中芯國際已將明導(dǎo)國際Calibre產(chǎn)品認(rèn)證DFM簽核參考平臺

前不久，明導(dǎo)國際宣布中芯國際已經(jīng)將明導(dǎo)國際Calibre產(chǎn)品認(rèn)證為其65nm和更小制程的可制造性設(shè)計（DFM）簽核參考平臺。參考流程涵蓋了Calibre DFM所能提供的全部組件，包括：用于光刻檢驗的Calibre LFD產(chǎn)品；用于平面性（CMP）仿真的Calibre CMPAnalyzer產(chǎn)品；用于關(guān)鍵區(qū)域分析（CAA）和仿真的Calibre YieldAnalyzer產(chǎn)品；以及用于自動DFM布線改進(jìn)的帶有SmartFill的Calibre YieldEnhancer產(chǎn)品，其中包括了高度優(yōu)化平面性填充。此外，中芯國際還將Calibre解決方案應(yīng)用于DFM服務(wù)之中。

“我們正積極將DFM簽核要求添加到65nm及以下的制程當(dāng)中，使其成為各個級別的強(qiáng)制規(guī)定，包括全芯片、模塊和IP，”中芯國際企業(yè)設(shè)計服務(wù)中心副總裁Max Liu說。“之所以選擇Calibre，是因為我們發(fā)現(xiàn)它是完整、準(zhǔn)確而可靠的DFM平臺，這將保證中芯國際參考流程的有效性。例如，Calibre LFD是主要的光刻檢驗工具，它的精度足以達(dá)到我們對于65nm制程的要求。所以，我們在流程中使用的制程變動分析工具，包括電氣分析，均采用Calibre LFD生成的輪廓圖。同時，Calibre CMPAnalyzer使得中芯國際能夠建立并修改我們的CMP模型，在DFM過程中給予我們更多的靈活性和控制力。另外，Calibre作為在業(yè)界廣泛使用的完整流片后流程平臺，使我們的客戶能夠輕易將經(jīng)過Calibre驗證的IP集成在他們的設(shè)計當(dāng)中。”

“采用DFM已經(jīng)成為晶圓代工和無晶圓設(shè)計公司同時面臨的一項挑戰(zhàn)，”明導(dǎo)國際副總裁，設(shè)計至芯片部總經(jīng)理Joseph Sawicki說。“Calibre平臺使得DFM成為我們的客戶現(xiàn)有物理驗證流程的無縫延伸，產(chǎn)品的采用變得更加容易，性能方面的優(yōu)勢得以顯現(xiàn)，整個周期時間也得到了縮短。”