據麥姆斯咨詢報道，近日，蘇州光舵微納科技股份有限公司（簡稱：光舵微納）完成由國投創合投資的近億元B+輪股權融資。

作為國內領先的納米壓印技術完整方案提供商，光舵微納經過多年的研發及市場應用推廣，制造出了多款研發型納米壓印設備及全自動量產型納米壓印設備，實現了設備、耗材及工藝的全方位突破。

發明于上世紀90年代中期的納米壓印（Nano Imprint Lithography，NIL）技術是利用機械模具微復型原理在基板上制備微納結構的技術。該技術克服了光刻技術中由于衍射導致的分辨率限制，具有超高分辨率、易量產、低成本、一致性高的優點，可應用于半導體、LED照明、平板顯示、生物技術、太陽能電池、光學等領域。納米壓印技術是微納加工領域的一項關鍵底層技術，在國際半導體藍圖（ITRS）中，該技術被列為下一代半導體加工技術的重要代表之一。

光舵微納在LED圖形化襯底產業（LED-PSS）處于絕對的技術及市場領先地位，納米壓印設備及耗材已在客戶端實現超過4000萬片LED-PSS的大規模穩定量產，在此應用場景上實現了對尼康光刻機的產業化替代，并處于快速擴張階段。

光舵微納同時積極拓展納米壓印技術在高端半導體、AR衍射光波導、生物檢測器件、消費電子等諸多重大領域的產業化應用，并取得了重要進展。

此次融資完成后，光舵微納將繼續提升其核心研發團隊的技術實力，積極研發應用于多個重要場景的高端納米壓印設備并進行廣泛的市場開拓，進行產線擴充，推進納米壓印技術在更多應用領域的導入，打造從產品、系統到整體解決方案的商業模式，助力我國半導體制造產業的高速發展。

審核編輯：劉清