化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）在半導(dǎo)體工業(yè)內(nèi)部得到了廣泛的應(yīng)用，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）加工處理的質(zhì)量不僅要通過(guò)最終的表面平面度，而且也要通過(guò)拋光時(shí)人為造成缺陷的程度來(lái)評(píng)價(jià)，這些人為造成的缺陷包括：1）碟形
2020-07-30 17:55:16
1408 
金剛石薄膜的熱導(dǎo)率表征不是一個(gè)簡(jiǎn)單的問(wèn)題，特別是在膜層厚度很薄的情況下美國(guó)國(guó)防部高級(jí)研究計(jì)劃局（DARPA）的電子熱管理金剛石薄膜熱傳輸項(xiàng)目曾經(jīng)將將來(lái)自五所大學(xué)的研究人員聚集在一起，全面描述CVD金剛石薄膜的熱傳輸和材料特性，以便更好地進(jìn)一步改善熱傳輸特性，可見(jiàn)其在應(yīng)用端處理優(yōu)化之挑戰(zhàn)。
2022-08-09 15:05:201702 
功率器件的研究，但其存在穩(wěn)定性不佳、界面態(tài)濃度較高等問(wèn)題。相比而言，近年來(lái)出現(xiàn)的硅終端(C–Si)金剛石具有比氫終端(C–H)金剛石更低的界面態(tài)密度、更高的閾值電壓、載流子密度和穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)，有望
2023-08-17 09:47:18913 
最后的拋光步驟是進(jìn)行化學(xué)蝕刻和機(jī)械拋光的結(jié)合，這種形式的拋光稱(chēng)為化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。首先要做的事是，將晶圓片安裝在旋轉(zhuǎn)支架上并且要降低到一個(gè)墊面的高度，在然后沿著相反的方向旋轉(zhuǎn)。墊料通常是由一種
2024-01-12 09:54:06361 
為實(shí)現(xiàn)碳化硅晶片的高效低損傷拋光，提高碳化硅拋光的成品率，降低加工成本，對(duì)現(xiàn)有的碳化硅化學(xué)機(jī)械拋光 技術(shù)進(jìn)行了總結(jié)和研究。針對(duì)碳化硅典型的晶型結(jié)構(gòu)及其微觀晶格結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，簡(jiǎn)述了化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)對(duì)碳化硅
2024-01-24 09:16:36432 
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/梁浩斌）金剛石是自然界中天然存在的最堅(jiān)硬的物質(zhì)，與此同時(shí)，實(shí)際上金剛石還是一種絕佳的半導(dǎo)體材料。作為超寬禁帶半導(dǎo)體材料，金剛石具備擊穿場(chǎng)強(qiáng)高、耐高溫、抗輻照等性能，在輻射探測(cè)
2023-10-07 07:56:201643 
性能和速度上同時(shí)滿(mǎn)足了圓片圖形加工的要求。CMP 技術(shù)是機(jī)械削磨和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù) , 它借助超微粒子的研磨作用以及漿料的化學(xué)腐蝕作用在被研磨的介質(zhì)表面上形成光潔平坦表面[2、3] 。CMP 技術(shù)對(duì)于
2023-09-19 07:23:03
50 多年來(lái)，采用高壓高溫技術(shù)(HPHT) 制造的合成金剛石廣泛應(yīng)用于研磨應(yīng)用，充分發(fā)揮了金剛石極高硬度和極強(qiáng)耐磨性的特性。在過(guò)去20年中，基于化學(xué)氣相沉積(CVD) 的新金剛石生成方法已投入商業(yè)化
2019-05-28 07:52:26
各有優(yōu)缺點(diǎn)。但是，沒(méi)有關(guān)于它們的系統(tǒng)比較的報(bào)告。因此，在本文中，我們首次對(duì) CMP 和 ICP 干蝕刻 GaN 襯底表面處理方法進(jìn)行了直接比較。 2. 實(shí)驗(yàn)程序 2.1 GaN 襯底的金剛石拋光作為最終
2021-07-07 10:26:01
書(shū)籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章：III-V/SOI 波導(dǎo)電路的化學(xué)機(jī)械拋光工藝開(kāi)發(fā)編號(hào)：JFSJ-21-064作者：炬豐科技網(wǎng)址：http://www.wetsemi.com
2021-07-08 13:14:11
該文介紹了人造金剛石生產(chǎn)過(guò)程數(shù)據(jù)采集及Fuzzy-PID功率控制系統(tǒng)研制，系統(tǒng)由基于RS485總線的嵌入式數(shù)據(jù)采集器/控制器和PC計(jì)算機(jī)組成。嵌入式數(shù)據(jù)采集/控制器由51單片機(jī)實(shí)現(xiàn)，采用C51語(yǔ)言
2011-03-09 13:09:41
半導(dǎo)體制冷片新技術(shù)應(yīng)用類(lèi)金剛石基板，提高制冷效率，屬于我司新技術(shù)應(yīng)用方向，故歡迎此方面專(zhuān)家探討交流，手機(jī)***，QQ6727689，周S！詳細(xì)見(jiàn)附件！
2013-09-05 15:33:52
0 引言人造金剛石是一種重要的工業(yè)原材料，幾乎涉及國(guó)計(jì)民生的各個(gè)領(lǐng)域。我國(guó)目前是金剛石生產(chǎn)和出口大國(guó)，產(chǎn)量約占世界產(chǎn)量的2/3。但是，國(guó)產(chǎn)金剛石工業(yè)產(chǎn)值卻只占世界工業(yè)產(chǎn)值的1/3，這主要是由于質(zhì)量
2013-11-18 10:56:40
如何采用D型和E型金剛石型MOSFET開(kāi)發(fā)邏輯電路？
2021-06-15 07:20:40
新型銅互連方法—電化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)研究進(jìn)展多孔低介電常數(shù)的介質(zhì)引入硅半導(dǎo)體器件給傳統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械拋光（ＣＭＰ）技術(shù)帶來(lái)了巨大的挑戰(zhàn)，低ｋ 介質(zhì)的脆弱性難以承受傳統(tǒng)ＣＭＰ 技術(shù)所施加的機(jī)械力。一種結(jié)合了
2009-10-06 10:08:07
`（一）類(lèi)金剛石（DLC）涂層的性能星弧涂層開(kāi)發(fā)的國(guó)際領(lǐng)先地位的DLC（類(lèi)金剛石）涂層是采用離子束技術(shù)和過(guò)濾型陰極弧技術(shù)獲得的。涂層硬度高、摩擦系數(shù)低并且化學(xué)穩(wěn)定性好，可應(yīng)用于精密模具、刀具和有
2014-01-24 15:59:29
利用蘇州新達(dá)高新技術(shù)應(yīng)用研究所研制的SD-01 型金剛石磨輪電火花外圓磨床對(duì)不同金剛石粒度濃度的磨輪進(jìn)行不同加工條件下的電火花磨削試驗(yàn)研究對(duì)粒度120/140 的試樣磨削效率在25m
2009-03-18 16:18:09
38 采用電子輔助化學(xué)氣相沉積法(EA-CVD)制備摻氮金剛石薄膜，研究了不同氮?dú)饬髁繉?duì)金剛石膜的生長(zhǎng)速率、表面形貌和膜品質(zhì)的影響。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，在較低的氮?dú)饬髁肯拢?b class="flag-6" style="color: red">金剛石膜的生
2009-05-16 01:48:4922 由于金剛石與Si有較大的晶格失配度和表面能差，利用化學(xué)氣相沉積（CVD）制備金剛石膜時(shí)，金剛石在鏡面光滑的Si表面上成核率非常低。而負(fù)襯底偏壓能夠提高金剛石在鏡面光滑
2009-05-16 01:51:3523 采用EA-CVD(Electron Assisted Chemical Vapor Deposition)方法制備金剛石厚膜，在反應(yīng)氣體（CH4+H2）中添加乙醇，在保持其它條件不變的情況下研究了不同乙醇流量對(duì)金剛石膜生長(zhǎng)的影響。利
2009-05-16 01:53:3721 摘要：應(yīng)用X射線衍射儀的薄膜附件對(duì)熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石厚膜的成核面和生長(zhǎng)面進(jìn)行分析，結(jié)果表明，金剛石厚膜的晶格常數(shù)從生長(zhǎng)面到形核面沿深度方向是逐漸變小的。化
2009-05-16 01:54:4927 摘要：應(yīng)用等離子體浸沒(méi)離子注入與沉積方法合成了磷摻雜的類(lèi)金剛石（diamond like carbon，DLC）薄膜。結(jié)構(gòu)分析表明磷以微米級(jí)島狀結(jié)構(gòu)分散于DLC薄膜表層，P 的摻雜增加了DLC 薄膜
2009-05-16 01:56:2429 介紹了一種新型金剛石高溫壓力傳感器的優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。采用薄板彎曲理論研究了均勻載荷作用下多晶金剛石方膜在小撓度和大撓度下的應(yīng)變分布情況。對(duì)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)當(dāng)考慮的主要問(wèn)
2009-07-09 13:42:4612 本文研究了金剛石壓機(jī)測(cè)控系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)，討論了溫度、壓力的檢測(cè)和控制方法，進(jìn)行了系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)。關(guān)鍵詞：金剛石壓機(jī)， 嵌入式技術(shù)， 溫度， 壓力。目前我國(guó)人
2009-08-29 11:46:4419 金剛石光學(xué)真空窗片高質(zhì)量的金剛石晶圓應(yīng)用作為光學(xué)窗口是理想的，主要為紅外，遠(yuǎn)紅外和太赫茲范圍。這些金剛石晶片由高功率微波等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(CVD)生長(zhǎng)的高純多晶金剛石組成。
2023-05-24 11:26:37
PLC在金剛石液壓合成機(jī)中的設(shè)計(jì)應(yīng)用
隨著國(guó)內(nèi)外基建行業(yè)技術(shù)水平的迅猛發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)金剛石粉末鋸片、砂輪、磨料等人造金剛石制品
2009-06-19 12:56:51637 
人造金剛石是一種重要的工業(yè)原材料，幾乎涉及國(guó)計(jì)民生的各個(gè)領(lǐng)域。我國(guó)目前是金剛石生產(chǎn)和出口大國(guó)，產(chǎn)量約占世界產(chǎn)量的2/3。但是，國(guó)產(chǎn)金剛石工業(yè)產(chǎn)值卻只占世界工業(yè)產(chǎn)值的1/3，這主要是由于質(zhì)量不高所造成
2017-10-26 11:32:060 50多年來(lái)，采用高壓高溫技術(shù)（HPHT） 制造的合成金剛石廣泛應(yīng)用于研磨應(yīng)用，充分發(fā)揮了金剛石極高硬度和極強(qiáng)耐磨性的特性。在過(guò)去20年中，基于化學(xué)氣相沉積（CVD） 的新金剛石生成方法已投入商業(yè)化
2017-11-18 10:55:460 超平滑無(wú)損傷銅表面的超精密加工技術(shù)在微電子器件和微機(jī)電系統(tǒng)制造中具有廣泛的需求。目前，化學(xué)機(jī)械拋光作為常見(jiàn)的超精密加工技術(shù)，在超光滑超平整表面加工中得到廣泛應(yīng)用，但由于其加工過(guò)程中的機(jī)械作用
2018-02-04 10:01:450 50 多年來(lái)，采用高壓高溫技術(shù)（HPHT） 制造的合成金剛石廣泛應(yīng)用于研磨應(yīng)用，充分發(fā)揮了金剛石極高硬度和極強(qiáng)耐磨性的特性。在過(guò)去20年中，基于化學(xué)氣相沉積（CVD） 的新金剛石生成方法已投入商業(yè)化應(yīng)用，這樣就使得以較低成本生成單晶和多晶金剛石。
2018-05-07 14:00:008300 聚晶金剛石在要求耐磨性高、尺寸精度高并保持接觸良好的場(chǎng)合取得了很好的效果。用聚晶金剛石取代天然金剛石制作半自動(dòng)砂輪架的球式支座，壽命為2500h，效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)好于傳統(tǒng)材料。聚晶金剛石修整筆可以用來(lái)修整幾乎所有的砂輪，包括立方氮化硼砂輪。
2018-07-23 15:47:009620 金剛石壓機(jī)壓力控制系統(tǒng)性能的好壞決定了金剛石的合成品質(zhì)，該液壓系統(tǒng)是一個(gè)精度要求高、易受干擾、響應(yīng)滯后的復(fù)雜機(jī)電液耦合系統(tǒng)，很難建立一個(gè)全程精確的系統(tǒng)模型。提出一種加入補(bǔ)償因壓力損失導(dǎo)致頂錘位移產(chǎn)生
2018-03-30 14:26:000 Felix Ejeckam于2003年發(fā)明了金剛石上的GaN，以有效地從GaN晶體管中最熱的位置提取熱量。其基本理念是利用較冷的GaN放大器使系統(tǒng)更節(jié)能，減少浪費(fèi)。金剛石上的GaN晶片是通過(guò)GaN
2018-07-26 17:50:4814550 化學(xué)機(jī)械拋光（chemical mechanical polishing，簡(jiǎn)稱(chēng)CMP）技術(shù)幾乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技術(shù)，可廣泛用于集成電路芯片、計(jì)算機(jī)硬磁盤(pán)、微型機(jī)械
2018-11-16 08:00:0014 盡管石墨烯只有一個(gè)原子厚，卻以其令人難以置信的強(qiáng)度而聞名。那么如何使其變得更強(qiáng)大？當(dāng)然，一種方法是將其變成鉆石。韓國(guó)的研究人員現(xiàn)在已經(jīng)開(kāi)發(fā)出一種新方法，可以將石墨烯轉(zhuǎn)化為最薄的金剛石薄膜，而無(wú)需使用高壓。
2020-03-27 17:25:283161 50 多年來(lái)，采用高壓高溫技術(shù)（HPHT） 制造的合成金剛石廣泛應(yīng)用于研磨應(yīng)用，充分發(fā)揮了金剛石極高硬度和極強(qiáng)耐磨性的特性。在過(guò)去20年中，基于化學(xué)氣相沉積（CVD） 的新金剛石生成方法已投入商業(yè)化
2020-11-05 10:40:001 對(duì)電、磁等基本物理量高分辨率高靈敏度的探測(cè)在物理、材料、生命科學(xué)等領(lǐng)域均有重要應(yīng)用。金剛石中的NV色心以其室溫大氣環(huán)境下優(yōu)越的相干性質(zhì)而成為高靈敏的磁量子傳感器。NV色心作為量子傳感器，最終實(shí)用化的目標(biāo)是將其應(yīng)用于金剛石體外信號(hào)表征，但是金剛石近表面磁噪聲環(huán)境復(fù)雜，NV色心易受到磁信號(hào)干擾。
2020-07-08 16:11:381262 來(lái)源：快科技 日前，據(jù)外媒報(bào)道，總部位于美國(guó)普萊森頓的新能源初創(chuàng)公司NDB宣布完成了對(duì)其納米金剛石電池的兩項(xiàng)概念驗(yàn)證測(cè)試，而且實(shí)現(xiàn)了一個(gè)重要的里程碑。 其中一項(xiàng)實(shí)驗(yàn)表明，NDB提供的納米金剛石電池
2020-10-26 16:27:382776 日本大阪大學(xué)研究生院工學(xué)研究科博士生片桐健登和副教授尾崎典雅，與愛(ài)媛大學(xué)地球深部動(dòng)力學(xué)研究中心的入舩徹男教授等人組成的研究小組，明確了納米多晶狀態(tài)金剛石高速變形時(shí)的強(qiáng)度。研究小組將最大尺寸數(shù)十納米的微晶燒結(jié)在一起，形成了“納米多晶”狀態(tài)的金剛石，然后向其施加超高壓力，以調(diào)查其強(qiáng)度。
2020-11-12 10:40:321940 摘要：化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)是目前廣泛采用的幾乎唯一的高精度全局平面化技術(shù)。拋光后表面的清洗質(zhì)量直接關(guān)系到CMP技術(shù)水平的高低。介紹了各種機(jī)械、物理及化學(xué)清洗方法與工藝技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn)，指出
2020-12-29 12:03:261548 金剛石是一種著名的堅(jiān)硬材料，但現(xiàn)在香港城市大學(xué)的科學(xué)家們已經(jīng)設(shè)法將其拉伸到前所未有的程度。拉伸納米級(jí)的樣品改變了它們的電子和光學(xué)特性，這可能會(huì)打開(kāi)一個(gè)新的金剛石設(shè)備世界。雖然金剛石是自然界中天然存在
2021-01-04 15:31:571979 的最堅(jiān)硬的物質(zhì)，然而在納米尺度上，金剛石理論上應(yīng)該能有更高的彈性。幾年前，香港城市大學(xué)團(tuán)隊(duì)發(fā)現(xiàn)鉆石納米針的彈性拉伸應(yīng)變可達(dá)９％。 在這項(xiàng)新研究中，該團(tuán)隊(duì)更進(jìn)一步。他們制作了長(zhǎng)約1000納米、寬約300納米的橋形金剛
2021-01-04 17:46:522166 來(lái)自哈爾濱工業(yè)大學(xué)的韓杰才院士團(tuán)隊(duì)，與香港城市大學(xué)、麻省理工學(xué)院等單位合作，在金剛石單晶領(lǐng)域取得重大科研突破。該項(xiàng)研究成果現(xiàn)已通過(guò) “微納金剛石單晶的超大均勻拉伸彈性”為題在線發(fā)表于國(guó)際著名
2021-01-11 10:21:303284 金剛石芯片關(guān)鍵技術(shù)獲得突破：從根本上改變金剛石的能帶結(jié)構(gòu),金剛石,芯片,碳化硅,半導(dǎo)體,納米
2021-02-20 14:39:235187 21 世紀(jì)初，以金剛石、碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等為主的第三代半導(dǎo)體材料進(jìn)入大眾的視野，其中金剛石更是憑借其特有的性質(zhì)成為備受關(guān)注的芯片材料，甚至被業(yè)界評(píng)為“終極半導(dǎo)體材料”。 據(jù)IT之家
2021-02-05 09:38:483122 介紹了硅拋光片在硅材料產(chǎn)業(yè)中的定位和市場(chǎng)情況，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)的特點(diǎn)，硅拋光片大尺寸化技術(shù)問(wèn)題和發(fā)展趨勢(shì)，以及硅拋光片技術(shù)指標(biāo)，清洗工藝組合情況等
2021-04-09 11:29:5935 在亞微米半導(dǎo)體制造中，器件互連結(jié)構(gòu)的平坦化正越來(lái)越廣泛采用化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)，這幾乎是目前唯一的可以提供在整個(gè)硅圓晶片上全面平坦化的工藝技術(shù)。本文綜述了化學(xué)機(jī)械拋光的基本工作原理、發(fā)展?fàn)顩r及存在問(wèn)題。
2021-04-09 11:43:519 在亞微米半導(dǎo)體制造中 ， 器件互連結(jié)構(gòu)的平坦化正越來(lái)越廣泛采用化學(xué)機(jī)械拋光 （CMP） 技術(shù) ， 這幾乎是目前唯一的可以提供在整個(gè)硅圓晶片上全面平坦化的工藝技術(shù)。本文綜述了化學(xué)機(jī)械拋光的基本工作原理、發(fā)展?fàn)顩r及存在問(wèn)題。
2021-06-04 14:24:4712 了控制挑戰(zhàn)。金剛石憑借其獨(dú)特的性質(zhì)，或能解決其中的部分挑戰(zhàn)。 Element Six（元素六，E6）公司首席技術(shù)專(zhuān)家Daniel Twitchen稱(chēng)，該公司開(kāi)發(fā)的化學(xué)氣相沉積（CVD）金剛石生長(zhǎng)工藝，為金剛石在量子領(lǐng)域的應(yīng)用鋪平了道路。 E6是戴比爾
2021-06-28 17:05:573072 氮化鎵晶片的化學(xué)機(jī)械拋光工藝綜述
2021-07-02 11:23:3644 功率放大器在機(jī)械拋光研究中的應(yīng)用綜述
2021-08-27 16:46:3417 金剛石提供了優(yōu)越的光學(xué)和機(jī)械材料性能，使其成為實(shí)現(xiàn)集成光機(jī)械電路的主要候選材料。由于金剛石襯底尺寸成熟，高效的納米結(jié)構(gòu)方法可以實(shí)現(xiàn)全面的集成器件。在此，我們回顧了由多晶和單晶金剛石制造的光學(xué)和力學(xué)
2022-01-07 16:00:031055 
引言 化學(xué)機(jī)械拋光是實(shí)現(xiàn)14納米以下半導(dǎo)體制造的最重要工藝之一。此外，化學(xué)機(jī)械拋光后缺陷控制是提高產(chǎn)量和器件可靠性的關(guān)鍵工藝參數(shù)。由于亞14納米節(jié)點(diǎn)結(jié)構(gòu)器件的復(fù)雜性，化學(xué)機(jī)械拋光引起的缺陷需要固定
2022-01-11 16:31:39443 
金剛石蝕刻的等離子體工藝并不是選擇性的，等離子體誘導(dǎo)的對(duì)金剛石的損害會(huì)降低其器件性能。在此，我們報(bào)道了一種在高溫水蒸氣中的熱化學(xué)反應(yīng)對(duì)單晶金剛石的非等離子體蝕刻過(guò)程。鎳箔下的金剛石被選擇性地蝕刻，在其他位置沒(méi)
2022-01-21 13:21:54892 
摘要 本文研究了氮化硅（氮化硅）基底的不同表面預(yù)處理（四種標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)蝕刻和四種金剛石粉末磨刻(CVD)的效率。空白氮化硅樣品用膠體二氧化硅(0.25m)拋光。金剛石成核和生長(zhǎng)運(yùn)行在微波等離子體化學(xué)
2022-01-21 15:02:04652 
摘要 厚度約為1毫米的大面積均勻多晶金剛石薄膜在4英寸的襯底上生長(zhǎng)并形成圖案。 氧化硅晶片使用集成電路兼容工藝的微系統(tǒng)應(yīng)用。通過(guò)在4英寸上旋轉(zhuǎn)金剛石粉末裝載水，實(shí)現(xiàn)了密度為2X 1010 /cm2
2022-01-21 16:36:27859 
索引術(shù)語(yǔ)—清洗、化學(xué)機(jī)械拋光、乙二胺四乙酸、多晶硅、三氧化二氫。 摘要 本文為后化學(xué)機(jī)械拋光工藝開(kāi)發(fā)了新型清洗液，在稀釋的氫氧化銨(NH4OH+H2O)堿性水溶液中加入表面活性劑四甲基氫氧化銨
2022-01-26 17:21:18550 
化學(xué)機(jī)械平面化后的葉片清洗，特別是刷子擦洗，是半導(dǎo)體器件制造的一個(gè)關(guān)鍵步驟，尚未得到充分了解。臨界粒子雷諾數(shù)方法用于評(píng)估在刷擦洗過(guò)程中去除晶圓表面的粘附顆粒，或者是否必須發(fā)生刷-粒子接觸。考慮了直徑
2022-01-27 10:25:27335 
化學(xué)機(jī)械拋光最初用于玻璃和硅片拋光。隨著其功能的增加，化學(xué)機(jī)械拋光被引入到平面化層間電介質(zhì)(ILD)、淺溝槽隔離(STI)和用于片上多級(jí)互連的鑲嵌金屬布線中。該工藝適用于半導(dǎo)體加工
2022-01-27 11:39:13662 
幾乎所有的直接晶圓鍵合都是在化學(xué)機(jī)械拋光的基板之間或在拋光基板頂部的薄膜之間進(jìn)行的。在晶圓鍵合中引入化學(xué)機(jī)械拋光將使大量材料適用于直接晶圓鍵合，這些材料在集成電路、集成光學(xué)、傳感器和執(zhí)行器以及微機(jī)電系統(tǒng)中已經(jīng)發(fā)現(xiàn)并將發(fā)現(xiàn)更多應(yīng)用。
2022-03-23 14:16:001272 
采用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝，在半導(dǎo)體工業(yè)中已被廣泛接受氧化物電介質(zhì)和金屬層平面化。使用它以確保多層芯片之間的互連是實(shí)現(xiàn)了介質(zhì)材料的可靠和厚度是一致且充分的。在CMP過(guò)程中，晶圓是當(dāng)被載體
2022-03-23 14:17:511643 
由佐治亞理工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院領(lǐng)導(dǎo)的一個(gè)團(tuán)隊(duì)實(shí)施了一系列基于室溫表面活化鍵合（SAB）的結(jié)果，以鍵合具有不同夾層厚度的 GaN 和單晶金剛石。新開(kāi)發(fā)的技術(shù)最大限度地提高了氮化鎵性能，以實(shí)現(xiàn)更高功率
2022-08-08 11:35:181786 
CMP 所采用的設(shè)備及耗材包括拋光機(jī)、拋光液（又稱(chēng)研磨液)、拋光墊、拋光后清洗設(shè)備、拋光終點(diǎn)(End Point)檢測(cè)及工藝控制設(shè)備、廢物處理和檢測(cè)設(shè)備等。
2022-11-08 09:48:1211578 金剛石納米線是一類(lèi)具有類(lèi)金剛石成鍵方式的一維碳材料。該材料結(jié)合了金剛石結(jié)構(gòu)的高強(qiáng)度及聚合物的柔韌性特點(diǎn)，在高熱導(dǎo)材料、儲(chǔ)能裝置等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景。
2022-12-02 10:22:42441 不是每種金剛石都能造芯**
金剛石生長(zhǎng)主要分為HTHP法（高溫高壓法）和CVD法（化學(xué)氣相沉積法），二者生長(zhǎng)方法側(cè)重在不同應(yīng)用，未來(lái)相當(dāng)長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)，二者會(huì)呈現(xiàn)出互補(bǔ)的關(guān)系。
對(duì)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)，CVD法是金剛石薄膜的主要制備方法，而HPHT金剛石單晶也會(huì)在CVD合成法中充當(dāng)襯底主要來(lái)源。
2023-02-02 16:50:161984 
金剛石是碳元素（C）的單質(zhì)同素異構(gòu)體之一，為面心立方結(jié)構(gòu)，每個(gè)碳原子都以sp雜化軌道與另外4個(gè)碳原子形成σ型共價(jià)鍵，C—C鍵長(zhǎng)為0.154nm，鍵能為711kJ/mol，構(gòu)成正四面體，是典型的原子晶體
2023-02-02 16:53:471982 
目前來(lái)說(shuō)，金剛石在半導(dǎo)體中既可以充當(dāng)襯底，也可以充當(dāng)外延（在切、磨、拋等加工后的單晶襯底上生長(zhǎng)一層新單晶的過(guò)程），單晶和多晶也均有不同用途。
在CVD生長(zhǎng)技術(shù)、馬賽克拼接技術(shù)、同質(zhì)外延生長(zhǎng)技術(shù)
2023-02-02 16:58:14781 金剛石半導(dǎo)體前景 金剛石作為絕佳的寬禁帶半導(dǎo)體材料的同時(shí)還集力學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、光學(xué)、電學(xué)等優(yōu)異性能于一身， 這使其在高新科技尖端領(lǐng)域中， 特別是電子技術(shù)中得到廣泛關(guān)注， 被公認(rèn)為是最具前景的新型
2023-02-07 14:13:161827 金剛石半導(dǎo)體是指將人造金剛石用作半導(dǎo)體材料的技術(shù)和產(chǎn)物。由于金剛石具有極高的熱導(dǎo)率、電絕緣性、硬度和化學(xué)穩(wěn)定性，因此金剛石半導(dǎo)體可以用于制造高功率、高頻率和高溫環(huán)境下工作的電子器件，例如微波器件、功率放大器和高速晶體管等。
2023-02-14 14:04:224354 金剛石半導(dǎo)體是一種由金剛石構(gòu)成的半導(dǎo)體材料，它具有較高的熱穩(wěn)定性、較高的電磁屏蔽性能和較高的耐腐蝕性，可以用于制造電子器件，如晶體管等。
2023-02-16 16:03:372118 該功率半導(dǎo)體在已有的金剛石半導(dǎo)體中，輸出功率值為全球最高，在所有半導(dǎo)體中也僅次于氮化鎵產(chǎn)品的約2090兆瓦。
2023-02-27 12:17:54582 ，關(guān)于金剛石-水納米流體在重力熱管中的傳熱行為及其傳熱性能演變機(jī)制的相關(guān)研究尚不充分，充液率、質(zhì)量分?jǐn)?shù)和熱流密度對(duì)于傳熱性能的影響規(guī)律尚需進(jìn)一步探究。
2023-04-14 09:46:53366 
金剛石半導(dǎo)體具有優(yōu)異的特性，作為功率器件材料備受期待。
2023-06-05 18:17:271438 
與傳統(tǒng)上用于半導(dǎo)體的硅和其他材料相比，金剛石可以承受更高的電壓，可以以更高的速度和頻率運(yùn)行，并且可以用于外層空間等高輻射環(huán)境。金剛石半導(dǎo)體作為下一代功率半導(dǎo)體的發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁。
2023-06-12 15:17:511253 
://www.zju.edu.cn9.6工藝輔助材料第9章集成電路專(zhuān)用材料《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》下冊(cè)鏈接：8.8.10化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（CMP）∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》?
2022-03-01 10:40:56337 
審稿人：浙江大學(xué)余學(xué)功https://www.zju.edu.cn9.6工藝輔助材料第9章集成電路專(zhuān)用材料《集成電路產(chǎn)業(yè)全書(shū)》下冊(cè)鏈接：8.8.10化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)（
2022-02-28 11:20:38271 前言切割刀片是由人造金剛石顆粒和結(jié)合劑組成，在劃片設(shè)備空氣主軸高速旋轉(zhuǎn)下，針對(duì)某些材料進(jìn)行切斷、開(kāi)槽等加工，具有精度高、穩(wěn)定性好、效率高等特點(diǎn)。人造金剛石顆粒帶有單獨(dú)磨削能力，是起主要切削作用的磨料
2021-11-15 18:32:07376 
《人民日?qǐng)?bào)》頭版頭條刊發(fā)文章《科學(xué)裝置陸續(xù)開(kāi)建新興產(chǎn)業(yè)培育壯大合肥科技創(chuàng)新動(dòng)力足》報(bào)道合肥市推動(dòng)科技創(chuàng)新的做法和成就，其中的“首臺(tái)金剛石量子計(jì)算教學(xué)儀器”正是由國(guó)儀量子自主研發(fā)的金剛石量子計(jì)算教學(xué)
2022-07-21 15:20:13525 
的材料，在室溫下具有晶體材料最高的熱導(dǎo)率，寬的透光范圍，最堅(jiān)硬的材料，可壓縮性最小，并且對(duì)大多數(shù)物質(zhì)表現(xiàn)出化學(xué)惰性，就足以使得其備受推崇，所以金剛石常常被有時(shí)被稱(chēng)為“
2022-08-04 11:49:03799 
近日，Nano Letters（《納米快報(bào)》）在線發(fā)表武漢大學(xué)高等研究院梁樂(lè)課題組和約翰霍普金斯大學(xué)Ishan Barman課題組關(guān)于高效構(gòu)建等離子增強(qiáng)NV色心的納米器件研究進(jìn)展，他們利用自下向上的DNA自組裝方法開(kāi)發(fā)了一種混合型獨(dú)立式等離子體納米金剛石
2023-06-26 17:04:52396 
學(xué)技術(shù)迎來(lái)了重大進(jìn)展。通過(guò)化學(xué)氣相沉積（CVD）合成光學(xué)質(zhì)量金剛石的創(chuàng)新，金剛石色心工程，以及用于制造金剛石光學(xué)元件和光子結(jié)構(gòu)的技術(shù)，使這些進(jìn)展成為可能。 ?基于金剛石優(yōu)異內(nèi)在特性的光子學(xué)應(yīng)用? 高純度的金剛石，在紫
2023-06-28 11:03:25367 金剛石異質(zhì)外延已發(fā)展 30 年有余,而基于 Ir 襯底的大面積、高質(zhì)量的異質(zhì)外延單晶金剛石已取得較大進(jìn)展。本文主要從關(guān)于異質(zhì)外延單晶金剛石及其電子器件兩個(gè)方面對(duì)異質(zhì)外延單晶金剛石的發(fā)展進(jìn)行了闡述。
2023-07-12 15:22:23843 
基于業(yè)界長(zhǎng)期的研發(fā)活動(dòng)，如今金剛石半導(dǎo)體已經(jīng)開(kāi)始逐步邁向?qū)嵱没５嬲占巴茝V金剛石半導(dǎo)體的應(yīng)用，依然需要花費(fèi)很長(zhǎng)的時(shí)間，不過(guò)已經(jīng)有報(bào)道指出，最快在數(shù)年內(nèi)，將會(huì)出現(xiàn)金剛石材質(zhì)的半導(dǎo)體試用樣品。業(yè)界對(duì)金剛石半導(dǎo)體的關(guān)注程度越高，越易于匯集優(yōu)勢(shì)資源、加速研發(fā)速度。
2023-07-31 14:34:08819 20世紀(jì)60年代以前，半導(dǎo)體基片拋光還大都沿用機(jī)械拋光，得到的鏡面表面損傷是極其嚴(yán)重的。1965年Walsh和Herzog提出SiO2溶膠和凝膠拋光后，以SiO2漿料為代表的化學(xué)機(jī)械拋光工藝就逐漸代替了以上舊方法。
2023-08-02 10:48:407529 
金剛石對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)說(shuō)是一種很有前景的材料，但將其切成薄片具有挑戰(zhàn)性。
2023-08-02 11:07:16866 金剛石具有優(yōu)良的光學(xué)性能，高質(zhì)量 CVD 金剛石薄膜具有十分優(yōu)良的光學(xué)性能，除 3~6 μm 范圍內(nèi)的雙聲子區(qū)域存在晶格振動(dòng)而產(chǎn)生的本征吸收峰外，在室溫下，從紫外至遠(yuǎn)紅外甚至微波段，都有很高的透過(guò)性，理論透過(guò)率高達(dá)71.6%。
2023-08-03 10:51:43276 
金剛石礦物的晶體結(jié)構(gòu)屬于等軸晶系同極鍵四面體結(jié)構(gòu)。碳原子位于四面體的角部和中心，具有高度的對(duì)稱(chēng)性。晶胞中的碳原子以同極鍵連接，距離為154pm。。常見(jiàn)的晶形有八面體、菱形十二面體、立方體、四面體
2023-08-04 11:50:01458 
具有通孔結(jié)構(gòu)的金剛石在高精度引線成型及高功率微波器件散熱領(lǐng)域， 具有良好的應(yīng)用前景。
2023-08-12 14:49:181202 
×10-6/℃。它不僅在半導(dǎo)體、光學(xué)方面表現(xiàn)搶眼，還有很多其他優(yōu)秀的特性。雖然金剛石本身并不適合用來(lái)制作封裝材料，而且成本也較高，但它的熱導(dǎo)率可是比其他陶瓷基板材料高出幾十甚至上百倍！這也讓很多大公司都爭(zhēng)先恐后地投入研究。
2023-09-22 17:00:49331 兩個(gè)物體表面相互接觸即會(huì)產(chǎn)生相互作用力，研究具有相對(duì)運(yùn)動(dòng)的相互作用表面間的摩擦、潤(rùn)滑與磨損及其三者之間關(guān)系即為摩擦學(xué)，目前摩擦學(xué)已涵蓋了化學(xué)機(jī)械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個(gè)細(xì)分研究方向，其研究
2023-09-20 09:24:040 該公司使用一種稱(chēng)為異質(zhì)外延的工藝來(lái)沉積碳原子，并在可擴(kuò)展的基底上制造單晶金剛石。以前已經(jīng)生產(chǎn)過(guò)金剛石晶片，但它是基于壓縮金剛石粉末，缺乏單晶金剛石的特性。
2023-11-08 16:07:13450 運(yùn)用異質(zhì)外延工藝，Diamond Foundry以可擴(kuò)展的基底制造單晶金剛石，這是一項(xiàng)前所未有的技術(shù)突破。過(guò)去已有技術(shù)用于生產(chǎn)金剛石晶片，但這些晶片基于壓縮金剛石粉末制備，缺乏單晶金剛石的特性。
2023-11-10 16:04:03857 化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是目前最主流的晶圓拋光技術(shù)，拋光過(guò)程中，晶圓廠會(huì)根據(jù)每一步晶圓芯片平坦度的加工要求，選擇符合去除率（MRR）和表面粗糙度（Ra）等指標(biāo)要求的拋光液，來(lái)提高拋光效率和產(chǎn)品良率。
2023-11-16 16:16:35213 提高電動(dòng)車(chē)的能源效率意味著需要減少能源消耗，但這不應(yīng)以需要大量能源且污染重的生產(chǎn)過(guò)程為代價(jià)。Driche 首席技術(shù)官稱(chēng)，"制備金剛石晶圓的過(guò)程比制備SiC晶圓造成的二氧化碳排放少到20
2023-11-21 15:34:38288 
CMP（Chemical Mechanical Polishing）即“化學(xué)機(jī)械拋光”，是為了克服化學(xué)拋光和機(jī)械拋光的缺點(diǎn)
2023-12-05 09:35:19417 
金剛石具有極高的硬度、良好的耐磨性和光電熱等特性，廣泛應(yīng)用于磨料磨具、光學(xué)器件、新能源汽車(chē)和電子封裝等領(lǐng)域，但金剛石表面惰性強(qiáng)，納米金剛石分散穩(wěn)定性差，與很多物質(zhì)結(jié)合困難，制約了其應(yīng)用與推廣。金剛石
2023-12-21 15:36:01226 金剛石是我們都非常熟悉的超硬材料，人造金剛石晶體有多種不同的類(lèi)型，大致可分為單形和聚形，每種類(lèi)型都具有不同的特性和應(yīng)用。本文梳理了金剛石晶體的不同類(lèi)型及應(yīng)用。
2024-01-02 15:47:27428 隨著科技的不斷發(fā)展，金剛石在許多領(lǐng)域中都展現(xiàn)出了巨大的應(yīng)用潛力。其中，化學(xué)氣相沉積（CVD）金剛石由于其獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)，尤其在機(jī)械密封領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用前景。
2024-01-04 10:17:39261
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