MEMS技術(shù)亮點(diǎn) 上海交大國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室詳解MEMS中的動力學(xué)問題研究
這個一份來自上海交通大學(xué)振動、沖擊、噪聲國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，是一份硬核技術(shù)資料。
主要講解MEMS工藝過程中的動力學(xué)問題，包括了MEMS基本概念、模型、歷史回顧、加工技術(shù)、研究成果、應(yīng)用現(xiàn)狀等內(nèi)容，推薦需要深入了解MEMS技術(shù)的童鞋分享、收藏。
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