對于現代愈發復雜的工藝檢測,諸如半導體、電子封裝及光學加工等產業中,由于表面微觀輪廓結構的準確性決定著產品的功能和效能,所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件(諸如半導體硅片及器件、薄膜厚度、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究),都需要測量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線寬等。
同為微納米級表面光學分析儀器,白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點,都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,適用范圍廣,可測多種類型樣品的表面微細結構。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處。
1、測量原理
白光干涉儀是以白光干涉技術為原理,實現器件亞納米級表面形貌測量的光學檢測儀器;
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激光共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術為原理,實現器件微納米級表面形貌測量的光學檢測儀。
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共焦顯微鏡光路示意圖
2、應用
白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品,尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數值的準確;(SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜,對于測量物體整個區域表面情況,還可以使用自動拼接測量、定位自動多區域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環反饋,在樣品表面抽取多個區域測量,就可以快速實現大區域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。)
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而共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣,擅長微納級粗糙輪廓的檢測,雖在檢測分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。
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