芯片開封是指芯片的手術。通過開封,我們可以直觀地觀察芯片的內部結構。開封后,我們可以結合OM分析來判斷樣品的現狀和可能的原因。
開封的含義:Decap即開封,又稱開蓋、開帽,是指對完整包裝的IC進行局部腐蝕,使IC能夠暴露,同時保持芯片功能完整無損,保持die、bondpads、bondwires甚至lead-不受損壞,為下一個芯片故障分析實驗做準備,方便觀察或進行其他測試(如FIB、EMMI)。
開封范圍:COB、BGA、QFP、QFN、SOT、TO、DIP、BGA、COB陶瓷、金屬等特殊包裝。
開封方法:一般有化學開封、機械開封、激光開封、Plasmadecap開封實驗室:Decap實驗室可以處理幾乎所有的IC包裝形式(COB.QFP.DIPSOT等。),打線類型(Aucuag)。
聚合物樹脂(98%)或濃硫酸的作用下,聚合物樹脂被腐蝕成易溶于丙酮的低分子化合物。在超聲波的作用下,低分子化合物被清洗掉,從而暴露芯片表面。
開封方法1:取一塊不銹鋼板,上鋪一層薄薄的黃砂(或直接在鋼板上加熱而不加砂產品),放在電爐上加熱。砂溫應達到100-150度。將產品放在砂上,芯片正面向上,用吸管吸收少量煙霧硝酸(濃度>98%)。滴在產品表面時,樹脂表面發生化學反應,出現氣泡。反應稍微停止后,再滴一次。連續滴5-10滴后,用鑷子夾住,放入含丙酮的燒杯中,在超聲波機中清洗2-5分鐘,然后取出再滴。重復這一點,直到芯片暴露。最后,必須反復清潔干凈的丙酮,以確保芯片表面沒有殘留物。
開封方法2:將所有產品一次放入98%的濃硫酸中煮沸。這種方法更適合量大,只要看芯片是否破裂。缺點是操作危險。掌握要點。
開封注意事項:所有操作均應在通風柜內進行,并佩戴防酸手套。產品打開帽帽子越多,滴的酸就越少,經常清洗,以避免過度腐蝕。在清洗過程中,注意鑷子不要接觸金絲和芯片表面,以免劃傷芯片和金絲。根據產品或分析要求,有些帽子應暴露在芯片下的導電膠下。,或第二點。此外,在某些情況下,已打開的帽子產品應按排重新測量。此時,應首先放置在80倍顯微鏡下,觀察芯片上的金絲是否斷裂,如果沒有,用刀片刮去管腳上的黑色薄膜,然后發送測試。注意不要控制帽子的溫度。
分析中常用的酸:濃硫酸。這里指的是98%的濃硫酸,脫水很強的脫水性、吸水性和氧化性。開帽時,用于一次煮大量產品,利用其脫水性和強氧化性。濃鹽酸。指揮發性和氧化性強的37%(V/V)鹽酸。分析用于去除芯片上的鋁層。煙硝酸是指濃度為98%(V/V)的硝酸。用來開帽。它具有很強的揮發性和氧化性,因為它溶解在NO2中而呈紅棕色。王水是指一體積濃硝酸和三體積濃鹽酸的混合物。分析用于腐蝕金球,因為它具有很強的腐蝕性和可腐蝕性。
審核編輯:湯梓紅
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