近日,據外媒路透社報道稱,全球最先進的光刻機生產廠商ASML正致力于進行新一代光刻機的制造,預計第一臺會在明年完工,將在2025能夠正式投入使用,每臺新光刻機售價預計在4億美元左右。
新光刻機采用了High-NA光刻技術,High-NA指的是高數值孔徑,據了解,這種High-NA光刻技術能降低66%的尺寸,也就意味著芯片制程能夠進一步得到升級,芯片也將獲得更高的性能,2nm之后的技術都得用這種技術來實現。High-NA光刻技術被認為是延續摩爾定律的關鍵。
不過采用了High-NA光刻技術的光刻機體積會比之前的光刻機要大30%左右,據悉重量會達到200噸,大小將會和雙層巴士差不多大。
目前AMSL在High-NA光刻技術上還有一些壓力,因為雖然光刻機是ASML生產的,但是ASML有著幾百家零件供應商,對供應商的依賴性比較嚴重,所以一旦供應鏈出了問題,那么ASML的整個光刻機產業鏈都將受到影響。
審核編輯 黃昊宇
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