隨著科研及工業領域科技的不斷提升,對于靈活運動且高精密的定位系統需求越來越多。芯明天研發生產壓電納米定位臺可產生1~6軸運動,可直線,可偏轉,且速度快、精度高,可廣泛用于半導體、光學、醫療、航空航天、生物科技等微納操作領域。
H60.XYZTR5六自由度并聯機構
H60.XYZTR5系列六自由度并聯機構壓電納米定位臺,是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運動定位臺,內置高可靠性壓電陶瓷作為驅動源,通過六支壓電促動器的協調伸縮,配合先進的控制算法,實現空間內1~6維的精密直線及角度運動,臺體結構緊湊。由于采用了并聯運動設計,它可以執行復雜的多軸運動軌跡,閉環版本配置高精度傳感器對位置進行實時監測反饋,實現納米級的精密定位控制,具有高剛度、高可靠性和重復性。此版本為真空版本,可進行真空環境適配。產品外觀如下圖所示。
產品特點
六自由度運動
大承載
閉環定位精度高
誤差無積累
產品應用
半導體設備
光學
晶圓檢測微加工
醫療
航空航天
技術參數
型號 |
H60.XYZTR5S/K |
運動自由度 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
驅動控制 |
6路驅動,6路傳感 |
X、Y軸標稱行程范圍(0~120V) |
±40μm |
Z軸標稱行程范圍(0~120V) |
±27.5μm |
θx、θy軸偏擺角度范圍(0~120V) |
±0.6mrad |
θz軸旋轉角度范圍(0~120V) |
±0.8mrad |
θx、θy、θz軸偏擺分辨率 |
優于0.5μrad |
X、Y、Z軸位移分辨率 |
優于0.5nm |
閉環線性度 |
優于0.1%F.S. |
閉環重復定位精度 |
優于0.1%F.S. |
結構形式 |
六自由度并聯式 |
驅動方式 |
壓電陶瓷促動器驅動 |
承載能力 |
5kg |
重量 |
1300g |
配套控制器
E70.D6S壓電控制器非常適用于驅動H60.XYZTR5六自由度壓電運動平臺。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器。E70.D6S為2個模塊化E70系列壓電陶瓷控制器級聯形成,單個E70模塊通道數為3通道,最多可級聯32個模塊,達96通道。控制器采用DC24V供電,可通過外部模擬信號或RS-422接口數字通信進行控制、開/閉環可選、集成式PZT&sensor接口便于連接,外部可設定控制功能,操作簡單便捷。
審核編輯 黃宇
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