日本佳能公司10月13日宣布，將推出fpa-1200nz2c納米印花（nil）半導(dǎo)體制造設(shè)備。該設(shè)備執(zhí)行電路模式傳送，這是最重要的半導(dǎo)體制造工程。

據(jù)佳能介紹，傳統(tǒng)的光刻設(shè)備將電路圖案投射到涂有防腐劑的晶片上，而新產(chǎn)品就像郵票一樣，在晶片上印上印有電路圖案的掩模來(lái)實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。由于電路圖案的傳遞過(guò)程不經(jīng)過(guò)光學(xué)結(jié)構(gòu)，因此可以在晶片上準(zhǔn)確再現(xiàn)掩模的細(xì)微電路圖案。

目前佳能的nil技術(shù)將對(duì)應(yīng)5納米節(jié)點(diǎn)邏輯半導(dǎo)體的模式的最小線(xiàn)幅設(shè)定為14納米。此外，隨著掩模技術(shù)的發(fā)展，nil將提供10納米的最小圖案寬度，相當(dāng)于2納米節(jié)點(diǎn)。

5納米芯片制造設(shè)備業(yè)界由asml主導(dǎo)，因此佳能的納米打印方式將縮小其差距。

有報(bào)道稱(chēng)，佳能的裝備也可能成為中美競(jìng)爭(zhēng)的新戰(zhàn)線(xiàn)。美國(guó)禁止向中國(guó)出口euv設(shè)備。這是目前為止能夠制造出5納米或更小芯片的唯一可靠方法。

佳能的技術(shù)完全超越了光刻技術(shù)，可以將必要的電路圖案印刷到硅晶片上。由于它的新穎性，現(xiàn)有的貿(mào)易限制不太可能明確禁止它。

佳能發(fā)言人拒絕評(píng)論新設(shè)備是否會(huì)受到日本的出口限制。

據(jù)悉，納米壓力機(jī)（nano press）是SK海力士和東芝作為光學(xué)光刻的低費(fèi)用替代方案推進(jìn)的，東芝的前存儲(chǔ)器事業(yè)部負(fù)責(zé)人在納米壓力機(jī)商用化之前，曾對(duì)佳能的納米壓力機(jī)進(jìn)行過(guò)測(cè)試。

佳能在2014年收購(gòu)了納米印花的先驅(qū)molecular imprints inc.對(duì)該技術(shù)進(jìn)行了近10年的研究。佳能還以2025年啟動(dòng)為目標(biāo)，20年來(lái)首次在東京北部的宇都宮市建設(shè)照相設(shè)備新工廠(chǎng)。