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平整度(DP)描述了從微米到毫米范圍內硅片表面的起伏變化，具體是指對于某一臺階處，在完成CMP工藝之后這個位置硅片表面的平整程度。
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編輯：黃飛
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芯片制造工藝：平坦化技術
- 芯片制造(28522)
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