來(lái)源：半導(dǎo)體芯科技SiSC

2022年，全球新冠疫情不斷、地緣政治沖突此起彼伏，全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈發(fā)展環(huán)境復(fù)雜動(dòng)蕩，并呈現(xiàn)出前所未有的脆弱，這些因素動(dòng)搖了僅從成本角度構(gòu)建的半導(dǎo)體全球化供應(yīng)鏈體系的根基。縱觀國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈（設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)）各個(gè)環(huán)節(jié)，國(guó)內(nèi)公司不斷涌現(xiàn)從小到大，但是除了封測(cè)領(lǐng)域我們相對(duì)成熟外，在原材料、制造工藝及相關(guān)設(shè)備方面我們均有不少差距。在相關(guān)配套的EDA軟件、電子特氣、電子化學(xué)品、工藝材料等方面，我們也在積極追趕。

電子特種氣體是高技術(shù)附加值的特種工業(yè)氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電子制造領(lǐng)域。電子特氣作為電子工業(yè)的“血液”，它直接影響到半導(dǎo)體晶圓及器件制造的品質(zhì)。光刻膠是半導(dǎo)體材料中技術(shù)壁壘最高的品種之一，它在半導(dǎo)體IC、面板、PCB等領(lǐng)域都有應(yīng)用。其中，光刻機(jī)和光刻膠支撐著芯片的先進(jìn)化制程。電子化學(xué)品是半導(dǎo)體電子制造的專用化工材料，其應(yīng)用覆蓋了幾乎整個(gè)電子產(chǎn)業(yè)。濕電化品是半導(dǎo)體濕法制程關(guān)鍵材料，在細(xì)分領(lǐng)域的的電化品，技術(shù)壁壘高，同時(shí)也是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵材料之一。

2022年12月2日14:00-16:30第十五屆晶芯在線研討會(huì)之“復(fù)雜動(dòng)蕩國(guó)際局勢(shì)下中國(guó)半導(dǎo)體制程供應(yīng)鏈的應(yīng)對(duì)之策”，由雅時(shí)國(guó)際商訊&歡芯鼓伍聯(lián)合主辦、大會(huì)媒體《半導(dǎo)體芯科技》雜志協(xié)辦、CHIP China晶芯研討會(huì)承辦的主題會(huì)議上，有幸邀請(qǐng)到半導(dǎo)體制程供應(yīng)鏈三位演講嘉賓，在構(gòu)建本土半導(dǎo)體供應(yīng)鏈安全可控環(huán)境中為大家?guī)?lái)寶貴經(jīng)驗(yàn)和案例分享。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

ACT雅時(shí)商訊總裁、《半導(dǎo)體芯科技》出版總監(jiān)麥協(xié)林先生在致辭中，向所有上線嘉賓表示歡迎，也十分感謝歡芯鼓伍對(duì)本次會(huì)議的大力支持。在圓桌論壇中歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士擔(dān)任主持人，同三位專家圍繞“復(fù)雜動(dòng)蕩國(guó)際局勢(shì)下中國(guó)半導(dǎo)體制程供應(yīng)鏈的應(yīng)對(duì)之策”這一話題進(jìn)行了觀點(diǎn)交流，濃郁的學(xué)術(shù)氛圍與活躍的思想爭(zhēng)鳴吸引了線上聽(tīng)眾參與多輪探討，反響熱烈。

在這近3個(gè)小時(shí)的直播時(shí)間里，共有近800名觀眾報(bào)名參加、近500人上線參與、近千條評(píng)論區(qū)實(shí)時(shí)互動(dòng)留言，2144次點(diǎn)贊鼓掌。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

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第一位演講嘉賓，是來(lái)自上海微禎新材料科技有限公司的創(chuàng)始人 陳朝琦，陳總及其團(tuán)隊(duì)專注于含氟特氣及材料開(kāi)發(fā)及其相關(guān)應(yīng)用，目前主要提供含氟特氣及相關(guān)化學(xué)品至芯片制造客戶，也致力開(kāi)發(fā)進(jìn)口產(chǎn)品替代材料，高階工藝用材料等。

特種氣體為工業(yè)氣體的重要分支，其中電子半導(dǎo)體為特種氣體的重要市場(chǎng)。電子特氣的技術(shù)門檻較高、認(rèn)證門檻高、試錯(cuò)成本大。半導(dǎo)體電子特氣應(yīng)用于沉積、光刻、刻蝕、熱處理、摻雜等晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié)。主要的氣體大類為氟碳類(刻蝕、清洗為主)、單質(zhì)類(稀釋，絕緣， 氧化)、摻雜類(砷烷、磷烷等)、光刻類(惰性氣體混合氣)、薄膜沉積類(硅烷、鍺烷等)等。長(zhǎng)期來(lái)看，汽車電子、AI、IOT發(fā)展有望帶動(dòng)半導(dǎo)體景氣度提升。半導(dǎo)體行業(yè)東進(jìn)趨勢(shì)明確，有望強(qiáng)化本土配套優(yōu)勢(shì)。2022年，我國(guó)電子氣體市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到了百億元等級(jí)規(guī)模，較上年同比增加了10%左右，外資強(qiáng)勢(shì)，本土崛起。海外氣體巨頭占據(jù)國(guó)內(nèi)特氣市場(chǎng)主導(dǎo)權(quán)。國(guó)內(nèi)企業(yè)從歷史積累、體量上存在明顯差距。。國(guó)內(nèi)企業(yè)唯有從產(chǎn)品質(zhì)量提升、體現(xiàn)成本優(yōu)勢(shì)、交期穩(wěn)定(服務(wù))、核心材料自主可控等環(huán)節(jié)下足功夫，方可爭(zhēng)取到我們的一席之地。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

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第二位演講嘉賓來(lái)自上海飛凱材料科技股份有限公司市場(chǎng)資深總監(jiān) 黃艷。黃總監(jiān)是全國(guó)專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員；中國(guó)集成電路材料標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)專家；國(guó)家專項(xiàng)課題實(shí)施負(fù)責(zé)人。擁有十余年的半導(dǎo)體材料行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)IC光刻膠BARC的研發(fā)、測(cè)試和成功量產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)該材料國(guó)產(chǎn)化供應(yīng)。

當(dāng)前宏觀環(huán)境動(dòng)蕩，地緣關(guān)系去全球化和地緣政治使半導(dǎo)體行業(yè)陷入分裂，俄烏沖突升級(jí)影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，同時(shí)疫情影響半導(dǎo)體供應(yīng)。芯片供應(yīng)鏈迎來(lái)特殊機(jī)遇，呼喚芯片制造供應(yīng)鏈本地化。我國(guó)的芯片制造技術(shù)與行業(yè)先進(jìn)水平存在3-5年的代差。光刻工藝是先進(jìn)半導(dǎo)體制程的重要的工藝環(huán)節(jié)之一，光刻膠是光刻工藝中使用的最關(guān)鍵的材料，也亟需我們攻克。其中專利挑戰(zhàn)是光刻膠供應(yīng)鏈本地化難點(diǎn)。先進(jìn)制造的光刻膠專利80%為日美韓三國(guó)所有。

從2016年到 2020年，我國(guó)各類應(yīng)用的光刻膠專利申請(qǐng)數(shù)量逐年遞增，總計(jì)275 件專利。我國(guó)相關(guān)人才缺乏，配方經(jīng)驗(yàn)不足，知識(shí)產(chǎn)權(quán)壁壘高。下游認(rèn)證困難，替代產(chǎn)品要求在各項(xiàng)指標(biāo)100%符合被替代產(chǎn)品的性能，繞開(kāi)知識(shí)產(chǎn)權(quán)的情況下，可操作空間很小。研發(fā)時(shí)間長(zhǎng)，驗(yàn)證時(shí)間久。國(guó)內(nèi)光刻膠的原材料（單體、樹(shù)脂、光酸、酸抑制劑、添加劑、高純?nèi)軇⑦^(guò)濾器等尚不能滿足需求。國(guó)內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈不完整，原材料供應(yīng)商少。每種光刻膠包含十余種原料，涉及多種提純工藝及生產(chǎn)工藝控制能力。保持每個(gè)批次的穩(wěn)定也是我們需要攻克的難關(guān)。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

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最后，由宏芯氣體(上海)有限公司 創(chuàng)始人/CEO 白久，為我們帶來(lái)精彩分享。白總曾在林德集團(tuán)擁有18+年的資深業(yè)務(wù)管理經(jīng)驗(yàn)，其中包括10+年林德電子事業(yè)部全面業(yè)務(wù)管理經(jīng)驗(yàn)。帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)參與與并贏得重大電子項(xiàng)目接近50%的市場(chǎng)份額，并都成功實(shí)現(xiàn)商業(yè)化目標(biāo)，中國(guó)市場(chǎng)業(yè)績(jī)最優(yōu)秀的國(guó)際氣體公司。

隨著中國(guó)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)化升級(jí)的調(diào)整，工業(yè)氣體在半導(dǎo)體等新興行業(yè)的應(yīng)用在逐步增加。國(guó)際工業(yè)空氣巨頭仍占據(jù)主要的市場(chǎng)份額，中國(guó)在大宗氣體以及特種氣體兩個(gè)市場(chǎng)均全面落后，且供應(yīng)梯度差異明顯。隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時(shí)考慮到新興技術(shù)領(lǐng)域避免被“卡脖子”，特種氣體領(lǐng)域，仍是值得關(guān)注的增長(zhǎng)點(diǎn)。電子特氣是大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體 器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，它在工業(yè)氣體中屬于附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高或者參與化學(xué)反應(yīng)。

中國(guó)特種氣體市場(chǎng)主要由海外龍頭企業(yè)占據(jù)，但國(guó)產(chǎn)企業(yè)發(fā)展迅速，細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)品具備優(yōu)勢(shì)，相較于國(guó)外廠商，在國(guó)際貿(mào)易情勢(shì)錯(cuò)綜復(fù)雜的當(dāng)下，國(guó)內(nèi)廠商在穩(wěn)定供應(yīng)能力，運(yùn)輸成本以及產(chǎn)品價(jià)格具有顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。國(guó)內(nèi)制氣設(shè)備以及配套設(shè)備廠家近年來(lái)綜合能力大幅提高，可提供品質(zhì)優(yōu)、性能穩(wěn)的工業(yè)氣體相關(guān)設(shè)備。國(guó)內(nèi)氣體廠家經(jīng)多年供氣經(jīng)驗(yàn)的累積，建立起一套更適應(yīng)于中國(guó)國(guó)情的氣體生產(chǎn)和供應(yīng)體系。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

國(guó)際疫情不斷、通貨膨脹、俄烏沖突升級(jí)、國(guó)際形勢(shì)紛紛擾擾，中美關(guān)系由合作走向?qū)αⅲ绹?guó)對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體高端制造卡脖子，同時(shí)雖然受疫情影響下的景氣度下滑，但國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)需求旺盛。無(wú)論是半導(dǎo)體裝備、工藝材料、原材料、電子特氣等受地緣政治的影響，國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程尤為重要。這些大背景下，歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士擔(dān)任主持人，與微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦、飛凱材料總監(jiān) 黃艷、宏芯氣體CEO 白久三位業(yè)內(nèi)專業(yè)人士，圍繞半導(dǎo)體行業(yè)光刻膠、電子特氣等半導(dǎo)體供應(yīng)鏈話題，展開(kāi)圓桌討論。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

問(wèn)題一：國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工藝材料現(xiàn)狀與未來(lái)如何滿足較先進(jìn)工藝發(fā)展需求？

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

飛凱材料總監(jiān) 黃艷

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的工藝材料已經(jīng)累積發(fā)展幾十年，包括氣體、靶材等已有20%的國(guó)產(chǎn)化率，這是一個(gè)好的現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)了從0到1的突破，邁過(guò)從無(wú)到有的門檻，但是在半導(dǎo)體先進(jìn)工藝材料領(lǐng)域，我們的國(guó)產(chǎn)領(lǐng)域依舊非常薄弱，就以像光刻膠、光照等這些品類多、要求高的材料為例，目前國(guó)產(chǎn)化率5%。在28nm制程里的工藝材料方面，國(guó)產(chǎn)材料僅處于滿足使用的這個(gè)階段，它還有很長(zhǎng)的路要走；而在高端制程領(lǐng)域的工藝材料，我們的國(guó)產(chǎn)化絕對(duì)不是復(fù)制和替換那么簡(jiǎn)單，它一定是一個(gè)“先有再好”的過(guò)程。站在光刻膠工藝材料供應(yīng)商的角度，國(guó)內(nèi)材料供應(yīng)商如何滿足先進(jìn)工藝的發(fā)展需求？

我認(rèn)為有兩個(gè)值得我們注意地方：

第一，我們必須理清發(fā)展邏輯，首先我們不僅需要認(rèn)清客觀現(xiàn)狀，更重要的是認(rèn)清我們自己，搞準(zhǔn)我們的定位；即，知道自己是誰(shuí)，以及知道自己應(yīng)該做什么。這一點(diǎn)非常重要。如何做到差異化發(fā)展，就是認(rèn)準(zhǔn)一條路并且持續(xù)投入并堅(jiān)定地走下去，這一點(diǎn)很多企業(yè)很難清晰地看到這個(gè)邏輯，并堅(jiān)持做下去。無(wú)論是企業(yè)自身的投入還是資本的投入，我們會(huì)發(fā)現(xiàn)我們的方向選擇很多、方案和思路也很多，導(dǎo)致一會(huì)做這個(gè)，又一會(huì)做那個(gè)，最終能做成功很少，就全球光刻膠行業(yè)來(lái)看，最終做成功的光刻膠公司僅10家；而最近3~5年內(nèi)，國(guó)內(nèi)光刻膠企業(yè)竟有14家，發(fā)展到最終，能存活5家就很了不起了。所以，我們國(guó)產(chǎn)企業(yè)千萬(wàn)不要分心，要全力專注地發(fā)展。

第二，關(guān)于研發(fā)和測(cè)試。在光刻膠等半導(dǎo)體工藝材料方面，我們國(guó)產(chǎn)企業(yè)家進(jìn)入很晚，在美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家，現(xiàn)在已經(jīng)沒(méi)有新的企業(yè)愿意進(jìn)入這個(gè)行業(yè)，因?yàn)檫@個(gè)行業(yè)在它們那里已經(jīng)發(fā)展得非常成熟，新公司根本沒(méi)有創(chuàng)業(yè)的機(jī)會(huì)了。而在中國(guó)，從政治氣候，供應(yīng)鏈安全的視角來(lái)看，光刻膠國(guó)內(nèi)企業(yè)有3~5年的窗口期，去做創(chuàng)業(yè)。既然這樣我們已經(jīng)起步很晚了，要完成人家30年積累怎么辦？

合作是非常重要的。合作包括：跟下游客戶需求的探討，與測(cè)試平臺(tái)的協(xié)作，以及和供應(yīng)鏈緊密的配合等，快速達(dá)到一個(gè)客戶能用、好用、想用的這樣一個(gè)產(chǎn)品狀態(tài)。這些，我們都需花費(fèi)很大氣力和功夫。

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

感謝黃艷總監(jiān)帶來(lái)的精彩分享，國(guó)產(chǎn)光刻膠企業(yè)的發(fā)展，需要具備兩方面：

第一，在專業(yè)領(lǐng)域的專注力。其實(shí)在國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體供應(yīng)鏈廠商，都會(huì)面臨來(lái)自資本方的壓力，大家首先想到如何實(shí)現(xiàn)IPO，不是大家如何擴(kuò)充市場(chǎng)份額、提升市場(chǎng)營(yíng)收；國(guó)內(nèi)行業(yè)環(huán)境鼓勵(lì)企業(yè)向資本市場(chǎng)獲得資金，可現(xiàn)實(shí)是，國(guó)內(nèi)很多企業(yè)IPO之后，就沒(méi)有了下文，IPO之后就迷失了自己，投資方和企業(yè)經(jīng)營(yíng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)沒(méi)有繼續(xù)專注在更精的方向發(fā)展了，轉(zhuǎn)而做橫向擴(kuò)展的產(chǎn)品道路，有時(shí)候這也不是企業(yè)主自己所愿意的，它會(huì)受到資本方的牽制，這可能是國(guó)內(nèi)市場(chǎng)背景下，企業(yè)方和投資方經(jīng)常產(chǎn)生的分歧，導(dǎo)致企業(yè)無(wú)法鎖定一個(gè)既定目標(biāo)精耕細(xì)作。

第二、國(guó)內(nèi)相關(guān)上市企業(yè)發(fā)展過(guò)度膨脹，比如一些上市的設(shè)備廠商，導(dǎo)致?tīng)I(yíng)收少毛利低、技術(shù)停滯不前、客戶埋怨。扭住這種局面的方法，除了剛才黃總提到的供應(yīng)鏈緊密合作外，我的建議是，請(qǐng)這些廠商張開(kāi)雙臂，歡迎更多國(guó)內(nèi)外人才和供應(yīng)商，展開(kāi)合作。在這個(gè)方面，國(guó)內(nèi)的行業(yè)生態(tài)十分欠缺。

中國(guó)半導(dǎo)體要做的是門類齊全的產(chǎn)業(yè)鏈，在工藝材料方面，我們歡芯鼓舞平臺(tái)里面就有專業(yè)的對(duì)口在資源，在里面可以找到合適人才和合作方。

微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦

陳朝琦創(chuàng)始人補(bǔ)充道，在供應(yīng)鏈和客戶端關(guān)系上，要滿足先進(jìn)工藝的需求發(fā)展，目前有一個(gè)比較大的問(wèn)題是，供應(yīng)鏈在研發(fā)的時(shí)候，其實(shí)不知道也不了解客戶真正想需求的規(guī)格是什么？在研發(fā)先進(jìn)工藝時(shí)會(huì)用到先進(jìn)材料，他不知道要去找誰(shuí)？比如，客戶要做14，7，5，3nm制程時(shí)，他會(huì)需要新的材料，如鑭系材料，國(guó)內(nèi)在哪里尋找？供應(yīng)鏈里哪個(gè)可以提供？事實(shí)上，確實(shí)有人提供給這些。但是研發(fā)端真的不清楚這些，這是需要我們補(bǔ)充的一個(gè)環(huán)節(jié)。

問(wèn)題二：國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的現(xiàn)況及面臨的挑戰(zhàn)和機(jī)遇為何？

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

半導(dǎo)體設(shè)備門類繁多，特別是美國(guó)現(xiàn)在對(duì)華進(jìn)行出口管制。不僅僅是ASML光刻機(jī)，還有像KLA、LAM Reserch等半導(dǎo)體設(shè)備巨頭企業(yè)全在美國(guó)，這也正是對(duì)中國(guó)卡脖子的地方。雖然國(guó)內(nèi)中微電子、拓晶、盛美等企業(yè)在獲得國(guó)內(nèi)資本市場(chǎng)的資助后，取得長(zhǎng)足進(jìn)步。但是在當(dāng)前的國(guó)際局勢(shì)下，國(guó)產(chǎn)廠商也將面臨巨大的挑戰(zhàn)和機(jī)遇。陳總在國(guó)內(nèi)大型晶圓工廠工作過(guò)，接下來(lái)，請(qǐng)他在這方面給大家?guī)?lái)一些分享。

微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦

我們以28nm節(jié)點(diǎn)制程為分界來(lái)說(shuō)，國(guó)內(nèi)同行設(shè)備已經(jīng)突破實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有的這個(gè)過(guò)程。而28nm以下的設(shè)備，國(guó)內(nèi)處于一個(gè)從有到精的階段。那么針對(duì)已“有”的部分，分為軟實(shí)力和硬實(shí)力。軟實(shí)力是指軟件，它包含控制、工藝參數(shù)等方面，這是我們的國(guó)內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商相對(duì)欠缺的地方。硬實(shí)力是硬件，國(guó)內(nèi)設(shè)備中大約有7個(gè)主要品類部件在國(guó)內(nèi)沒(méi)有合適的供應(yīng)商，如傳送機(jī)械臂、功率發(fā)生器、密封件、一體傳送泵、部分流量?jī)x表等，這些依舊很依賴海外供應(yīng)。比如像法蘭件，這些基礎(chǔ)機(jī)械工業(yè)品，在國(guó)內(nèi)沒(méi)有合適的替代。所以在成熟制程方面的設(shè)備，我們?nèi)孕枭罡Ｎ覀兊幕A(chǔ)材料、基礎(chǔ)元器件等還需往下扎根。在高階制程部分，國(guó)內(nèi)企業(yè)除了需要與客戶合作、工藝研發(fā)外，我所了解的高階制程研發(fā)不在大陸在臺(tái)灣。像中微、拓晶、盛美這些知名企業(yè)在臺(tái)灣進(jìn)行研發(fā)。目前新的產(chǎn)能都在大陸，有很大的市場(chǎng)空白。但是一些工藝材料基礎(chǔ)軟件的開(kāi)發(fā)方面，大陸企業(yè)仍需努力。

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

陳總分享的很好，目前國(guó)內(nèi)從事半導(dǎo)體材料、基礎(chǔ)軟件等企業(yè)，它們的營(yíng)收毛利基本停留在第三象限（營(yíng)收少毛利少），而有獲得政府補(bǔ)貼的企業(yè)毛利相對(duì)高。軟件方面，比如CPU主控軟件、控制軟件、制程參數(shù)等。這一方面，存在很多機(jī)遇與臺(tái)灣半島體產(chǎn)業(yè)主鏈條進(jìn)行對(duì)接；關(guān)于硬件的研發(fā)，也需要半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主鏈條的支持，特別是在高端制程領(lǐng)域。比如，臺(tái)灣有著名的腔體公司、機(jī)電公司、電氣公司、儀表、真空、氣體等公司，他們長(zhǎng)期與海外一流廠商合作，同時(shí)具有相當(dāng)豐富的產(chǎn)品和經(jīng)驗(yàn)。

問(wèn)題三：國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體工藝材料供應(yīng)鏈的安全與完善，如何建立？

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

宏芯氣體CEO 白久

國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈發(fā)展由弱到強(qiáng)，其安全性的重要性日益提高。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料領(lǐng)域投入少，缺口大。我國(guó)是鋼鐵產(chǎn)量大國(guó)，但是在先進(jìn)制程里所需的電子管材仍需依賴進(jìn)口，有些母材也需進(jìn)口。設(shè)備內(nèi)一些器件，像分子篩、催化劑等之類，我們也未國(guó)產(chǎn)。長(zhǎng)期性來(lái)看，我們要認(rèn)識(shí)到差異化，我們的差距在哪里？第二，我們需要堅(jiān)持研發(fā)的投入。第三，需要產(chǎn)業(yè)的配合、生態(tài)圈的支持和合作。另外，國(guó)內(nèi)的產(chǎn)學(xué)研的協(xié)作機(jī)制不夠。從長(zhǎng)遠(yuǎn)看，半導(dǎo)體的基礎(chǔ)性研究可能是我們需要突破的地方。

問(wèn)題四：國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工藝技術(shù)進(jìn)程，現(xiàn)有情況與未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)為何？

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微禎新材料創(chuàng)始人 陳朝琦

以AI,IoT,汽車電子這部分應(yīng)用導(dǎo)向?yàn)槔谶壿嬈骷募夹g(shù)進(jìn)程方面，臺(tái)積電已經(jīng)做到1nm制程；大陸可以量產(chǎn)的是14nm制程。二者之間存在幾個(gè)代差。國(guó)內(nèi)28nm以下制程被迫受到限制，同時(shí)我們?cè)跈M向發(fā)展，比如三代半的半導(dǎo)體，用不同的材料，不同的形式，多維度發(fā)展半導(dǎo)體成品。比如存儲(chǔ)器、傳感器件等這些都有很大的發(fā)展空間。因?yàn)樯疃韧卣股鲜芟蓿磥?lái)的趨勢(shì)可能在拓寬廣度上。所以在成熟制程工藝領(lǐng)域，我們要完全掌握自主能力，這關(guān)系到民生所用，需求量也是非常巨大的。

飛凱材料總監(jiān) 黃艷

補(bǔ)充一點(diǎn)：關(guān)于功率半導(dǎo)體。IGBT這個(gè)產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)已經(jīng)開(kāi)花結(jié)果。像硅基IGBT, 由于國(guó)內(nèi)電動(dòng)汽車的需求，現(xiàn)在的投入和發(fā)展的速度遠(yuǎn)超過(guò)去。包括SiC這類半導(dǎo)體，國(guó)內(nèi)的投入也是超過(guò)千億級(jí)別，對(duì)比英飛凌、Cree公司，他們的投入是細(xì)水長(zhǎng)流的狀態(tài)。整體以功率器件的角度來(lái)看，比如IGBT，我們的硅基技術(shù)參照英飛凌的段代設(shè)計(jì)，它們的產(chǎn)品在G7,而我們的能力在G4，按我們現(xiàn)有的研發(fā)速度和資金投入速度，那么我們還有3~4年的3個(gè)代差，包括DRAM，邏輯等，在今天看來(lái)，我們還有2~3年的代差。我個(gè)人看法是，未來(lái)我們的發(fā)展將變得非常艱難。比如DRAM,當(dāng)發(fā)展到了EUV這個(gè)階段的整體研發(fā)投入非常大，一般企業(yè)無(wú)法支撐。以臺(tái)積電來(lái)看，5nm制程研發(fā)投入超過(guò)200億美元。

所以，我對(duì)先進(jìn)邏輯器件制程的研發(fā)是有擔(dān)憂的。反觀Memory、DRAM一樣，它們?cè)诟叨酥瞥躺纤璧脑O(shè)備、EDA等支持會(huì)受到?jīng)_擊，企業(yè)突破這些限制將比以前更加困難。然而功率半導(dǎo)體相對(duì)簡(jiǎn)單一些，它們晶圓主要是8寸。對(duì)于國(guó)內(nèi)的優(yōu)勢(shì)在于中道工藝的封裝集成方面。我們晶圓級(jí)封裝的功底不錯(cuò)，比如，長(zhǎng)電、通富、華天它們?cè)诜庋b領(lǐng)域也是全球排名前十，后期高密度集成技術(shù)方面我們會(huì)向韓國(guó)、臺(tái)灣看齊，這將為我們?cè)诘凸摹⒉蛔非髥纹娣e縮小的前提下，具有成本空間。

歡芯鼓伍創(chuàng)始人 羅仕洲博士

半導(dǎo)體是一個(gè)全球化的產(chǎn)業(yè)，并不一定在國(guó)內(nèi)非要做出EUV、7nm以下 這樣一個(gè)設(shè)備，投資成本和技術(shù)積累是需要一個(gè)長(zhǎng)期的過(guò)程。雖然我們暫時(shí)無(wú)法改變國(guó)際局勢(shì)，但是我們從中共20大之后的國(guó)家領(lǐng)導(dǎo)人之間的會(huì)晤中看出，很多國(guó)家希望在中國(guó)找到商機(jī)，市場(chǎng)在中國(guó)在這邊。我們可去海外找到更好的合作。通過(guò)這一角度，我認(rèn)為，沒(méi)有必要因?yàn)橐纫槐Ｄ蹋ヰB(yǎng)一頭牛。就目前而言，我們先將成熟制程的產(chǎn)業(yè)鏈做齊全強(qiáng)大。

問(wèn)題五：以支持供應(yīng)鏈的角度，國(guó)內(nèi)支持先進(jìn)半導(dǎo)體工藝的技術(shù)發(fā)展和創(chuàng)新提升的方法為何？

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飛凱材料總監(jiān) 黃艷

以光刻膠領(lǐng)域來(lái)說(shuō)，客戶也在呼喚著國(guó)有產(chǎn)品“從有到好”的訴求。我們希望先進(jìn)工藝的用戶，在以下幾點(diǎn)做出考量：

1、在下游客戶提出需求的時(shí)，客戶往往希望供應(yīng)商能提供COPY EXACTLY(完美復(fù)制），未來(lái)這條路行不通，一來(lái)專利的問(wèn)題，二來(lái)對(duì)人才的創(chuàng)新是一個(gè)束縛。企業(yè)的時(shí)間成本高，企業(yè)估計(jì)做1，2年就退出了。這樣對(duì)整個(gè)產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展不利。我們非常希望我們的下游伙伴，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)、工藝開(kāi)發(fā)的前期，可以有一定的容錯(cuò)率，以及對(duì)新產(chǎn)品的創(chuàng)新有接受能力。在這個(gè)階段，最好就把材料廠商帶入進(jìn)來(lái)，同時(shí)也可以可以讓材料廠商提供材料的原理、和擴(kuò)展區(qū)間，讓材料廠商也可發(fā)揮自己的能動(dòng)性。

2、關(guān)于材料的測(cè)試。材料測(cè)試費(fèi)用占材料研發(fā)費(fèi)用的大部分，按1臺(tái)黃光的機(jī)臺(tái)舉例，其研發(fā)機(jī)臺(tái)的成本有可能占整個(gè)材料在后續(xù)量產(chǎn)的30%以上（5年內(nèi)）。上海這邊目前已經(jīng)有一些公共測(cè)試平臺(tái)，更多的fab也在考慮類似的模式，這對(duì)于培養(yǎng)國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈的企業(yè)益處頗多，讓廠商在研發(fā)階段早一些 ，并且相對(duì)低成本的進(jìn)入測(cè)試環(huán)節(jié)。

3、量產(chǎn)是一個(gè)挑戰(zhàn)。有些企業(yè)量產(chǎn)都是以打擦邊球的方式完成小量生產(chǎn)，這些材料環(huán)評(píng)申報(bào)后被判定為化學(xué)品，如果這些材料廠商能匯集到一些能快速啟動(dòng)生產(chǎn)的平臺(tái)，比如有fab可以在落戶的同時(shí)預(yù)留出一個(gè)產(chǎn)業(yè)園作為生產(chǎn)平臺(tái)，幫助這些材料企業(yè)實(shí)現(xiàn)快速量產(chǎn)。這可能能夠加速培育供應(yīng)鏈。

問(wèn)題六：國(guó)產(chǎn)電子氣體供應(yīng)鏈如何助力半導(dǎo)體芯片制造商達(dá)成實(shí)現(xiàn)芯片最佳性能？

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宏芯氣體CEO 白久

從三方面闡述這個(gè)問(wèn)題：

1、技術(shù)方案；2、工廠建設(shè)；3、未來(lái)運(yùn)營(yíng)。

1、技術(shù)方案的確定，我們需要與業(yè)主充分交流。我們要對(duì)客戶產(chǎn)品規(guī)劃、品質(zhì)要求、氣體要求、未來(lái)的爬坡提升計(jì)劃詳細(xì)了解。有的客戶從成熟制程直接做起，然后切入14nm制程；有的客戶也在規(guī)劃7nm制程等，這樣對(duì)電子特氣的技術(shù)方案是一個(gè)挑戰(zhàn)。同時(shí)也要進(jìn)行詳盡的Spec確認(rèn)、設(shè)備及品牌確認(rèn)。

2、電子特氣的建設(shè)和工廠建設(shè)一樣，它是一個(gè)精密的氣體生產(chǎn)工廠的建造，這里會(huì)涉及到一些政府license,包括安全管理規(guī)范、建筑規(guī)劃、建廠進(jìn)度、成本綜合控制，最重要的是我們進(jìn)場(chǎng)之后，氣體工藝的加工過(guò)程，驗(yàn)收、測(cè)試等等，盡快達(dá)到業(yè)主的需求。

3、運(yùn)營(yíng)的長(zhǎng)期安全穩(wěn)定性。半導(dǎo)體工廠屬于重資產(chǎn)投資企業(yè)，其經(jīng)營(yíng)損失是按照每小時(shí)計(jì)算，所以它經(jīng)受不起長(zhǎng)時(shí)間的損失。氣體對(duì)于客戶而言的幾個(gè)考核指標(biāo)：品質(zhì)、穩(wěn)定性、可靠性。還有一些被業(yè)主忽視的是，氣體供應(yīng)鏈的配送，因?yàn)橛幸恍怏w不是現(xiàn)場(chǎng)制造的。我們也要考量外購(gòu)氣體安全可靠性，配送能力，這些也是外資經(jīng)過(guò)幾十年的積累發(fā)展了自己的體系。另外一個(gè)被業(yè)主忽視的是，強(qiáng)大的氣體中央的技術(shù)支持能力，現(xiàn)場(chǎng)運(yùn)維資產(chǎn)的搭建等。再就是業(yè)主的生產(chǎn)過(guò)程也是動(dòng)態(tài)的，比如技術(shù)改造，我們氣體的資源也要及時(shí)跟上。氣體公司的體系化建設(shè)對(duì)保證半導(dǎo)體公司產(chǎn)品良率極為重要。比如，安全體系、質(zhì)量體系、應(yīng)急體系等等。我們與半導(dǎo)體業(yè)主交流外，同時(shí)與下游合作伙伴的交流極為重要。在更高制程領(lǐng)域，我們也要做好前期的技術(shù)研發(fā)、氣體行業(yè)內(nèi)上下游的配合。國(guó)產(chǎn)廠商要替代外資，我們一定要提前做好技術(shù)判別、儲(chǔ)備、相關(guān)體系的建設(shè)等。

會(huì)議最后，羅仕洲博士強(qiáng)調(diào)，唯有我們半導(dǎo)體供應(yīng)鏈同仁齊心協(xié)力，才能抱團(tuán)一起向前走！

直播間內(nèi)聽(tīng)眾們紛紛提出了他們對(duì)于本次主題會(huì)議的一些問(wèn)題，經(jīng)專家們答疑后，集中問(wèn)答反饋將在公眾號(hào)內(nèi)推出，請(qǐng)持續(xù)關(guān)注。

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-部分提問(wèn)

2022年晶芯研討會(huì)壓軸會(huì)議已圓滿收官，2023年我們不見(jiàn)不散~

▲第十五屆晶芯在線研討會(huì)-現(xiàn)場(chǎng)截圖

審核編輯黃昊宇