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粗調與精調相結合的直線壓電螺釘分辨率達亞納米級

楊明遠 ? 來源:楊明遠 ? 作者:楊明遠 ? 2022-02-24 10:45 ? 次閱讀

芯明天N82系列直線壓電螺釘采用小巧的結構設計,將宏動粗調與壓電精調結合于一體。使用操作簡單方便,容易集成。可用于高精度鏡架調節、運動臺驅動、微調節等應用。

特點

?手動調節與壓電調節相結合?粗調9.53mm?精調16μm

應用

?鏡片調節架?運動平臺驅動器?宏微操作調節等

宏微復合結構

壓電螺釘是手動粗調與壓電精調相結合的直線壓電促動器,手調行程可達9.53mm,精調行程16μm。使用過程中可以通過手動粗調節mm級大行程,再通過壓電精調實現nm級的位移與精度,適用于大行程且具有高精度要求的應用。

1)宏動粗調

N82系列壓電螺釘的宏動粗調是通過外部殼體上的微細螺紋來實現的,手動旋轉滾花部分進行直線的宏動調節。

該宏動調節對螺紋的加工精度要求非常高。

2)微動粗調

N82系列壓電螺釘的內部集成了PZT壓電陶瓷,通過對其施加電壓來實現壓電螺釘的微動精調運動。

3)鎖緊螺母

針對宏動調節,配備有鎖緊螺母,可對宏動調節后的位置進行鎖定。

體積小易集成

N82系列壓電螺釘的外形尺寸小巧,適于集成,例如用于鏡片調節架。它既可以進行鏡片的粗調,又可以進行光學上的精調,一舉兩得。

此外,它也可以用來單軸或多軸驅動運動平臺等。

粗調與精調相結合的直線壓電螺釘分辨率達亞納米級

*單位mm

真空兼容

N82.16K-B1系列壓電螺釘采用了特殊的真空材料、真空兼容引線、連接器等,為真空兼容版本,可在真空中使用。

精調整位移與電壓曲線

粗調與精調相結合的直線壓電螺釘分辨率達亞納米級

推薦控制器

N82系列壓電螺釘的納米級精調,推薦使用芯明天E53系列壓電控制器,它的體積小,帶寬可達10kHz,可選擇模擬數字信號進行控制。

技術參數

宏動行程范圍:9.53mm

微動行程范圍(0~150V):16μm微動驅動電壓:0~150V靜電容量:0.8μF工作溫度:-25~85℃材質:鋼

審核編輯:湯梓紅

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