1 我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模

根據(jù) SEMI 發(fā)布的數(shù)據(jù)，2015 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模為 53.54 億美元。其中進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模為 46.6 億美元，同比增長(zhǎng) 6.7%。同時(shí)我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售規(guī)模為 47.17 億元（折合6.94 億美元），同比增長(zhǎng) 5.3%。

2016 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模為 72.88 億美元，比 2015 年增長(zhǎng) 36.1%。其中進(jìn)口設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模為 64.6 億美元，同比增長(zhǎng) 31.8%。國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)為 57 億元（折合 8.28 億美元），同比增長(zhǎng) 20.8%。

2011～2016 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模及增長(zhǎng)率如表 1 所示[1]。可見，在此期間，除 2012 年受全球半導(dǎo)體市場(chǎng)疲軟影響我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)減退外，其他年份均呈增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。其中，除進(jìn)口設(shè)備規(guī)模不斷增長(zhǎng)外，國(guó)產(chǎn)設(shè)備雖然體量不大，但增長(zhǎng)迅速，在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中的比例明顯提升。2011～2016 年我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售規(guī)模及增長(zhǎng)率如圖 1 所示。

2011 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)受太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的激勵(lì)，太陽(yáng)能電池制造設(shè)備出現(xiàn)了爆發(fā)性的增長(zhǎng)。2012～2013 年由于國(guó)內(nèi)外太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)受挫，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額嚴(yán)重下跌。2013 年以后，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備轉(zhuǎn)化為以高端集成電路設(shè)備和 LED 設(shè)備為主的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)呈現(xiàn)出理性穩(wěn)步增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)。

2011 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)受太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的激勵(lì)，太陽(yáng)能電池制造設(shè)備出現(xiàn)了爆發(fā)性的增長(zhǎng)。2012～2013 年由于國(guó)內(nèi)外太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)受挫，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額嚴(yán)重下跌。2013 年以后，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備轉(zhuǎn)化為以高端集成電路設(shè)備和 LED 設(shè)備為主的產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)呈現(xiàn)出理性穩(wěn)步增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)。

2 我國(guó)進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的狀況

2015 年我國(guó)進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的進(jìn)口數(shù)量及進(jìn)口金額如表 2 所示。進(jìn)口金額最大的前 5 類設(shè)備分別為等離子體干法刻蝕機(jī)、分步重復(fù)光刻機(jī)、全自動(dòng)引線鍵合機(jī)、氧化/擴(kuò)散爐和物理氣相沉積設(shè)備（PVD）。進(jìn)口數(shù)量最多的前 5 類設(shè)備分別是全自動(dòng)引線鍵合機(jī)、晶圓切割設(shè)備、IC 工廠專用自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人、化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）和等離子體干法刻蝕機(jī)[2]。

但是，近年來(lái)，隨著我國(guó) 02 專項(xiàng)的集成電路重大裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的推進(jìn)，有些設(shè)備如等離子體干法刻蝕機(jī)、先進(jìn)封裝光刻機(jī)、全自動(dòng)引線鍵合機(jī)、物理氣相沉積設(shè)備（PVD）和化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD，包括PECVD）等國(guó)產(chǎn)設(shè)備已逐步進(jìn)入國(guó)內(nèi)集成電路大生產(chǎn)線量產(chǎn)使用。國(guó)產(chǎn)設(shè)備替代進(jìn)口設(shè)備的進(jìn)程正在逐步推進(jìn)[2]。

圖 2 展示了 2015 年 13 類進(jìn)口設(shè)備的分布情況。

3 我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r

3.1．我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的銷售收入、出口交貨值和利潤(rùn)額

2016 年 9 月，在廈門舉行的我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)上，中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)公布了 2015 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展的詳細(xì)信息，并對(duì) 2016 年的情況進(jìn)行了預(yù)估。

2015 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)如圖 3 所示。其中，集成電路設(shè)備已占行業(yè)產(chǎn)品的主體，2015 年銷售額為 22.92 億元，占行業(yè)銷售收入的 49%；太陽(yáng)能電池片設(shè)備的銷售額為 15.45 億元，占行業(yè)銷售收入的 33%； LED 設(shè)備的銷售額為 5.86 億元，占 12%；分立器件及其他設(shè)備的銷售額為 2.94 億元，僅占 6% 左右。

2013～2015 年我國(guó)各類半導(dǎo)體設(shè)備的銷售收入及增長(zhǎng)情況如表 3 所示。圖 4 展示了2013～2015 年我國(guó)各類半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入的發(fā)展趨勢(shì)。

3.2．我國(guó)進(jìn)入生產(chǎn)線正式使用的國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體設(shè)備

2015 年，在我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入取得大幅增長(zhǎng)的同時(shí)，一批高端集成電路設(shè)備成功進(jìn)入超大規(guī)模集成電路晶圓生產(chǎn)線和先進(jìn)封裝生產(chǎn)線正式量產(chǎn)使用。

表 4 列出了 2015 年進(jìn)入超大規(guī)模集成電路晶圓生產(chǎn)線量產(chǎn)使用的有代表性的晶圓前道制造設(shè)備。表 5 列出了 2015 年進(jìn)入集成電路先進(jìn)封裝生產(chǎn)線量產(chǎn)使用的有代表性的先進(jìn)封裝設(shè)備。

2015 年，隨著國(guó)內(nèi) 6 條高亮度 LED 國(guó)產(chǎn)化示范生產(chǎn)線建設(shè)，加快了國(guó)產(chǎn) LED 芯片關(guān)鍵設(shè)備的發(fā)展進(jìn)程。2015 年進(jìn)入高亮度 LED 國(guó)產(chǎn)化示范生產(chǎn)線的有代表性的國(guó)產(chǎn)設(shè)備如表 6 所示。

2015 年，隨著國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池芯片生產(chǎn)線的改建和擴(kuò)建，一批智能化、自動(dòng)化的太陽(yáng)能電池芯片制造新設(shè)備也進(jìn)入太陽(yáng)能電池芯片生產(chǎn)線，其中有代表性的設(shè)備如表 7 所示。

4 2016 年我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展?fàn)顩r

據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)估測(cè)，2016 年我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售收入達(dá)到 57 億元，比 2015 年增長(zhǎng) 20.8%，各類設(shè)備的銷售規(guī)模及增長(zhǎng)率如表 8 所示。由此可見，2016 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)進(jìn)一步加快發(fā)展。

總之，在國(guó)家科技重大專項(xiàng)02 專項(xiàng)和國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展投資基金的大力支持下，2016 年又有多項(xiàng)研發(fā)的高端集成電路設(shè)備進(jìn)入驗(yàn)證和驗(yàn)收程序，或者進(jìn)入國(guó)內(nèi)外主流集成電路生產(chǎn)線生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)，國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備銷售收入又有 20.8% 以上的快速穩(wěn)步增長(zhǎng)。

與此同時(shí)，國(guó)內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)在經(jīng)歷了 2012～2013 年大幅度調(diào)整的基礎(chǔ)上，繼續(xù)保持理性、健康發(fā)展。國(guó)家的“光伏扶貧”和“領(lǐng)跑者項(xiàng)目”等政策扶持措施已成為我國(guó)光伏市場(chǎng)新的增長(zhǎng)點(diǎn)。光伏企業(yè)將通過(guò)進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)能和加快淘汰落后生產(chǎn)線設(shè)備來(lái)降低產(chǎn)品成本和提高企業(yè)效益，這給我國(guó)太陽(yáng)能電池芯片設(shè)備制造廠商帶來(lái)了新的發(fā)展機(jī)遇。

但在 2016 年，LED 市場(chǎng)受惡性競(jìng)爭(zhēng)的影響，導(dǎo)致業(yè)內(nèi)多數(shù)企業(yè)虧損，行業(yè)投資減少，致使 LED 設(shè)備銷售增長(zhǎng)滯緩。估計(jì)到 2017 年將LED 市場(chǎng)調(diào)整到理性、有序發(fā)展軌道之后，LED 設(shè)備的銷售情況會(huì)有所好轉(zhuǎn)。

在“第十一屆（2016 年度）中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”項(xiàng)目評(píng)選中，有 12 項(xiàng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備獲得入選，如表 9 所示。

5 2016 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)

經(jīng)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)評(píng)選及公布的 2016 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)如表 10 所示。

6 結(jié)語(yǔ)

在中國(guó)國(guó)內(nèi)，半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)和半導(dǎo)體材料業(yè)通稱為半導(dǎo)體支撐業(yè)。根據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的估測(cè)，2016 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售規(guī)模為57.0 億元，同比增長(zhǎng) 20%[3]。

近年來(lái)，在國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速發(fā)展的帶動(dòng)下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)呈現(xiàn)出高增長(zhǎng)的勢(shì)頭。在國(guó)家科技重大專項(xiàng) 02 專項(xiàng)和各級(jí)地方政府科技創(chuàng)新專項(xiàng)的大力支持下，多種先進(jìn)制造設(shè)備開始替代進(jìn)口設(shè)備，在國(guó)內(nèi)集成電路大生產(chǎn)線上運(yùn)行和使用。

參考文獻(xiàn)

[1] 王龍興.2015年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和半導(dǎo)體材料業(yè)現(xiàn)狀分析[J].集成電路應(yīng)用,2016，33（12）.

[2] 金存忠.中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)2015年經(jīng)濟(jì)運(yùn)行分析和2016年展望[J].集成電路應(yīng)用，2016，33（11）.

[3] 2017 年上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究報(bào)告[M].電子工業(yè)出版社，2017-06.