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美國將光刻技術(shù)納入出口限制清單

傳感器技術(shù) ? 來源:EET電子工程專輯 ? 作者:EET電子工程專輯 ? 2020-11-12 14:41 ? 次閱讀

日前,美國商務(wù)部工業(yè)安全局(BIS)在其官方網(wǎng)站發(fā)文表示,將六項新興技術(shù)添加到《出口管理條例》(EAR)的商務(wù)管部管制清單(CCL)中。美國商務(wù)部在官網(wǎng)發(fā)文表示,此舉是為了支持關(guān)鍵及新興技術(shù)這一國家戰(zhàn)略。

目前受到出口管制的新興技術(shù)總數(shù)已經(jīng)達到了 37 項。

商務(wù)部長威爾伯·羅斯(Wilbur Ross)宣稱:“關(guān)鍵技術(shù)和新興技術(shù)國家戰(zhàn)略是保護美國國家安全,確保美國在軍事、情報和經(jīng)濟事務(wù)中保持技術(shù)領(lǐng)先地位的重要戰(zhàn)略部署。”“美國商務(wù)部已經(jīng)對 30 多種新興技術(shù)的出口實施了管控,我們將繼續(xù)評估和確定未來還有哪些技術(shù)需要管控。”

徹底封鎖芯片先進制造工藝

最新的商業(yè)管制是依據(jù) 2019 年 12 月全體大會上達成的協(xié)議——《常規(guī)軍備和兩用物品及技術(shù)出口管制瓦森納協(xié)議》實施的。制定和實施對新興技術(shù)的多邊控制符合《2018 年出口控制改革法案》(ECRA)的要求,這樣能夠確定哪些新興和基礎(chǔ)性技術(shù)對美國國家安全起到至關(guān)重要的作用。

本次新上榜商業(yè)管制清單的六項新興技術(shù)為:

混合增材制造/計算機數(shù)控工具;

特定的計算光刻軟件;

用于為5nm生產(chǎn)精加工晶圓的某些技術(shù);

有限的數(shù)字取證分析工具;

用于監(jiān)測電信服務(wù)通信的某些軟件

亞軌道航天器

美國實施出口管制的六大技術(shù),都與芯片制造中最重要的設(shè)備光刻機息息相關(guān),尤其是當下5nm芯片已成為高端芯片時代的主流產(chǎn)品,EUV光刻機的重要性可想而知。

“用于制造極紫外線掩模的計算光刻技術(shù)軟件”涵蓋EUV光刻所需的特定軟件,包括與三維(3D)效應、掩模陰影效應、光照方向效應、遠距離眩光效應、鄰近效應、抗蝕劑中的隨機性效應以及源掩模優(yōu)化有關(guān)的軟件,這類軟件是在晶圓上做出經(jīng)過優(yōu)化的光刻膠圖案必需的軟件;

而“用于為 5nm 生產(chǎn)精加工芯片的技術(shù)”旨在應用于面向5nm生產(chǎn)的晶圓,包括對直徑300 mm的硅晶圓進行切片、打磨和拋光以達到某些標準所需要的技術(shù),以及盡量減小平坦度(或SFQR)和表面缺陷的技術(shù)以及局部光散射體(LLS)。以上兩類技術(shù)都受到國家安全和反恐管制的約束。

目前全世界唯一能生產(chǎn)EUV光刻機的企業(yè)只有荷蘭ASML公司,而ASML最大的兩大股東資本國際集團(MSCI)和貝萊德集團(BlackRock, Inc.)都是美國公司,其用于打造EUV光刻機的高精技術(shù)也有不少為美國所持有。

美國商務(wù)部此舉相當于直接封鎖了高端芯片的制造技術(shù),針對的是誰不用多說。從目前來看,中國作為美國芯片產(chǎn)品最大的采購國之一,受出口管制影響是巨大的。

這是 BIS 自 2018 年通過 ECRA 法令以來實施的第四套新興技術(shù)管控措施。BIS 在此之前曾公布了三份聯(lián)邦文件通知,對航空航天、生物技術(shù)、化學、電子、加密、地理空間圖像和海洋領(lǐng)域的 31 項新興技術(shù)實施了管制,其中大多數(shù)是在多邊支持下實施的。其中包括因化學 / 生物和反恐理由而受管制的 24 種化學武器前體,以及:

1、離散微波晶體管

2、操作軟件的連續(xù)性

3、Post-quantum 密碼學

4、用作水中聽音器的水下傳感器

5、空中發(fā)射平臺

6、地理空間圖像軟件(單側(cè))

7、一次性生物栽培室

受新管制影響最大的幾個行業(yè)是航空航天、生物技術(shù)、化學、電子、加密、地理空間圖像和海洋行業(yè)。正如BIS所承諾的那樣,新興技術(shù)是加以嚴格定義的,幾乎都受到多邊管制的約束。

此外,根據(jù) ECRA 規(guī)定,商務(wù)部工業(yè)安全局已于 2020 年 8 月 27 日就基礎(chǔ)技術(shù)鑒定征求公眾意見,公眾意見征詢期將持續(xù)到 2020 年 11 月 9 日,這也就意味著,未來或許還會有更多新興和關(guān)鍵技術(shù)被列入出口管制清單。

受管制新興技術(shù)具體解釋

如下所述,該規(guī)則將一個新的出口管制分類編號(ECCN)添加到CCL,并修訂了另外五個ECCN。

混合增材制造(AM)/計算機數(shù)控(CNC)工具受ECCN 2B001管制。該規(guī)則闡明,除車削、銑削或磨削能力外還擁有增材制造能力的機床適用于ECCN 2B001。因此,即使增材制造能力添加到設(shè)備中,歸類為ECCN 2B001的機床仍可能歸類為該ECCN。該規(guī)則不管制一般的增材制造設(shè)備。ECCN 2B001的產(chǎn)品受到國家安全、核不擴散和反恐管制的約束。

為制造極紫外(EUV)掩模而設(shè)計的計算光刻軟件添加到ECCN 3D003:ECCN 3D003已擴大范圍,涵蓋EUV光刻所需的特定軟件,包括與三維(3D)效應、掩模陰影效應、光照方向效應、遠距離眩光效應、鄰近效應、抗蝕劑中的隨機性效應以及源掩模優(yōu)化有關(guān)的軟件。這類軟件是晶圓上做出經(jīng)過優(yōu)化的光刻膠圖案所需的,受到國家安全和反恐管制的約束。

用于為5nm生產(chǎn)精加工晶圓的技術(shù)受新的ECCN 3E004的管制:該規(guī)則為CCL添加了ECCN 3E004;ECCN 3E004管制用于生產(chǎn)高端集成電路基板的技術(shù),它們旨在應用于面向5 nm生產(chǎn)的晶圓。受管制技術(shù)包括:對直徑300 mm的硅晶圓進行切片、打磨和拋光以達到某些標準所需要的技術(shù),以及盡量減小平坦度(或SFQR)和表面缺陷的技術(shù)以及局部光散射體(LLS)。這些技術(shù)受到國家安全和反恐管制的約束。

可以規(guī)避計算機(或通信設(shè)備)方面的身份驗證或授權(quán)控制措施,并提取原始數(shù)據(jù)的數(shù)字取證分析工具添加到ECCN 5A004中:BIS擴大了ECCN 5A004的范圍,以管制可以迅速分析設(shè)備并恢復受保護信息的硬件,包括通過破解、操縱、利用及/或繞過制造商安裝在設(shè)備上的安全措施。這項新的ECCN即5A004.b并非旨在管制提取設(shè)備上不受保護的數(shù)據(jù)的產(chǎn)品、生產(chǎn)或測試設(shè)備、系統(tǒng)管理工具或用于零售用途(比如解鎖手機)的工具。相應的軟件管制已添加到5D002。這些產(chǎn)品受到國家安全和反恐管制的約束。

用于通過偵聽接口來監(jiān)測和分析從電信服務(wù)提供商處獲得的通信和元數(shù)據(jù)的軟件添加到ECCN 5D001:BIS添加了ECCN 5D001.e,這涵蓋專門經(jīng)過設(shè)計或修改,供執(zhí)法部門用于分析從偵聽接口獲取的通信內(nèi)容或元數(shù)據(jù)。該軟件必須提供以下兩種功能:1)基于硬選擇器,使用“偵聽接口”對從通信服務(wù)提供商獲取的通信內(nèi)容或元數(shù)據(jù)執(zhí)行搜索;以及2)根據(jù)搜索通信內(nèi)容或元數(shù)據(jù)的結(jié)果,映射關(guān)系網(wǎng)絡(luò)或跟蹤針對性個人的活動。這項新內(nèi)容并不管制網(wǎng)絡(luò)管理工具或銀行軟件。軟件受到國家安全和反恐管制的約束。

亞軌道飛行器添加到ECCN 9A004.h:BIS已將亞軌道飛行器添加到了以前應用于CCL第9類中的太空發(fā)射器和“航天器”的管制。亞軌道飛行器旨在在平流層上方運行,不完成軌道就降落在地球上。因此,它并不符合“航天器”的定義,“航天器”僅限于衛(wèi)星和太空探測器。飛行器受到國家安全、區(qū)域穩(wěn)定和反恐管制的約束。

中國出臺出口管制法

中國方面,《中華人民共和國出口管制法》已由第十三屆全國人民代表大會常務(wù)委員會第二十二次會議于2020年10月17日通過,并從2020年12月1日起施行,中國管制法實行引發(fā)了外國媒體的密切關(guān)注。在管制法中,中國除了將核材料等納入管制范圍內(nèi),其他一些維護中國國家安全等貨物也納入其中。

該法規(guī)定,任何國家或者地區(qū)濫用出口管制措施危害中國國家安全和利益的,中國可以根據(jù)實際情況對該國家或者地區(qū)對等采取措施。

出口管制是指對特定物項的出口采取禁止或者限制性措施,以對該物項的使用主體或者用途進行控制。實施出口管制,是國際通行的履行防擴散等國際義務(wù)的做法。當下,出口管制正成為維護國家安全和利益的重要手段。

出口管制法包括總則,管制政策、管制清單和管制措施,監(jiān)督管理,法律責任,附則五章,共49條。

該法明確了出口管制范圍,確保管制物項、管制主體和行為全覆蓋,規(guī)定:從中國境內(nèi)向境外轉(zhuǎn)移管制物項,以及中國公民、法人和非法人組織向外國組織和個人提供管制物項,均受本法約束。

據(jù)報道,美國近年來將注意力放在提高國家地位以及打壓其他國家發(fā)展上,國內(nèi)制造業(yè)發(fā)展落后,國產(chǎn)開機械等已經(jīng)無法滿足美國制作武器以及其他大型設(shè)備的需求,不得已,美國只能通過向其他國家進口機械。而中國是美國主要機械進口國,因為中國機械質(zhì)量等能夠滿足美國要求。雖然其他國家也有出口機械等,但由于國內(nèi)制造加工技術(shù)并不先進,所以所出口機械無法讓美國滿意。

如今中國出臺管制法案,對一些機械器材進行限制出口,美國將無法從中國進口所需機械,這使美國政府官員暴跳如雷,他們表示,中方這一做法將直接影響到美國武器制作,美國會面臨斷供危機。

責任編輯:lq

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原文標題:中國發(fā)布“出口管制法”后,美國將光刻技術(shù)納入出口限制清單

文章出處:【微信號:WW_CGQJS,微信公眾號:傳感器技術(shù)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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