5月21日上午，在上海浦東新區康橋工業園南區，由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的 12 英寸先進生產線建設項目（以下簡稱“華虹六廠”）實現首臺工藝設備——光刻機搬入。據悉，此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭ASML的 NXT 1980Di 光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

上海華力相關負責人向集微網記者表示，未來五個月內，華虹六廠工藝設備將集中搬入，并完成安裝調試，今年年底之前將實現試生產，并達成 10K/月的產能。除了此次正式搬入的第一臺 ASML光刻機設備，未來幾個月內還將會有多臺光刻機設備陸續到位。

華虹六廠將于2022年底建成達產。

據了解，華虹六廠是上海市最大的集成電路產業投資項目，總投資 387 億元人民幣，將建成月產能 4 萬片的 12 英寸集成電路芯片生產線，工藝覆蓋 28-14 納米技術節點。項目計劃于 2022 年底建成達產。項目主要從事邏輯芯片生產，重點服務國內設計企業先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。

自 2016 年 12 月 30 日開工以來，在參與華虹六廠建設的管理者有序組織協調下，廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫以及兩個春節長假放假等不利因素，合理安排，規范和錯時施工。經過 16 個半月的努力，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，較原計劃進度提前 1 個半月。

上海華力相關負責人透露，“未來產品的應用領域非常廣泛，包括手機通訊類芯片、物聯網和人工智能等等。”

華虹集團黨委書記、董事長張素心表示，華力二期的啟動標志著華虹集團新二十年征程的開始，此次搬入的 NXT 1980Di 光刻機是迄今為止中國大陸最先進的光刻機，這個節點對于華力二期來說非常特殊。華虹無錫基地項目也已經于今年 3 月 2 日正式開工，預示著華虹集團旗下華力二期和華虹無錫項目兩條 12 英寸項目將同時加快推進。

目前，總投資 100 億美元華虹無錫基地項目（華虹七廠）正在建設中，將新建一條工藝等級 90-65 納米、月產能約 4 萬片的 12 英寸特色工藝集成電路生產線，支持 5G 和物聯網等新興領域的應用。

大陸已有多家晶圓制造廠購入ASML設備

光刻機（又稱曝光機）是生產大規模集成電路的核心設備，對芯片工藝有著決定性的影響。目前，全球僅有極少數的光刻機設備廠商能夠研制出高端光刻機，而荷蘭的 ASML 在高端光刻機領域占據了全球 90% 的市場份額，在干式曝光機、浸潤式光刻機，EUV（極紫外線光刻機）的市場幾乎處于獨霸地位。

此前有市場傳出受西方《瓦森納協議》的限制，中國只能買到 ASML 的中低端產品，出價再高，也無法購得 ASML 的高端設備。但是，ASML 已否認該傳言，并表示對中國大陸晶圓廠客戶一視同仁。

據了解，近日陸續有多臺 ASML 的設備運入中國大陸晶圓制造廠。其中，中芯國際已經購入首臺價值 1.2 億美元的 ASML EUV 設備，預計將于 2019 年初交貨；長江存儲的首臺光刻機也已運抵武漢天河機場，這臺光刻機為 ASML 的 193nm 浸潤式光刻機，售價 7200 萬美元，用于 14nm~20nm 工藝。

華虹六廠首臺ASML光刻機正式搬入

而此次華虹六廠搬入的 NXT 1980Di 光刻機是一臺 193nm沉浸式光刻機，可用于 28nm~14nm 晶圓生產，同時它也是目前中國大陸最先進的沉浸式光刻設備。

ASML 全球執行副總裁 Ron Kool 表示，自 2015 年以來，作為華力的戰略合作伙伴，ASML 團隊就跟華力團隊一起在28納米的研發項目中開展了緊密合作，并在光刻領域取得了可喜的成果。此后，我們以 ASML 光刻機為基礎，在 28 納米 HKMG 的研發項目中，跟華力團隊繼續開展了深入的合作，我們希望通過這樣的合作，在光刻領域更好、更全面的協助華力研發。

華虹六廠將助力上海集成電路產業發展

2017 年，上海市集成電路產業整體銷售規模接近 1200 億元，同比增長超過 12%。其中，芯片設計業實現銷售約440億元，同比增長近20%；芯片制造業實現銷售近 300 億元，同比增長約 8%；裝備材料業實現銷售超過 150 億元，同比增長超過 30%，成為帶動上海市集成電路產業快速發展的“三駕馬車”。

據悉，華虹六廠 12 英寸先進生產線項目已被列入國家《“十三五”集成電路產業重大生產力布局規劃》，是國家“910工程”的子項目之一，也是“十三五”期間上海市重大產業項目和上海市重大工程。

而此次華虹六廠實現首臺工藝設備搬入，標志著將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地、上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》取得了階段性勝利，同時對上海建設先進制造業的產業集群高地、打響“上海制造”品牌有著重要意義。

上海華力相關負責人向集微網記者表示，華虹六廠達成量產能力后對于上海集成電路產業發展意義重大。首先，從客戶和服務的角度來看，在先進制程方面可以減少對海外制造能力的依賴，并實現上海本土化生產；同時，從國家戰略層面，華虹六廠項目也呼應了國家戰略方面的需要，將向高端芯片實現自主可控邁進。