產(chǎn)品如襯底片、硅晶棒、雙面拋光片以及外延片等。鄭州合晶硅單晶拋光片生產(chǎn)項目總投資57億元,主要生產(chǎn)200毫米及300毫米硅單晶拋光片及外延片。項目一期投資12億元,主要生產(chǎn)200毫米單晶硅拋光片,建成產(chǎn)能可達20萬片/月。項目二期投資45億元,主要生產(chǎn)300毫米硅單晶拋光片和外延片,建成后產(chǎn)能分別可達20萬片/月和7萬片/月。項目全部建成達產(chǎn)后預(yù)計年產(chǎn)值20億元。
該項目于2017年7月在航空港實驗區(qū)開工建設(shè),于2018年6月25日完成首根200毫米單晶硅棒的拉制,今年10月26日完成一期200毫米硅單晶生產(chǎn)線的全面竣工投產(chǎn),預(yù)計明年產(chǎn)值將達5億元,成為國內(nèi)硅晶圓片的重要產(chǎn)能基地。
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