關于磁傳感器制造設備的性能分析和應用介紹
超高真空磁控濺射鍍膜機
多維科技擁有三臺超高真空磁控濺射鍍膜機，分別為MDT-1，MDT-2，MDT-3，上圖為MDT-1。該套設備能進行8寸晶圓薄膜金屬加工，其最薄厚度能至埃米級別，且能鍍膜10種不同金屬和非金屬材料，多達100層金屬薄膜，該系統擁有700℃以上的溫度能力，是目前國際領先、國內唯一的一臺高端設備。
超高磁場真空回火爐
該設備可以用于生產8″/12″晶圓芯片，其超導磁場可以達到5特斯拉，是目前國際領先、國內唯一的一臺高端設備。
磁性納米薄膜刻蝕及制備設備
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