單晶金剛石被譽(yù)為“材料之王”,憑借超高的硬度、導(dǎo)熱性和化學(xué)穩(wěn)定性,在半導(dǎo)體、5G通信、量子科技等領(lǐng)域大放異彩。
硬度之王:擁有超高的硬度,是磨料磨具的理想選擇。
抗輻射性強(qiáng):在半導(dǎo)體和量子信息領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
導(dǎo)熱率高:在電子器件中表現(xiàn)出色。
化學(xué)穩(wěn)定性好:在惡劣環(huán)境下也能保持穩(wěn)定。
然而,工業(yè)制備的單晶金剛石并非完美無瑕,常常存在以下問題:
缺陷多:如氮雜質(zhì)等,導(dǎo)致金剛石透明度低、色澤差。
光學(xué)性質(zhì)差:顏色偏黃或棕色,影響其美觀和應(yīng)用。
內(nèi)應(yīng)力大:容易產(chǎn)生裂紋,影響其機(jī)械性能。
高溫退火作為關(guān)鍵處理手段,可有效改善其性能,依條件分為高溫低壓和高溫高壓法,本文聚焦其研究進(jìn)展。
高溫高壓法處理金剛石
原理:模擬天然金剛石形成的高溫高壓環(huán)境(如1500℃、4.0 GPa以上),促使內(nèi)部缺陷重組。 效果: 氮雜質(zhì)與空位結(jié)合,形成穩(wěn)定色心,改善顏色(如棕色變無色)。
提高硬度與透明度,紅外吸收峰銳化。
金剛石的光致發(fā)光光譜
案例:元素六公司專利顯示,處理后金剛石的光學(xué)性能顯著提升。
高溫低壓法處理金剛石
原理:在氫氣或惰性氣體保護(hù)下(約2200℃、低壓),釋放內(nèi)應(yīng)力,減少缺陷。
CVD單晶金剛石高溫低壓退火的實(shí)物圖
效果: 應(yīng)力降低高達(dá)1.03 GPa(Zhu X等研究)。
顏色由黃棕變淺,紫外吸收系數(shù)下降。
CVD 單晶金剛石的紫外可見吸收光譜
黑科技:結(jié)合電子輻照,可在1600℃下誘導(dǎo)粉紅色色心,用于量子傳感領(lǐng)域!
高溫退火技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展
技術(shù)優(yōu)勢(shì)與操作要點(diǎn):有效提升金剛石光學(xué)與質(zhì)量、降低應(yīng)力、改善缺陷,高溫高壓退火注意均壓防損,高溫低壓退火可在氫氣或惰性氣體氛圍防碳化。
工業(yè)應(yīng)用意義與前景:解決工業(yè)金剛石氮雜質(zhì)致的質(zhì)量問題,提高制備效率和良品率,對(duì) CVD 和 HTHP 法制備的金剛石改善效果顯著,有望拓展其應(yīng)用范圍。
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金剛石
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原文標(biāo)題:高溫退火:改善單晶金剛石內(nèi)部缺陷
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