主要用途：設備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進行配送，經管道至設備；具有自動化程度高，配比精確，操作簡便等特點；具有良好的耐腐蝕性能。
1. 供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS
2. CDS 將設置于化學房內：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學房；
3. 設備材質說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構采以WPP 10T 板材，內部管路及組件采PFA 材質；閥體材質型式：供腐蝕性化學品用之材質為PFA或PTFE。
4. 系統(tǒng)為采以化學原液 雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運送到制程使用點；
5. 過濾器：配有10” PFA材質過濾器外殼；
6. 供液泵：每種化學液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質的進口隔膜泵；
7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關；
8. 所有化學品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報功能。
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