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IGBT的終端耐壓結構—平面結和柱面結的耐壓差異(2)

冬至子 ? 來源:橘子說IGBT ? 作者:orange ? 2023-12-01 15:26 ? 次閱讀

下面對電場積分,我們看看隨著圖片增長,即耗盡區深度的增長,柱面結與平面結所承受電壓分布的差異。

因為電壓主要由摻雜濃度更低的基區來承受,所以在耗盡區內對(7-3)從PN結邊界到耗盡區圖片積分,即得到電壓分布圖片

圖片

回顧《IGBT中的若干PN結》,對于平面PN結,電壓分布表達式為

圖片

圖片

對于1200V器件,假設其襯底濃度圖片圖片,可以看出來,柱面結所延展出來的耗盡區,其電壓增長速度遠遠高于平面結,所以必須采用多個柱面結來分擔電壓。

以上,我們討論了柱面結相較平面結的變化趨勢,發現其差異已經如此之大。實際上對于芯片四個角落的PN結,其形貌為球面結,上述差異會進一步擴大,相同電壓情況下,PN結界面的電場差別更大(后面我們會進行計算),這在IGBT設計過程中必須要仔細斟酌。

下面我們再分析一下柱面結和平面結的雪崩電壓差異。PN結的雪崩電壓指的是PN結發生雪崩擊穿時所對應的電壓值。

之所以會發生雪崩擊穿,是因為載流子(電子或者空穴)在耗盡區中被電場加速,這個過程中可能會與低能量的電子(本來處于禁帶)發生碰撞,而將其激發到導帶,成為新的載流子。

在《微觀電流》一章中,我們對這個過程進行過描述。顯然,當載流子能量足夠大,使其碰撞產生的新的載流子數量大于復合的載流子數量,那么這個碰撞過程就會持續積累,最終發生“雪崩”而損壞。

雪崩過程通常用碰撞電離率圖片來描述,其物理意義為載流子在耗盡區中經過1cm所碰撞產生的電子空穴對。

假如1個電子進入耗盡區,很容易推測,當這個電子穿過整個耗盡區過程中,其碰撞產生的電子數量多余1個,那么就會發生雪崩效應。

這個過程用數學表達式描述即為圖片,以此為條件我們就可以計算出來平面結和柱面結的雪崩電場值。

碰撞電離率一般為經驗表達式,其中常用的一種簡化表達式為:

圖片

先看平面結,其電場表達式為圖片,帶入(7-9)并對圖片在整個耗盡區進行積分,

圖片

同樣,對于1200V的IGBT,假設PN結深圖片,襯底濃度圖片圖片,求解(7-10),可以得到雪崩時的耗盡區寬度圖片,相應的電場即為雪崩電場,即

圖片

再看柱面結,其電場分布表達式為(7-3),帶入(7-9),

圖片

求解(7-12),得到圖片,明顯小于平面結的耗盡區寬度,相應的電場即為雪崩電場,即

圖片

對照(7-11)和(7-13),按碰撞電離的經驗公式(7-9)所計算出來的雪崩擊穿電場有所不同,但在同一個數量級,這個計算過程是可信的。

因此,柱面結雪崩時的耗盡區僅為40圖片,而平面結雪崩時的耗盡區卻可以達到175圖片柱面結雪崩時的耗盡區寬度遠遠小于平面結。

將雪崩電場所對應的耗盡區寬度圖片分別帶入(7-7)和(7-8),并將摻雜濃度設定為8e13(1200V規格),可以得到平面結和柱面結在雪崩時所對應的耐壓分別為1920V和250V。

以上,我們詳細討論了平面結和柱面結的耐壓差異的原因,并結合1200V-IGBT的摻雜濃度,計算了具體的雪崩電場和耐受電壓。按照相同邏輯,結合球坐標系,對球面結的雪崩電場和耐受電壓進行計算。

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