2020年8月14日至8月16日，由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司和華強電子網協辦的《第24期“見微知著”培訓課程：MEMS技術進階》在無錫圓滿落幕！本課程共邀請了七位產業經驗豐富、技術能力卓越的學術界大師和企業技術專家，為大家帶來精彩紛呈的MEMS知識盛宴。課程以熱門MEMS器件為主線，從原理、設計、制造、封測、可靠性分析及應用等重要環節入手，為學員解析MEMS和傳感器產業現狀以及發展脈絡，旨在幫助MEMS從業人員提升專業技能。

《第24期“見微知著”培訓課程：MEMS技術進階》師生合影留念

培訓現場圖：學員們認真聆聽講師授課

囊括MEMS關鍵環節，“一站式”覆蓋產業熱點！

8月14日上午，由中國科學院上海微系統與信息技術研究所的研究員王躍林為大家開啟了MEMS產業鏈之旅，帶來《從MEMS發展到NEMS的啟示》。王躍林老師憑借在國家級重大項目二十多年的錘煉，以自己的親身經歷梳理出MEMS技術發展脈絡，與學員分享了對MEMS產業成長的獨到看法。王躍林老師首先通過MEMS技術上的重大突破以及MEMS器件的廣泛應用，凸顯了MEMS技術的重要地位。隨后對壓力傳感器、加速度計、陀螺儀以及熱電紅外傳感器等典型MEMS器件層層剖析，讓學員從中收獲頗豐。恰逢今年中國芯片遇到了歷史上較為艱難的時刻，雖然美國全產業鏈封殺華為等中國強企，但從亟需尋找***芯片和設備角度來看，也為中國芯片崛起創造了巨大機遇。王老師強調：整個MEMS產業鏈中，制造仍是關鍵環節，我們需要通過不斷摸索發現、建設中試研發平臺來解決“研發難、驗證難”的問題，在IC工廠建成MEMS規模制造平臺來解決量產難的問題，同時MEMS產業未來發展的趨勢是“適應個性化需求”。課程最后，王老師對NEMS的制造技術、工藝做了詳解。

中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員王躍林老師的授課風采

8月14日下午開啟了針對MEMS熱門器件的講解，首先邀請到中國科學院上海微系統與信息技術研究所的研究員焦繼偉為大家講解《慣性MEMS》。課程伊始焦繼偉老師即以兩句話總結了目前慣性MEMS傳感器市場大趨勢——“‘萬億傳感器’的AIoT時代，MEMS為王”以及“‘萬物皆運動，控制靠感知’，慣性傳感器地位依舊”。接著，焦老師從慣性傳感器的基礎理論知識入手，為學員逐一講解了MEMS加速度計和陀螺儀的器件結構、檢測/換能原理和主要制造工藝等關鍵技術以及典型應用。隨后焦老師專門對消費級、工業級和戰術級MEMS慣性傳感器做了對比分析。焦老師認為，微慣性測量單元（MIMU）是目前組合式慣性傳感器的發展重點，另外還介紹了消費類MEMS器件對晶圓級封裝（WLP）的強烈需求以及WLP技術在慣性MEMS器件的發展進程和面臨的挑戰。課程最后，焦老師分析了目前慣性傳感器的產業現狀以及主要供應商。焦老師總結道，消費類慣性傳感器市場早已是紅海，但中高端器件仍非常稀缺；隨著整體產業鏈成熟度的提升，傳統慣性產品研發突破難度非常大，需要持續提升平臺能力及開放性，整體生態鏈依舊脆弱。因此，人才培養、差異化競爭、力搶價值高地是該產業競爭制勝的殺手锏。

中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員焦繼偉老師的授課風采

8月15日上午，由山東大學的陶繼方教授為大家傳授《光學MEMS》。陶繼方老師在硅基微納光電子器件的設計、制造和封裝工藝方面擁有多年實戰經驗，首先就從硅基集成光學器件和光學MEMS器件的基礎知識入手，為大家梳理了硅光芯片的關鍵組成、基本工藝和應用；另外還介紹了微鏡/微振鏡、紅外熱電堆、光開關、光子麥克風以及波長可調激光器等典型光學MEMS器件。陶老師提到，MEMS器件設計占20%，而工藝技術要占到80%，可見制造工藝的重要性。為了能夠讓學員對此類型傳感器有更清晰的認知，陶老師以自己的研究成果與學員分享。都說基礎知識比較枯燥，但在陶老師的課堂中，時而提問問答、時而歡聲笑語，氣氛異常熱烈。接著，陶繼方老師又分別對揮發性有機化合物檢測、集成高精度露點傳感器以及集成紅外氣體傳感器的角度等硅基光電子熱門器件進行了深入講解，主要對器件工作原理及測量結果進行對比分析，同時還結合對市場發展趨勢的分析。陶老師通過對比梳理典型器件技術，總結認為目前光學氣體傳感器市場非常集中，產業格局正處于大調整中。課程最后，陶老師還與學員們分享了自己在“納米光子集成傳感器”和“光學MEMS傳感器”的成果經驗。

山東大學陶繼方教授的授課風采

當天上午第二節課《紅外探測器》由上海巨哥電子科技有限公司總經理沈憧棐為大家帶來。沈憧棐老師在紅外成像精確測溫、低成本紅外探測器等方向上具有眾多前瞻性的研發成果和豐富的行業應用經驗。課程伊始，沈憧棐老師即結合日常生活中大家常見的物品，對微測輻射熱計的工作原理和分類進行了詳細講解，隨后過渡到對其性能的闡述。對于評估性能的主要參數，沈老師向大家展示了NETD、響應時間常數、測溫動態范圍、陣列響應一致性以及溫度穩定性等參數的定義和意義。接著沈老師分別對氧化釩和非晶硅微測輻射熱計的加工工藝進行了剖析，沈老師總結道，氧化釩微測輻射熱計主要應用于成像型熱像儀，而非晶硅微測輻射熱計則在測溫型和成像型應用均有涉及，同時探測器的最終性能是由讀出電路、MEMS電阻結構和真空封裝等多因素共同決定。而針對“如何制造出性能最佳的探測器”，沈老師分別從柱孔連接、應力平衡、材料性能優化、噪聲改善以及極限線寬等多方面提出了獨特見解，以期為學員們帶來更多的啟發。課程的最后，沈老師對非制冷型微測輻射熱計的國內外供應商進行了梳理，同時也解析了紅外探測器技術未來的發展方向。

上海巨哥電子科技有限公司總經理沈憧棐的授課風采

8月15日下午，由蘇州美圖半導體技術有限公司總經理王云翔為大家帶來《MEMS制造及封裝技術》。課程上半程，王云翔老師首先為學員分析了MEMS與IC在制造設備、材料的需求差異，突出了MEMS器件制造的特殊性。進而對體微加工、表面微加工、CMOS MEMS以及非硅加工技術等典型MEMS制造工藝流程進行了講解，尤其細致剖析了玻璃、塑料、金屬、橡膠與纖維等非硅材料及其加工技術。隨后，王老師對單步特殊制造工藝進行了重點闡述，以Bosch工藝為例解讀了深硅刻蝕；后又結合市場上主流***、光刻膠講解了特殊光刻和噴膠工藝，同時還為學員介紹了各類鍵合技術、應用場景以及所用到的特殊材料。課程下半程，王老師結合著MEMS結構特征解析了MEMS封裝技術以及與IC封裝的差異。隨后結合案例分別對典型的MEMS器件級封裝工藝和MEMS晶圓級封裝工藝做了剖析。王云翔老師的課程內容詳實豐富，并結合自身經驗以及對市場發展前景的分析，讓學員收獲滿滿。

蘇州美圖半導體技術有限公司總經理王云翔的授課風采

8月16日上午，由東南大學副研究員王磊為大家帶來《MEMS可靠性分析》，這是我們本次課程學員最為喜愛也是最為關注的課程之一。課程之初，王磊老師就為大家點明了對MEMS器件可靠性至關重要的環境、失效機理以及壽命等關鍵因素，王磊老師告訴大家，可靠性需求一般來源于應用背景和器件類型綜合考慮，包括器件預期工作壽命、器件預期貯存壽命、器件裝配失效概率、器件工作失效概率。王老師主要針對MEMS器件應用背景、各類MEMS器件對可靠性的不同需求進行介紹，從貯存和工作壽命來看，軍用MEMS器件對可靠性的要求遠高于民用MEMS器件。MEMS材料力學性能評價及評價標準對MEMS器件實用化有著顯著的意義，因此王老師為我們詳細介紹了楊氏模量、殘余應力/應變、泊松比、疲勞性能、熱導率等主流的力學性能評價標準，同時向大家強調“對于給定設計的產品，工藝一致性、穩定性是可靠性的唯一評價標準”。接著，王磊老師以自身的實戰經驗，生動地為大家展示了沖擊斷裂、沖擊粘附、鍵合線脫落或斷裂、絕緣層漏電流、ESD等常見的MEMS失效模式及失效機理。隨后，通過分析現行的國內外通用標準，讓學員系統地了解了關于可靠性測試及分析的關鍵環節。王磊老師承擔和參與過多項國家科研項目以及企業合作項目，因此在MEMS結構和工藝的可靠性問題中非常有發言權，利用自己研究中的實例為學員展示了多種工藝問題，讓學員大開眼界，王老師直言，可靠性問題就好比探案，抽絲剝繭得到的原因往往是你未曾想到的。課程的最后，王老師針對產業界關注的幾種器件（加速度計、陀螺儀、微鏡）做了專題介紹。

東南大學副研究員王磊的授課風采

8月16日下午，由北京大學王瑋教授帶來本次課程的最后一課《生物MEMS》。王瑋教授憑借在微納流體技術相關領域研究所數十載積累的經驗，為學員們帶來了一場生物MEMS的盛宴。首先，王瑋教授首先為大家梳理了生物MEMS技術所涵蓋的基本概念，以及生物MEMS在傳感器市場的地位和應用。后為學員重點介紹了生物MEMS領域的幾種主要襯底材料及加工方法。王偉老師強調，微流控從研究到產業成功的關鍵在于研發出臨床診斷等高性價比的殺手锏應用。隨后通過對研究進展的逐步梳理為大家勾勒出基于微流控和濾膜技術的液態活檢技術的成長圖。近年來，隨著檢測技術的不斷完善，新興液體活檢研究對象：循環腫瘤DNA（ctDNA）與外泌體（exosome）在腫瘤精準醫療的臨床應用領域各放異彩，王瑋老師結合自身研究方向，詳細剖析了相關概念、臨床應用現狀和檢測所面臨的挑戰。課程最后，在談到液態活檢的應用前景及商業化現狀時，王老師總結分析了液態活檢全產業鏈、典型產品以及市場現狀和預測；同時還將液體活檢技術在臨床應用的優勢利用示例對比體現地淋漓盡致。王偉老師的課堂充滿了各類微流控領域的有趣實驗，讓學員在興味盎然中飽獲知識營養，廣受學員贊譽。

北京大學王瑋教授的授課風采

勤學好問，共商共討；彼此交流，加持收獲！

本次培訓中不僅有講師辛勤的付出，更有學員們不懈的努力；學員間熱烈、酣暢的交流，可以讓每位學員對知識和技能的學習成果進化、升華，真正實現“講師傳授知識+學員吸收理解+交流融合”成為“碩果滿堂”。根據學員對思想碰撞的強烈期待，麥姆斯咨詢工作人員特意在課程中安排了“介紹自己，互換資源”的環節，為學員提供了更廣闊的溝通平臺。學員們也給予我們此次培訓高度評價，認為這是每年的MEMS技術盛會，也是對MEMS行業的整合。為學員創造收獲知識、挖掘資源的平臺，幫助大家實現資源升級、技術勇攀高峰，是麥姆斯咨詢最重要的價值體現！

學員們交流環節

至此，麥姆斯咨詢舉辦的《第24期“見微知著”培訓課程：MEMS技術進階》圓滿完成！麥姆斯咨詢將繼續保持專業精神，為廣大學員求得賢師；同時還將繼續秉承精益求精的精神，不斷開拓進取；麥姆斯咨詢將持續為大家帶來更多的精品課程！新學員，期待下次相見，老學員，期待再次重逢！