MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。MEMS傳感器的應(yīng)用涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

今天小編就為大家講解一下MEMS傳感器技術(shù)汽車安全系統(tǒng)中應(yīng)用。MEMS傳感器主要應(yīng)用在汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等。

MEMS傳感器在安全氣囊系統(tǒng)中的應(yīng)用

為了監(jiān)測車輛翻滾的這種狀態(tài)，把陀螺儀輸出的傳感器信號與低g值加速度傳感器的輸出信號結(jié)合起來是至關(guān)重要的。通過處理兩個傳感器給出的信號，系統(tǒng)的算法確定車的Z軸以及垂直線之間的夾角，以及每一時刻車輛的角速度ωx。因此，車輛翻滾感測算法及時確定準(zhǔn)確的時間點和位置，從而爆開特定的氣囊或主動收緊綁在乘員身上的安全帶，起到保護(hù)作用。

MEMS傳感器在防滑系統(tǒng)中的應(yīng)用

電子穩(wěn)定程序系統(tǒng)也是MEMS傳感器的一個重要應(yīng)用領(lǐng)域，它能夠在所有的駕駛情況下提高車輛的行駛穩(wěn)定性。通過傳感器測量車輛的偏航率，并把它與其它參數(shù)類似轉(zhuǎn)向角和速度一一進(jìn)行比較，可以檢測過度轉(zhuǎn)向或轉(zhuǎn)向不夠這樣的行駛狀況。如果行駛過程中需要ESP發(fā)揮作用，那么，該系統(tǒng)會自動地分別制動車輪。因此，傳感器提供的信號是ESP算法執(zhí)行的根本基礎(chǔ)，是提高行車穩(wěn)定性的關(guān)鍵。

MEMS傳感器在汽車導(dǎo)航系統(tǒng)中的應(yīng)用

汽車安全系統(tǒng)應(yīng)用中的偏航傳感器的發(fā)展趨勢是具有高偏移量穩(wěn)定性、振動魯棒性以及全數(shù)字信號處理功能。這使之比模擬傳感器更為耐用。永久性的主動內(nèi)部故障檢測功能，使故障識別以及主動自測功能成為可能，因此，有助于增強(qiáng)可靠性。此外，根據(jù)整車系統(tǒng)設(shè)計的需要，傳感器串由于采用了靈活的結(jié)構(gòu)，能夠在不同的車輛方向上監(jiān)測偏航率以及加速度。

新技術(shù)革命的到來，世界開始進(jìn)入信息時代。在利用信息的過程中，首先要解決的就是要獲取準(zhǔn)確可靠的信息，而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領(lǐng)域中信息的主要途徑與手段。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動化控制生產(chǎn)過程中，要用各種傳感器來監(jiān)視和控制生產(chǎn)過程中的各個參數(shù)，使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或最佳狀態(tài)，并使產(chǎn)品達(dá)到最好的質(zhì)量。因此可以說，沒有眾多的優(yōu)良的傳感器，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。