三坐標測量機一般由以下幾部分組成：

1、主機機械系統（X、Y、Z三軸或其它）；

2、 測頭系統；

3、 電氣控制硬件系統；

4、 數據處理軟件系統（測量軟件）；

Mars系列是移動橋式的三坐標測量機。支持觸發、掃描和非接觸式探測系統。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等。支持各種測量軟件，包括Rational DMIS、中圖SMT-DMIS、 ARCOCAD等，支持中圖控制器和Pantec控制器。

測頭部分

Pantec 測座

Pantec eagle head M7.5M8全自動旋轉測座，可實現測頭在A 軸和B 軸以7.5 度為增量移動，該測座具有720個可重復定位空間位置，可配置長達300mm 加長桿，具有高重復性以及機械式自動連接功能。

Pantec測頭

Pantec eagle mp touch SF是5方向或6方向操作的觸發式測頭。由測頭本體和可分離測頭吸盤組成，可以手動或自動改變測針的配置而不需要重新定位測針，在檢測時，可節省很多時間。

氣壓檢測安全裝置

氣壓檢測安全裝置保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。

Mars系列三坐標測量機可用于機械制造、汽車工業、電子工業、航空航天工業、國防工業以及計量檢測等領域，是現代工業檢測和質量控制的重要檢測設備。