什么是壓電物鏡定位器？

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置，可帶動(dòng)物鏡聚焦進(jìn)行Z向運(yùn)動(dòng)，精度可達(dá)納米級(jí)別，能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

大負(fù)載壓電物鏡定位器的應(yīng)用
大負(fù)載型壓電物鏡定位器是具有較大的承載能力，可達(dá)900g，甚至更高，可用于帶載較重型壓電物鏡定位器。

1、激光晶圓隱形切割

激光晶圓隱形切割是激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器精確調(diào)整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。

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2、用于大幅提高普通顯微鏡的聚焦精度

可通過壓電控制器對(duì)壓電物鏡定位器微調(diào)的距離進(jìn)行控制，壓電控制器的可變輸出電壓對(duì)應(yīng)壓電物鏡定位器的零至滿行程位移，兩者成線性關(guān)系，通過改變壓電控制器的可變輸出電壓的大小，即可控制壓電物鏡定位器的微調(diào)距離。相比普通的顯微鏡的手輪調(diào)節(jié)，聚焦精度更高可達(dá)納米級(jí)別。

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3、超分辨率顯微成像

顯微光學(xué)成像，是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個(gè)或多個(gè)透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。超分辨率（SR）顯微鏡是一個(gè)描述新興光學(xué)顯微鏡的廣泛概念，盡管常規(guī)的光學(xué)顯微鏡最高可實(shí)現(xiàn)百納米的分辨能力，但這種超分辨率技術(shù)可實(shí)現(xiàn)數(shù)十納米的更高分辨率。SR顯微鏡利用特定熒光探針特性分離兩個(gè)緊密間隔的熒光源發(fā)出的光子，從而使它們可以分別成像，避免了衍射極限，從而可以觀察細(xì)胞在納米世界中的動(dòng)態(tài)效果。

新的超分辨率技術(shù)，例如受激發(fā)射損耗顯微鏡，光激活定位顯微鏡和隨機(jī)光學(xué)重建顯微鏡，已將分辨率從100～200nm降至更低。納米級(jí)分辨率的壓電物鏡定位器非常適合這些應(yīng)用。顯微鏡和樣品架的對(duì)準(zhǔn)要求精確、快速的移動(dòng)。基于高分辨率壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的壓電物鏡定位器可以提供獨(dú)特的超精密技術(shù)支持。

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4、激光光刻、光盤數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

光刻過程是指放置在電動(dòng)平臺(tái)上的光刻膠基片隨著電動(dòng)平臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)和平移，由聲光調(diào)制器控制光束的強(qiáng)弱對(duì)光刻膠進(jìn)行變劑量曝光，通常電動(dòng)平臺(tái)的定位精度達(dá)到微米或亞微米量級(jí)。然而由于慣性、靜摩擦、松動(dòng)等所造成的電動(dòng)平臺(tái)螺距誤差與偏移，將直接影響著系統(tǒng)的性能和光刻元件的質(zhì)量。芯明天壓電物鏡定位器以其納米級(jí)的精度、穩(wěn)定的性能、便捷的操控成為***設(shè)備中掃描運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的理想選擇。

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5、白光干涉、3D端面檢測(cè)

白光干涉技術(shù)以可見光為光源，光源發(fā)出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學(xué)平面反射一半光強(qiáng)，另一半光強(qiáng)透射后照射在量測(cè)物表面并反射再次進(jìn)入干涉物鏡，與原光學(xué)平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器，準(zhǔn)確性高可達(dá)納米解析度。

目前光纖端面檢測(cè)，常用的方式是光學(xué)干涉來進(jìn)行測(cè)量。光學(xué)干涉就是根據(jù)相干光在空間相遇時(shí)，在某些區(qū)域始終增強(qiáng)，在某些區(qū)域始終減弱，形成穩(wěn)定的強(qiáng)弱分布。3D干涉儀系統(tǒng)就是根據(jù)這個(gè)原理設(shè)計(jì)的。CCD攝像頭上可以觀察到干涉條紋，芯明天壓電物鏡定位器可用于移動(dòng)干涉物鏡以產(chǎn)生位相移動(dòng)，CCD攝像頭測(cè)得的圖像經(jīng)圖像卡傳送到計(jì)算機(jī)進(jìn)行解析處理，就可以得到需要的測(cè)量結(jié)果。每移動(dòng)一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋，根據(jù)干涉條紋的分布計(jì)算出端面形狀。

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芯明天大負(fù)載壓電物鏡定位器

審核編輯黃宇