非接觸3d光學(xué)輪廓儀主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉儀可測量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過白光干涉儀的主要用途還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。其采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，詮釋始終如一的測量品質(zhì)。提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機(jī)型，另可針對不同的客戶需求，在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合，讓儀器切合客戶需求，貼心省力。

軟件功能
(1)提供多種數(shù)據(jù)處理方式。
提供校平、鏡像、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；
提供空間濾波、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進(jìn)行修正；
提供提取區(qū)域、提取剖面、抽取輪廓等操作**檢測區(qū)域。
(2)提供多種分析工具。
提供距離、臺階高度等要素測量；
提供點(diǎn)、線、圓弧、角度等特征測量，以及直線度、真圓度等形位公差評定，為用戶展現(xiàn)強(qiáng)大的輪廓分析功能；
提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性；
提供圖形分析、島嶼分析、分形分析、孔的體積等多種有針對性的分析功能；
提供頻譜分析功能，相位信息、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等；
提供線粗糙度、面粗糙度的參數(shù)分析功能；
提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D，3D參數(shù)

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖，在每個節(jié)點(diǎn)既可以是數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)也可以是分析結(jié)果。
(4) 多樣化的視圖觀察角度，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖、2D投影圖、等高線圖之間任意切換。
(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進(jìn)行一鍵分析，自動生成一組分析結(jié)果，節(jié)約操作時間；并可自定義方案，將用戶的分析項(xiàng)目組合起來，避免重復(fù)操作。
(6) 便捷的分析功能，可實(shí)時提取表面二維剖面，實(shí)現(xiàn)對樣品的操作所見即所得。
(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word、Pdf等常用辦公軟件中。

現(xiàn)代化工業(yè)數(shù)字化測量要求高精度化、低成本和小型化等，都是時代對制造業(yè)提出的緊迫要求。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的非接觸3d光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，數(shù)秒內(nèi)，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。典型結(jié)果包括：

1、表面形貌（粗糙度、平面度、平行度、臺階高度、錐角等等）
2、幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸、曲率半徑、特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）