密封性檢測(cè)的必要性

密封性對(duì)于各類(lèi)設(shè)備和容器至關(guān)重要。以真空設(shè)備為例，如真空鍍膜機(jī)、液晶注入機(jī)、PVD設(shè)備以及半導(dǎo)體外延設(shè)備等，這些設(shè)備需在真空環(huán)境下運(yùn)行。一旦空氣滲入工作腔體，不僅會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)流程受阻，還會(huì)產(chǎn)生次品，造成資源浪費(fèi)。此外，儲(chǔ)存液體或氣體的容器，如液壓氣瓶、氧氣瓶、空調(diào)冰箱中的制冷劑容器等，在存在內(nèi)外壓差時(shí)，必須嚴(yán)防氣體或液體泄漏。泄漏不僅會(huì)導(dǎo)致有效物資浪費(fèi)，若涉及有毒、腐蝕性氣體，還可能引發(fā)嚴(yán)重事故。因此，對(duì)這些有密封性要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前及使用過(guò)程中定期進(jìn)行密封性檢測(cè)是保障安全、確保正常運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

泄漏程度的量化指標(biāo)

量化泄漏程度是密封性檢測(cè)的重要環(huán)節(jié)。通常，可以通過(guò)單位時(shí)間內(nèi)單位體積容器壓強(qiáng)的變化來(lái)衡量泄漏程度。以自行車(chē)胎為例，其容積為4L，若30天內(nèi)胎壓從3bar降至2bar，漏率較高，通過(guò)簡(jiǎn)單將車(chē)胎浸入水中觀(guān)察氣泡即可發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)。然而，對(duì)于冰箱制冷劑泄漏情況則不同。若1年內(nèi)泄漏10克（分子量102g/mol），約2.24bar·l，這種程度的泄漏對(duì)冰箱影響嚴(yán)重，但普通方法難以檢測(cè)。此時(shí)，需借助檢漏儀或質(zhì)譜儀才能精準(zhǔn)定位漏點(diǎn)。在進(jìn)行密封性檢測(cè)時(shí)，準(zhǔn)確量化泄漏程度有助于選擇合適的檢測(cè)方法與設(shè)備。

檢漏儀檢漏原理

1.正壓檢漏（Sniffer檢漏）

正壓檢漏是將示蹤氣體置于容器內(nèi)，使容器處于正壓狀態(tài)，然后用儀器檢測(cè)容器周邊是否有該氣體。若在容器外檢測(cè)到示蹤氣體，說(shuō)明容器存在泄漏。此方法不僅可以確定漏點(diǎn)，還能大致判斷泄漏程度。它適用于檢測(cè)物件工作時(shí)內(nèi)部處于正壓的情況，如高壓容器或充氣設(shè)備等。通過(guò)這種方式，可以快速定位泄漏位置，為維修和維護(hù)提供依據(jù)。

2.背壓法

將被檢件放入充氦箱，充入一定壓力的氦氣。在規(guī)定的加氦時(shí)間內(nèi)，如果被檢件有漏孔，示漏氣體會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入到被檢件內(nèi)部。然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專(zhuān)用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對(duì)檢漏罐抽真空，實(shí)施檢漏。若器件有漏，則通過(guò)該漏孔壓入的氦氣又釋放出來(lái)進(jìn)入檢漏罐，最終到達(dá)質(zhì)譜管。

3.真空檢漏（負(fù)壓檢漏）

真空檢漏則是將示蹤氣體噴于容器外部，用儀器檢測(cè)容器內(nèi)是否有該氣體。這種方式不僅能檢測(cè)漏點(diǎn)，還能精準(zhǔn)測(cè)量漏率。它適合檢測(cè)物件工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓狀態(tài)，如真空包裝設(shè)備或真空系統(tǒng)等。通過(guò)真空檢漏，可以確保設(shè)備在負(fù)壓環(huán)境下的密封性，防止外界氣體或雜質(zhì)進(jìn)入，影響設(shè)備的正常運(yùn)行。

選擇合適的檢漏方式需考慮檢測(cè)物件的工作環(huán)境，盡量與物件的工作狀態(tài)保持一致，以確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

示蹤氣體的選擇標(biāo)準(zhǔn)

1.無(wú)害性

示蹤氣體應(yīng)不對(duì)人體或環(huán)境造成傷害，保障檢測(cè)過(guò)程的安全性。在檢測(cè)過(guò)程中，操作人員可能會(huì)接觸到示蹤氣體，因此選擇無(wú)害的氣體可以確保人員的安全。同時(shí)，無(wú)害的示蹤氣體也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，符合環(huán)保要求。

2.輕質(zhì)與惰性

示蹤氣體應(yīng)質(zhì)量輕、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定且為惰性氣體。輕質(zhì)的氣體能夠輕易穿透微小細(xì)縫，便于檢測(cè)微小泄漏。惰性氣體不會(huì)與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)干擾檢測(cè)過(guò)程，也不會(huì)對(duì)被檢測(cè)設(shè)備或容器造成損害。例如，氦氣（He）是一種典型的輕質(zhì)惰性氣體，它在空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運(yùn)動(dòng)速度快，直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)距離長(zhǎng)，且容易獲取，可大量使用。

3.穩(wěn)定性

示蹤氣體應(yīng)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，也不會(huì)易燃易爆，確保檢測(cè)過(guò)程的安全穩(wěn)定。穩(wěn)定的示蹤氣體可以保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性，避免因氣體的不穩(wěn)定而產(chǎn)生誤報(bào)或漏報(bào)。在檢測(cè)過(guò)程中，穩(wěn)定的示蹤氣體能夠提供可靠的檢測(cè)信號(hào)，幫助準(zhǔn)確判斷泄漏情況。

4.低空氣含量

示蹤氣體在空氣中的含量應(yīng)盡可能少，以提高檢漏靈敏度，精準(zhǔn)檢測(cè)泄漏。如果示蹤氣體在空氣中的含量較高，可能會(huì)導(dǎo)致檢測(cè)信號(hào)的干擾，降低檢測(cè)的準(zhǔn)確性。選擇低空氣含量的示蹤氣體可以提高檢測(cè)的靈敏度，使微小泄漏也能夠被及時(shí)發(fā)現(xiàn)。在實(shí)際應(yīng)用中，氦氣（He）是常用的示蹤氣體。它不僅滿(mǎn)足上述所有條件，而且在空氣中的含量極少，約為5ppm，這使得氦氣成為理想的示蹤氣體。雖然氫氣（H?）也具備一些理想特性，如質(zhì)量輕、擴(kuò)散速度快等，但因存在一定的安全問(wèn)題，如易燃易爆，實(shí)際檢漏中大多選用氦氣作為示蹤氣體，以確保檢測(cè)過(guò)程的安全與高效。

結(jié)論

密封性檢測(cè)在工業(yè)生產(chǎn)和日常生活中具有重要意義。通過(guò)量化泄漏程度、選擇合適的檢漏方法和示蹤氣體，可以有效保障設(shè)備的正常運(yùn)行和安全。示蹤氣體的選擇應(yīng)考慮無(wú)害性、輕質(zhì)與惰性、穩(wěn)定性和低空氣含量等因素。氦氣作為常用的示蹤氣體，因其優(yōu)異的特性，在密封性檢測(cè)中得到了廣泛應(yīng)用。未來(lái)，隨著檢測(cè)技術(shù)的不斷發(fā)展，密封性檢測(cè)將更加精準(zhǔn)和高效，為各行業(yè)的安全運(yùn)行提供有力保障。