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9.3.4 體缺陷∈《集成電路產業全書》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2021-12-31 10:59 ? 次閱讀

9.3硅材料中的缺陷與雜質

第9章 集成電路專用材料

《集成電路產業全書》下冊

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ADT 12寸全自動雙軸晶圓切割機

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日本晶圓清洗設備,大量裝機,提供SiC晶圓、GaN基板、藍寶石晶圓及臭氧水(超氧水)生成設備

臺灣舊設備:AIXTRON (MOCVD) TS CCSH31*2" 13臺、TS19*2" 11臺;Disco-DFL7340

現有日本2條6寸晶圓生產線在售,直接向日本公司投標,全套設備完整

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